VirtualLab专题实验教程-1.超表面纳米柱及其相位分析

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前言

大创团队成员陆续进入考研阶段，已经许久没有更新，今天有一个比较好玩的超表面拿出来给大家分享，结合了讯技光电官方给出的技术文档。本次试验仅适用于试用版（7.6.1.18版可能存在一些版本问题无法操作）。

一、超表面是什么？

百度中告诉我们超表面是一种厚度小于波长的结构，也即亚波长结构（并不是说必须得圆柱状的，还有很多长方体柱、V字形、框形、圆环形等）。与传统的光学器件相比，超构表面器件具有亚波长尺度相位，振幅，偏振任意调控，轻薄，易集成，低损耗，表面可自由设计等诸多优点，因而受到广泛关注。

1、操控波前

都说超表面可以操控波前，那它的原理是什么呢。

我们知道费马原理可以推出我们常用的斯涅耳定律（折射定律）$n_{t}sin{\theta }_t=n_{i}sin{\theta }_i$，如上图光从折射率为$n_i$的介质传入折射率为$n_t$的介质，两边消去$k_0$($k_0=\frac{2\pi }{{\lambda }_0}$，${\lambda }_0为真空中光波长$)与$x$即得到斯涅耳定律，但它还有广义版。

如果这两个介质的交界面有一定特殊的功能，使光打在不同的位置上还会发生一定的相位跳变，等式的左右两侧就还需要加上相位跳变的一项，成为$k_0{n}_{t}sin{\theta }_{t}x+\Phi (0)=k_0{n}_{i}sin{\theta }_{i}x+\Phi (x)$，我们先不探讨$\Phi$这个函数具体是什么形式，先只关心它在这个界面上会随取的点的位置不同而变化。当$x$取的很小时，还会存在一个常用的导数公式$\Phi (x)-\Phi (0)=x{\Phi }^{‘}(x)$。把这两个式子合起来化简成没有$x$的形式，得到$n_{t}sin{\theta }_t-n_{i}sin{\theta }_i=\frac{1}{k_0}{\Phi }^{‘}(x)$，或者写成$$n_{t}sin{\theta }_t-n_{i}sin{\theta }_i=\frac{1}{k_0}\frac{d\Phi }{dx}$$当然这里还不能算超表面，因为只考虑了x方向上的情况，事实上这个相位突变函数应该是一个二元的形式，为$\Phi (x,y)$。那原入射光我们知道是只在X轴所在的纸面这样一个平面内，如果出射光不再在纸面内，那还会有一个式子。这时我们把出射光分解到纸面和垂直纸面两个方向上，认为出射光投影到垂直纸面的角度还是${\theta }_t$，但此时投影后的光线不再于法线重合，还会产生一个角${\varphi }_t$。因此会多出一个公式$$n_{t}cos{\theta }_{t}sin{\varphi }_t=\frac{1}{k_0}\frac{d\Phi }{dy}$$当然这些公式都不仅对t（透射光）成立，对r（反射光）也成立。

2、$\Phi$函数

如果前面讲$\Phi$函数还是太抽象，我们再用熟悉的惠更斯原理来理解一下，我们知道它主要是讲指球形波面上的每一点（面源）都是一个次级球面波的子波源。那对于一个平面波（特殊的球面波）而言其在空间中传播到某一个平面位置处的，平面上各点都会发出下图所示的子波。那平面波在自由空间不受干扰的传播应该还是平面波，粗虚线印证了这一点，它代表了平面波的波前（介质中振动相位相同的点连成的面称为波阵面，简称波面，把波面中走在最前面的那个波面称为波前），波前上各点的相位是相同的。现在等相位面是平行于所选取的该平面的。

可是如果这个面上有一些特别的设计，致使波面出来不再是原来的平面。可以是变了方向的平面，也可以是这样自己去设计的各种形式的波面。从图上可以推测出你要设计的得是比波长尺度要小，能被称为点的结构。

那举个例子来说，我们用超表面是可以做超透镜的。透镜的原理大家都非常熟悉，我们垂直光线传播的方向添加代表波阵面的实线，在这些实线上的光的相位相同。所以可以看出当光穿过透镜后，靠近透镜边缘的光线的相位会超前于透镜中心的光线，因为边缘的光线穿过透镜的厚度比中间薄，发生的相位上的延迟比中间小。就从原来的平面波，变成现在的球面波了。当然可以说那透镜的作用就是去产生一个球形的相位面。那超表面想要实现透镜的球面相位，需要想办法通过改变上面特殊结构的参数，而超表面的设计是非常灵活的，这对超表面来说并不困难。

需要补充的是，因为透镜在边缘和中心产生相位差的原因在于光程$nl$的差异，对上图的透镜而言是中心和边缘的$l$不同导致，那可否换种思路，让$n$不同而$l$相同呢，有一个类似与平行玻璃板的器件，但其中的材料却有多个n。当然下图的每个小格也要小于波长尺度，这就是超材料。

