半导体行业-SECS/GEM协议 C#与SECS/GEM通信 C#开发资料与SECS/GEM通信 SECS/GEM快速入门的实例 C#开发SECS/GEM通信协议

        半导体设备通讯SECS协议是由国际半导体设备与材料协会(SEMI)的会员一起构建的连接性标准。它最初是为了在半导体/电子行业的自动化中实现设备与主机系统之间的通信而制定的。

        然而,今天SECS协议也被广泛应用于光伏和表面贴装技术 (SMT) 行业。它提供设备和主机系统之间的通信接口,与PLC等其他通信协议不同,它使来自各种供应商的设备能够使用标准和一致的协议与各种类型的主机系统进行通信。

        SECS/GEM不仅允许客户查看设备的功能,还能查看设备何时、如何以及使用什么来完成任务。此外,SECS/GEM协议已有40多年的历史,被部署在数千台设备中,经过时间的验证,证明了其在实际应用中的可靠性和稳定性。

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 常用SECS指令Strem的分类

  • Stream 1 Equipment Status:设备状态;

  • Stream 2 Equipment Control and Diagnostics:设备控制和诊断;

  • Stream 3 Material Status:原料状态;
  • Stream 4 Material Control:原料控制;

  • Stream 5 Exception Handling:异常处理;

  • Stream 6 Data Collection:数据采集;

  • Stream 7 Process Program Management:工艺程序管理;

  • Stream 8 Control Program Transfer:控制程序传输;

  • Stream 9 System Errors:系统错误;

  • Stream 10 Terminal Services:终端服务;

常用的发送指令明细

发送者发送的指令代表的含义发送者发送的指令代表的含义
S1F1询问是否可连接(使用S1F2应答是否可连接)S7F1进程程序加载 查询
S1F3请求设备状态S7F3发送 加工程序
S1F5请求Formatted(格式化)状态S7F5请求 加工程序
S1F7请求Fixed()状态 S7F7请求 加工程序ID
S1F9请求 原料传输状态S7F9请求 原料或工艺路线
S1F11请求 变量名称列表S7F11发送 原料或工艺路线
S1F13请求建立通信S7F13发送 原料或工艺路线入口
S1F15请求离线S7F15发送 工艺路线Mode
S1F17请求在线S7F17删除 加工程序
S1F19获取属性S7F19请求 当前设备的加工程序的资料
S1F23查询 可用事件列表(新版本内容) 
S2F1查询 Service程序负载S7F21获取 设备加工程序能力
S2F3请求 发送Service程序S7F23发送 格式化加工程序的命令
S2F5请求 Service程序加载 S7F25请求 格式化加工程序
S2F7请求 Service程序运行 S7F27发送 加工程序验证
S2F9请求 Service程序运行结果 S7F29查询 加工程序验证结果
S2F11获取 Service程序的资料 S7F31发送 加工程序验证请求
S2F13请求设备常量Constant S7F33请求 可用的加工程序
S2F15发送新设备常量Constant S7F35请求 Mid$的加工程序
S2F17请求 数据和时间 S8F1请求 启动程序
S2F19请求 重置或初始化 S8F3请求 执行程序
S2F21请求 远程控制 S9F1无法识别的设备Id
S2F23请求 初始化Trace(跟踪) S9F3无法识别的Stream类型
S2F25请求 回路诊断 S9F5无法识别的Function类型
S2F27启动处理请求 S9F7非法数据
S2F29请求 设备常量名称列表 S9F9事务计时器超时
S2F31请求 日期和时间设置 S9F11数据太长
S2F33定义报告 S9F13对话超时
S2F35给 事件设定 事件组 S10F1请求 终端
S2F37订阅/退订事件 S10F3终端单个显示
S2F39多块(Multi-block)查询 S10F5终端Multi-block(多个)显示
S2F41发送 Host主机命令 S10F7不允许Multi-block(多块)
S2F43重置后台Streams和Functions S10F9广播 Map设置的数据
S2F45定义 可变的限制属性 S12F1发送 Map设置的数据
S2F47请求 可变的限制属性 S12F3请求 Map设置的数据
S2F49请求 创建数据报告 S12F5查询 Map传输
S2F51请求 删除数据报告 S12F7Map数据发送类型1
S2F53请求 创建Trace(跟踪) S12F9Map数据发送类型2
S2F55请求 删除Trace(跟踪) S12F11Map数据发送类型3
S2F57请求 收集 Link (连接)事件 S12F13Map数据请求类型1
S2F59请求 收集 UnLink (断开连接)事件 S12F15Map数据请求类型2
S2F61请求 重置 Trace(跟踪) S12F17Map数据请求类型3
S2F63请求 强制远程控制 S12F19Map错误报告
S3F1请求 原料状态 S13F1发送 数据集发送
S3F3请求 完成时间 S13F3请求 打开数据集
S3F5发现原料 通知 S13F5请求 读取数据集
S3F7原料丢失 通知S13F7关闭 数据集发送
S3F9原料ID EquateSendS13F9重置 数据集发送
S3F11请求 原料IDS13F11查询 数据集多块
S3F13发送 原料IDS13F13发送 表格数据
S4F1准备发送原料S13F15请求 表格数据
S4F3发送原料S14F1请求 获取Attr
S4F5握手完成S14F3请求 设置Attr
S4F7未准备好发送S14F5请求 获取类型(GetType)
S4F9卡在发送端 S14F7GetType 的数据
S4F11卡在接收端S14F9请求 创建 Object
S4F13发送超时S14F11请求 删除 Object
S4F15接收到的原料S14F13请求 附加对象
S4F17请求接收S14F15请求 附加的Object
S4F19创建 Transfer Job(转移)S14F17请求 监督对象
S4F21控制 Transfer Job(转移)S15F1查询 Multi-Block(多块)配方管理
S4F23Transfer Job(转移)报警S15F3请求 操作 配方的命名空间
S4F25多块(Multi-block)查询S15F5请求 重命名 配方的命名空间
S4F27切换(Handoff )就绪S15F7请求 配方空间(RecipeSpace)
S4F29切换(Handoff )命令S15F9请求 配方状态
S4F31切换(Handoff )命令完成S15F11请求 重命名 配方的命名空间
S4F33切换(Handoff )已验证S15F13请求 创建配方
S4F35切换(Handoff )取消就绪S15F15请求 存储配方
S4F37切换(Handoff )取消就绪确认S15F17请求 检索配方
S4F39切换(Handoff )停止S15F19请求 重命名配方
S4F41切换(Handoff )停止确认S15F21请求 操作配方
S5F1发送 报警报告S15F23请求 配方描述符
S5F3启用或禁用 报警S15F25更新 配方参数范围
S5F5请求 报警列表S15F27请求 下载配方
S5F7请求 已启用的报警列表S15F29请求 验证配方
S5F9发送 异常报警S15F31请求 卸载配方
S5F11清除 异常报警S15F33请求 选择配方
S5F13请求 异常恢复S15F35请求 删除配方
S5F15异常恢复 完成通知S15F37请求 批准 DRNS分割行为
S5F17中止 异常恢复 请求S15F39请求 分割 DRNS记录器
S6F1发送 Trace(跟踪)数据S15F41请求 修改 DRNS记录器
S6F3发送 离散型变量数据S15F43请求 获取DRNS变更
S6F5查询 “发送的多块(Multi-block)数据”S15F45请求 批准DRNS变更
S6F7请求“数据传输”S15F47请求 重建DRNS管理器
S6F9发送“Formatted(格式化)变量”S16F1查询 多块(Multi-block)加工程序数据
S6F11发送 事件报告(设备上传数据)S16F3请求 创建加工程序
S6F13发送 注释事件报告S16F5请求 控制加工程序
S6F15请求 事件报告S16F7加工程序 警告通知
S6F17请求 注释事件报告S16F9加工程序 事件通知
S6F19请求 特定报告S17F1请求 创建数据报告
S6F21请求 带注释的个人报告请求S17F3请求 删除数据报告
S6F23请求 后台数据S17F5请求 创建Trace(跟踪)
S6F25发送 通知报告S17F7请求 删除Trace(跟踪)
S6F27发送 Trace(跟踪)报告S17F9请求 收集 Link(链接)事件
S6F29请求 Trace(跟踪)报告S17F11请求 收集 UnLink(断开连接)事件

