SECS适用场景
电子半导体设备与电子半导体工程系统互联的一种标准协议,由国际半导体协议SEMI创建并维护
SECS划分标准
SECS的常用功能
- 设备箱系统报告设备发生的事件
- 系统远程控制设备
- 系统控制设备参数下载配方管理等
- 设备向系统报告报警
SECS如何区分不同的功能
secs使用Stream 和Function来区分不同的功能,即通常所有的SxFy不同的S代表这不同的大类功能,不同的F代表不同的小功能,通常F是奇数则是发送消息这F是偶数是响应消息 如下图所示是S1的功能
HSMS的状态迁移
- 1.初始化状态到Not Connected无需任何条件
- 2.Not Connected状态当进行主动或者被动连接Tcp则进入Not Selected状态
- 3.Not Selected状态在发送select.req后收到响应信号select.rsp转变为selected此时SECS连接创建成功