如何选择真空机械制造 真空电极 真空穿通件 真空穿通密封件 真空腔 真空腔室 真空腔新材料 真空腔组件 超高压 超高真空材料 铝制CF组件

VACOM 真空法兰CF组件

超高真空（UHV）的产生对材料和连接提出了很高的要求。因此，CF标准是在特高压技术（ISO 3669）中创建的。

CF法兰由CNC机床上的不锈钢圆形毛坯制成。旋转法兰是两部分的，由带有密封面的内部部分和带有螺栓孔的外部部分组成。CF法兰在真空侧有一个环形槽，用于容纳垫圈和刀口。

由于特高压技术所需的低泄漏率和高烘烤温度，可通过无氧（OFHC）铜扁平垫圈实现密封。由于刀口的塑性变形，该垫片通常只能使用一次。

紧固是通过螺栓实现的，必须将螺栓横向交叉均匀地拧紧，以免发生任何变形。此类法兰连接的泄漏率小于1.0E -11 mbar l / s，可在最高450°C的温度下烘烤。

 

 

 

全新且省时– HV至XHV的快速CF连接

快速CF（QCF）组件和适当的夹链VaCFix ®由VACOM开发。它们结合了ConFlat®法兰的密封原理（符合ISO 3669的刀口）和KF连接的链锁原理。

QCF组件可以快速，轻松地组装，还可以节省空间。它们可以通过适配器连接到所有现有的真空系统