LabVIEW编程LabVIEW开发控制MKS 670例程与相关资料

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【MKS】美国MKS流量计、MKS薄膜真空计、MKS传感器、MKS射频 /直流 /微波电源发生器 MKS氟离子 /臭氧反应气体发生器MKS真空产品, MKS气体分析仪。美国MKS 是全球最著名的先进生产工艺控制设备供应商之一，成立于 1961 年，总部位于美国东部波士顿以北的 Wilmington。 近三千名员工工作在全球各地十三个分公司, 七个研究中心, 十个生产基地 (其中中国深圳的 ENI电源工厂拥有近 500员工) 及 140 多个销售办事处和 30 多个技术服务中心。 

美国MKS产品广泛地应用于各种半导体器件生产, 平板显示器, 光学储存介质, 玻璃镀膜, 光电产品等生产设备及制药和医学成像设备。其产品一直处于全球技术领先地位。

MKS 的电源, 测量, 控制和复杂气体相关的工艺监控技术，改善了设备完好率和产品成品率，提高了生产产量和产品性能。 MKS 产品起源于我们的压力测量和控制核心技术， 延伸到材料递送, 气体和薄膜成分分析, 静电荷控制, 工艺控制, 信息管理, 电源和反应气体发生器及真空技术。

MKS 拥有完整的技术及产品资源， 无论是产品的研发设计,生产管理还是客户支持服务， 都能快速满足客户的各种特殊需求。

MKS主要提供有：气体压力及流量测量和控制, 射频 /直流 /微波电源发生器及测量工具, 氟离子 /臭氧反应气体发生器, 真空产品, 气体分析仪, 静电控制及信息和控制技术等产品。

MKS 670==The MKS HighAccuracy Baratron® Pressure Measurement Systems combine advanced capacitancediaphragmsensor technology and solid state electronics with the featuresdemanded by today’s process and metrologyengineers to make precision pressuremeasurement easy – whether on the production line or in the research ormetrology laboratory. If your principal concern is accurate pressuremeasurement, or you need to measure pressure over a very wide range, the MKSHigh Accuracy Systems are ideal solutions. Long considered.standards ofpressure measurement in both industry and research, MKS high accuracy Baratronsystems are completely modular with a full selection of pressure ranges, levelsof accuracy, options, and accessories that ensure there’s a system exactlyright for your application.

AA06A and AD06ASensors

All MKShigh-accuracy sensors are single-ended dual-electrode/AC bridge devices thatare extremely stable and designed to minimize the effect of temperaturechanges. Full Scale ranges are available from 25,000 Torr down to 0.1 Torr.Each range measures down to 1 part in 106 Full Scale with selected percentReading accuracy limited by this resolution and with accuracies ranging from0.25% to 0.05% of Reading. Models are available in absolute and differentialconfigurations. They are constructed of Inconel®and stainless steel, allowing usewith many wet, dirty, or corrosive gases.

厂家没有提供LabVIEW的例子。根据通讯协议的相关的说明，编写了适合项目的程序。

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