3、光程差怎么变化

因为超表面元件要想实现相位延迟，说明光程一定发生改变，但根据超透镜的构型，变得不是$l$，而是$n$，这里可以用超材料的思想来理解，但显然在平面上的不同位置用不同材料的纳米柱并不现实，于是就想到折射率本身除了与材料相关，还与通过材料的模式有关，比如有著名的色散公式（这里笔者还没有太研究明白），大意是指，不同直径的纳米柱（不同直径的波导）会对传输的模式有不同的选择，计算得到的等效折射率就不同。
可能有读者跟笔者有同样的疑惑，超表面上的纳米柱感觉也不是说密集排布，怎么能保证光就是从纳米柱穿过去呢？笔者目前了解到两种粗略的解释，一种称其为纳米棒光学天线效应所致，告诉我们确实是绝大部分都会穿过纳米柱，另一种则是声明，纳米柱和周围的空气是一个完整的波导，因为纳米柱是亚波长结构，所以事实上光波是在整个空间中传播的（不知道大家明白了没有，我感觉我还要再品品）。

4、关于制作与加工工艺

先在基板（最终想要的纳米柱材料）上旋一层光刻胶，然后制作一个上面蒸镀有金属图案的玻璃板，金属图案即为下方想要制作的纳米柱图案，然后光刻，没有金属覆盖的光刻胶会被紫外光损坏，放到显影液后，这部分胶就被冲走了，只剩下被金属保护好的胶，这时胶的图案就是想要的纳米柱的图案，然后将带有胶的基板整体往下刻蚀，被胶保护住的基板就不会有什么高度的变化，其余部分整体下降，如此，被胶保护的部分就形成了最终的纳米柱。
当然还有很多其他的工艺，只要能做出这种形式的纳米柱即可。
有一点对工艺越来越高的要求是，希望这个纳米柱侧壁可以直上直下，因为刻蚀过程中，物理刻蚀难免会导致一些边缘的缓变问题，而这对最后纳米柱产生的相移与原定目标值相比可能会有大偏差，所以希望能制作出外形更完美的纳米柱。
此外，也有研究表明介电或半导体材料比等离子体更高效。（这又涉及到一个效率问题，以后再议）

5、超表面设计小结

那其实我们设计一个超表面，首先会有一个任务需求，这个任务需求需要在平面上的什么位置满足一个什么样的相位延迟，如此可以形成特定的波前，解决色散、像差等问题，而纳米柱的不同参数（直径、高度等）对应就会有一个对应的相位延迟的值（这个值可能会是更加复杂的，比如它会记录该纳米柱对不同波长光产生的相位延迟信息），如此就有一个纳米柱的库，可以在库中按需索引，即可完成任务。

先在这里感受一下超透镜的效果吧。超表面好强！

本文的参数基础参见Khorasaninejad, Mohammadreza教授发表的文章Polarization-Insensitive Metalenses at Visible Wavelengths链接: link

二、2021试用版仿真

1、建立光路图与平面波设置

在光栅工具箱中选择纳米柱光栅的构建。

得到已经配置好的光路图。

修改平面波的波长为405nm。

2、纳米柱设置

然后编辑纳米柱光栅。先设置基本的厚度为0，然后因为我们想做沿着光路方向（从左往右）的透射型光栅，因此激活后表面堆栈，进入其编辑界面。

在编辑窗口里增加平面（类似之前的OIS元件链接: link）


注意添加两个平面，然后让平面2和平面1有400nm的距离。

改变平面1后表面的材料为纳米柱材料。如此可以对纳米柱进行设置。

点击小铅笔，进入编辑窗口。

纳米柱的基底材料指的是把纳米柱放在什么样的环境里进行试验，所以按照正常状态设置成空气即可。


然后设置纳米柱本身的材料。直接选择成以一个折射率常数来定义即可。

认为是折射率为2.63的固体。

然后具体设置纳米柱的形状和间隔。

详细的参数定义请参考这幅图（点击蓝色的i可激活）

如此纳米柱的结构便设置完成。

接下来设置堆栈周期，需要让堆栈周期和刚才设置好的纳米柱材料也即纳米柱的周期保持一致。

然后纳米柱光栅的部分便设置完成。

3、光栅级次分析器设置

打开光栅级次分析器。

勾掉反射，只研究透射级次，只勾选上单个级次输出。

在单个级次输出的界面下选择级次，只保留0级次。勾选上对效率的考虑，只研究Ex分量上的瑞利系数。

4、参数仿真

（1）、大范围体验式观察

然后改变纳米柱的直径进行研究，在Standard模式下，同时改变Diameter X和Diameter Y,设置观察范围如下。

参数仿真完成得到2幅图。

观察瑞利系数的相位图，并使之平滑。

在场操作下，把相位单独提取出来。

把相位曲线和效率曲线合并得到。（两图合并请参考之前的教程链接: link）

调整一下左上角图例所在的位置。

得到下图，如此有对相位的需求，可以很容易地根据此曲线索引得到对应直径的纳米柱。

值得一提的是，其衍射效率在100步之前，也即50至150nm的范围比较好，同时这个范围内的纳米柱相位是覆盖了2个相位的。因此不妨以此直径范围的纳米柱为索引来满足设计需求。

（2）、按文献参数观察

与（1）相同，只有（1）的结果的一部分。不做过多赘述。




最终两图叠加得下图。

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总结

本篇由大创团队成员：唐艺恒、扶杨玉、黄一诺、李思潼、明玥共同完成。
此篇为工程案例的首次探索，以超表面为研究对象，确实遇到各种问题，希望大家感兴趣的尝试后能够一起讨论看看。