文章提出了一种通过精确控制微芯片液体池内部真空度来实现液体样本厚度精密调控的方案。采用动态平衡法，能够在0.1~100kPa范围内实现±1%的真空度控制精度，从而达到液体厚度的高精度自动调节，适用于液相透射电子显微镜的广泛应用。该方法解决了在超高真空环境下液体样本因压差导致的厚度变化问题，提高了实验的通用性和分辨率。
摘要：为了实现液相电子显微镜的更广泛和更便捷应用，需要对微芯片中的液体样本厚度进行精密调控。本文基于透射显微镜中被检液体样本内外压差对应于液体厚度这一凸起变形膨胀的基本现象，提出了通过精确控制液体池内部真空度来实现液体厚度精密调控的解决方案。真空度的高精度控制将采用动态平衡法，可在宽区间0.1~100kPa范围内的任意真空度下实现±1%的控制精度，最终实现液体样本厚度的高精度自动调节和控制。
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1. 问题的提出
近年来，基于透射电子显微、微纳加工和薄膜制造技术的液相透射电子显微技术，为构建多种纳米级分辨率尺度下的微实验平台，发展新型纳米表征技术和众多领域的相关研究提供了有效途径。如图1所示，一个标准的液体池是由隔离材料支撑起两片电子透明氮化硅（SiN）薄膜窗口的硅微芯片，液体样品被填充在这两个窗口之间。
理论上，液体厚度可以通过微芯片之间的间隔垫片来设定，但在实际观察中需要将微芯片放置在透射电子
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