C#SECS/GEM的介绍与使用

SECS适用场景

电子半导体设备与电子半导体工程系统互联的一种标准协议,由国际半导体协议SEMI创建并维护

SECS划分标准

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SECS的常用功能

  • 设备箱系统报告设备发生的事件
  • 系统远程控制设备
  • 系统控制设备参数下载配方管理等
  • 设备向系统报告报警

SECS如何区分不同的功能

secs使用Stream 和Function来区分不同的功能,即通常所有的SxFy不同的S代表这不同的大类功能,不同的F代表不同的小功能,通常F是奇数则是发送消息这F是偶数是响应消息 如下图所示是S1的功能
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HSMS的状态迁移

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  • 1.初始化状态到Not Connected无需任何条件
  • 2.Not Connected状态当进行主动或者被动连接Tcp则进入Not Selected状态
  • 3.Not Selected状态在发送select.req后收到响应信号select.rsp转变为selected此时SECS连接创建成功

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