MKS电源维修RPG-50A射频电源维修OPTIMA RPG系列

MKS产品在压力测量和控制、材料输送、气体成分分析、控制和信息技术、功率和反应气体生成、真空技术、光子学、激光、光学和运动控制方面的应用。主要用于薄膜设备,包括半导体器件、工艺制造、环境、生命科学和科学研究设备。我们为亚太地区的半导体、数据存储、光电子、真空镀膜、平板显示、研究所等行业提供射频电源维修。

mks电源维修包括:变频电源,高压电源,等离子体电源,微功率电源,医疗电源,激光器电源,仪表电源,服务器电源,ATX电脑电源,大型UPS等电源的维修

当滤波电容上无380VDC左右电压时,说明PFC电路没有正常工作,PFC模块关键检测脚为电源输入脚VC,启动脚Vstart/control,CT和RT脚及V0脚。修理一台富士3000相机时,测试一板上滤波电容上无380VDC电压。VC,Vstart/control,CT和RT波形以及V0波形均正常,测量场效应功率开关管G极无V0波形,由于FA5331(PFC)为贴片元件,机器用久后出现V0端与板之间虚焊,V0信号没有送到场效应管G极。将V0端与板上焊点焊好,用万用表测量滤波电容有380VDC电压。当Vstart/control端为低电平时,PFC亦不能工作,则要检测其端点与外围相连的有关电路。

电源电路有易有难,功率有大有小,输出电压多种多样。充分熟悉开关电源的基本结构以及PFC及PWM模块的特性,它们工作的基本条件,按照上述步骤和方法,多动手进行开关电源的维修,就能迅速地排除开关电源故障,达到事半功倍的效果。

维修TDK LAMBDA 各种模块电源,主要有ALPHA系列的ALPHA 400W ,ALPHA600W,和VEGA 450W ;VEGA650W和VEGA 900W等VEGA650W和VEGA 900W等

电机的额定驱动频率一般都是大于负载所需要的驱动频率的。这样做虽然使电机提供足够的驱动频率,电机的正常运作,但是其中有很大一部分的驱动频率都会被浪费掉,这就造成了大量的电力能源被浪费,不能得到有效的利用,完全不符合我国可持续发展的战略要求。为了达到节约电力,使电力得到充分利用的要求,电机变频控制技术被开发了出来,电机变频控制能够根据负载所需要的驱动频率来改变电机输出的功率和电压,不会有多余的驱动被浪费,很好的提了电能的利用率,完全符合我国减排的要求。随着我国对减排的要求越来越高,对于变频控制系统的开发和研究也不断的完善。并且得到了更好的推广,在越来越多的地方被应用。

这个系统是一种典型的开环控制系统,这个系统能够满足大多数电机的平滑的变速要是,但是对于动态和静态的调节性能都是有限的,不能应用在对动态和静态性能要求比较严格的地方。为了实现动态和静态调节的高性能,我们只能采用闭环控制系统来实现。所以有的科研人员提出了控制闭环转差频率的电机调速方式,这种调速方式能够在静态动态调速中达到很高的性能,但是这种系统只能在转速比较慢的电机中得到应用,应为在电机的转速较高的时候。这个变频控制系统的特点是结构简单、制作便宜。这个系统应用在风机等大型的并且对于变频系统的动态性能要求不是很高的地方。

高压电源维修服务品牌

索伦森电源、IRM电源、AE(Advanced Energy)、ENI(MKS电源维修)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射频电源,

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随着射频技术进入镀膜工艺之后,射频匹配也随之成为需要解决的问题。射频电源的功率应尽可能的用于镀膜工艺中,系统的输入功率直接影响到等离子体的浓度和压力,也就直接影响了镀膜的质量,关系到工艺水平的好坏。在一定条件下,镀膜系统负载是随时间发生变化的,这使得阻抗的自动匹配变得更为必要。而国内现在都是以手动匹配为主,射频电源自动阻抗匹配器的发展是一个瓶颈。因此,自动匹配技术的研究有很重要的意义。   本文以真空实验室的射频RF-500型射频等离子体增强CVD镀膜机相配套的射频电源阻抗匹配器RS-500为研究对象,对射频电源的手动阻抗匹配器的原理和设计进行研究,并把传入电表的信号传入计算机中进行自动控制,实现自动匹配。本文以功率检测模块的详尽设计和对系统建立的数学模型进行控制仿真为重点研究内容,结合功能较为完善、技术相对成熟的其他模块如传动模块、信号转换模块等的分析研究,提出了射频电源自动阻抗匹配器较为完善的设计方法,在总体结构设计原理上有一个相对完整的认识。   本文电路的设计是基于匹配原理的,即随着镀膜过程中等离子体阻抗的变化,通过阻抗匹配器来实现整体传输电路的共辆阻抗匹配,使得入射功率始终达到最大,反射功率达到最小,以保证镀膜的质量。等离子体的变化,可以等视为电路中的一个阻抗,匹配器通过调节自身模块中的两个可变电容,来实现整个传输电路的共扼匹配。确定共扼匹配的方法是通过检测入射功率和反射功率,使得入射功率达到最大,反射功率达到最小为宜。功率可由电流、电压和两者之间的相位来表征,即P=U*I‘cose。在功率检测模块,测量电流的电流互感器选用性能优于传统线圈的Rogowski线圈,测量电压的电压互感器选用电容式电压互感器,由于两者的相位在镀膜过程中固定,因此两者的相位角不变,不用测量。由电流互感器和电压互感器组成的定向耦合装置,是功率检测模块的核心部分。本文着重分析了功率检测模块的电路,提出了合理的设计方案。然后通过对其他各个模块的分析,得出可行性的设计方案。最后对传输电路进行数学模型的建立,并用MATLAB对信号进行PID控制仿真,得出了有效的控制方法。
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