电气比例阀外接压力传感器和PID控制器实现微正压0.1%的超高精度控制

 

摘要：本文针对工业和仪表行业对超高精度0.1%的微正压控制以及低成本要求，提出了有效的解决方案。整体方案基于电气比例阀，通过外接超高精度的压力传感器和PID控制器，在发挥电气比例阀优势的同时，可大幅提高压力控制精度，并将整体成本控制在较低水平。本文还介绍了此解决方案的考核试验验证结果，证明微正压控制完全可以达到0.1%的超高精度。

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一、问题的提出

在生物医药和半导体行业，往往需要对微正压有很高的要求，要求在略高于一个标准大气压的微正压条件下压力控制达到0.1%的超高精度。目前在微正压超高精度控制技术中，存在以下两方面的问题：

（1）很多微正压控制都是直接采用电气比例阀，但受内置的压力传感器和控制器精度限制，电气比例阀根本无法满足超高精度的压力控制要求。

（2）在计量校准测试领域，为了提高压力控制精度，往往会采用超高精度的分体结构，即采用独立的压力传感器、数据采集器、数据控制器和微计算机处理器形成闭环控制回路。尽管这种方式可以达到非常高的精度（如0.01%），但总体造价很高，不适用于工业和仪器仪表行业。

为此，本文针对工业和仪表行业对超高精度0.1%的微正压控制以及低成本要求，提出更有效的解决方案。整体方案还是基于电气比例阀，通过外接超高精度的压力传感器和PID控制器，在发挥电气比例阀优势的同时，大幅提高压力控制精度，并将整体成本控制在较低水平。本文还介绍对此解决方案的考核试验验证结果，证明此方案完全可以实现微正压0.1%的超高精度控制。

二、解决方案

如图1所示，具体解决方案是基于电气比例阀，通过外接更高精度的压力传感器和PID控制器