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本文对G-sensor进行整理,先介绍G-sensor的一些基本概念,再具体讲解BOSCH、ST、ADI三家的G-sensor,其中BOSCH的G-sensor重点讲BMA222E,ST的G-sensor重点讲LIS2DH12,ADI的G-sensor具体讲ADXL362。
一、G-sensor概述
什么是MEMS
MEME(Micro-Electro-Mechanical System),微型电子机械系统,也叫微机电系统,是指可批量制作的,将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。可以把它理解为利用传统的半导体工艺和材料,用微米技术在芯片上制造微型机械,并将其与对应电路集成为一个整体的技术。
MEMS传感器的种类繁多,G-sensor是MEMS传感器的一种。
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什么是G-sensor
G-sensor(Gravity sensor),重力传感器,又名加速度传感器(accelerometer),是能感知加速度大小的MEMS传感器。
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G-sensor工作原理
如图中的模型, 一个质量块两端通过弹簧进行固定。在没有加速度的情况下,弹簧不会发生形变,质量块静止。当产生加速度时,弹簧发生形变,质量块的位置会发生变化。 弹簧的形变量随着加速度的增大而增大。在弹簧的劲度系统 k 和质量块的质量 m已知的情况下,只要测量出弹簧的形变量,就可以求出系统的加速度。
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G-sensor内部有 finger sets, 用来测量产生加速度读时质量块的位移。 每一个finger set 相当两个电容极板, 当有加速度时质量块会产生相对运动,而位移的变化会导致差分电容的变化。
当然,具体的差分电容检测和计算加速度过程由G-sensor内部完成,我们只需要直接读取其转化后的值即可。G-sensor输出值也不是直接的加速度值,它的计量单位是通常用g表示,1g代表一个重力加速度,即9.8m/s^2。1g=1000mg。
这里用一个例子再次强调一下G-sensor的输出值是根据其内部质量块的位移计算得出的:
将G-sensor的Z轴垂直向地,静止放置在水平桌面上,此时G-sensor芯片是静止的,虽然芯片整体加速度为0g,但是读取其输出值,X/Y轴输出为0g,Z轴输出为1g。因为内部质量块在重力加速度的作用下,产生了位移。
G-sensor重要参数
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测量范围 Measurement Rang
测量范围是传感器可以支持的输出加速度范围,通常用±g 表示。这就是G-sensor可以测量并准确输出的最大加速度。例如,一个测量范围是±8g G-sensor,它的输出一直到加速度达到±8g 时是线性的。 -
灵敏度 Sensitivity
灵敏度表示传感器输出随加速度(输入)变化的比例,它定义理想情况下加速度和传感器输出的直线关系。数字输出的传感器的灵敏度通常使用 LSB/g 或mg/LSB 表示。例如,一个灵敏度为4mg/LSB的G-sensor,若其Z轴输出为100,则可计算出Z轴加速度为400mg。 -
0g偏移 0g-offset
0g 偏置表示在没有加速度(零输入)时输出的测量值。模拟输出的传感器通常使用伏特或毫伏表示,数字输出的传感器使用码字表示。
不同型号的G-sensor的 0g-offset 不同,同一型号的不同芯片的 0g-offset 也不同,甚至同一颗芯片中不同轴的 0g-offset 也不同,是否需要校正要视具体应用而定。如果应用中只关心加速度的相对变化,而不关心加速度的具体数值,则不需要校正