指令的数据类型

这是以下几个指令通信的例子 需要源代码下载

 

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secs/gem协议是一种广泛应用于半导体设备的通信协议。其全名为"SEMI Equipment Communications Standards/Generic Equipment Model",被SEMI(半导体设备与材料国际协会)制定和推行。 secs/gem协议旨在建立设备与上层系统之间的可靠、高效的通信连接,为设备控制与数据交换提供标准化的接口。通过该协议,设备之间可以实现统一的数据格式和通信规则,使得不同厂商的设备能够互相通信和协作。 secs/gem协议采用了基于主从结构的通信方式,设备被定义为"设备连接台"(Equipment Connection),上层系统被定义为"工作站"(Host Station)。设备连接台和工作站之间通过网络进行通信,其中包括了控制命令和数据的传输。 secs/gem协议定义了一系列的消息类型和通信规则,如数据收发、设备状态报告、告警、事件等。通过这些消息类型,设备能够向工作站发送实时数据、设备状态变化、故障信息等,工作站则可以向设备发送控制指令、参数设置等。 secs/gem协议的优点在于其标准化和通用性。通过使用该协议,设备供应商和设备用户可以避免定制化的通信接口和软件开发,提高设备之间的兼容性和互操作性。同时,secs/gem协议的规范和标准化也为设备的维护和远程监控提供了方便。 总而言之,secs/gem协议半导体设备间通信的标准协议,它提供了一套通用的数据格式和通信规则,使得设备之间能够进行可靠、高效的数据交换和控制命令传输。该协议半导体设备行业的发展和设备间的互联互通提供了重要支持。

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