SEREN射频电源维修Seren电源维修R301MKⅡ SEREN射频匹配器维修

美国SEREN（赛恩）电源维修系列包括：

R系列射频电源：R301-13、R601-13、R1001-13、R1001、R2001、R5001、R10,001-13、R15,001、R20,001-13，R600

HR系列射频电源：HR601、HRL1001、HR1501、HR2001-AC、HR2001、HR3001、HR5001

L系列低频电源：L301、L601、L1001、L2001、L3001、L5001I系列射频电源

用于ICP领域AT系列自动匹配器：AT-3、AT-6/100、AT-6/500、AT-10、AT-20、AT-30、AT-50/120、AT-50/140、AT-100/160、AT150/180、AT-250/250

 

射频电源维修：AE，SEREN，spellman，glassan，IMS，MDX、MDXII、Pinnacle、Diamond系列，电镀电源，刻蚀射频电源，RE，PECVD，RIE,PECVD,ICP,射频溅射，CVD和PVD等。

射频电源维修注意事项：

在更换完器件后,上电前应对其相关器件进行测量,是否出现短路现象(如整流桥、IGBT管、电源输入输出部分、功率器件输入输出等等);

对于机器工作不稳定或工作时好时坏,可检查箱内主电路的螺钉、接线端子等等是否松动(在运输中有可能会出现)、接线端氧化等,老电源或使用环境差的电源应注意内部是否积了很多灰尘(可用风枪吹掉);如箱内积有很多油污且使用期很长,不可修复应报废处理

在维修时,对于客户要求维修的电源,不能私自拆掉内部扎带、控制板剪掉接线或到处乱接乱改,有可能会造成对整机干扰或性能下降,如退回时,老电源因规范的问题,很多都没有接线图,可能会给维修带来很大难度,严重时会造成报废。

退回的电源或主控板应做好表面防震保护,防止面板划伤、变形或器件15.退回的电源或主控板应贴有标签,注明电源现场详细故障、办事处名等,便于维修员的分析与维修,有时会出现在整机上测试和单独测试故障现象不致。我们维修人员会根据示签做相关维修记录,做好激光电源维修跟踪。

曾多次维修,到客户那仍不能使用的,应在现场检查整机接线及其它易损易坏部件。检查引起故障原因所在。并做好现场检测记录随机退回