过电磁驱动的倾斜微线圈提出的单光纤扫描仪的草图,该线圈提供交流电源
设计微线圈参数及磁力仿真结果。(a) 倾斜微线圈和磁体的关键参数;(b) CoNi磁体的B-H曲线;(c) 不同倾斜角的模拟磁力;(d) 线圈和磁铁之间相对位置的模拟磁力。(Nr.表示图中的数字)
与所有机械结构一样,这种光纤扫描仪具有自己的谐振频率,并且在其谐振频率下实现了最大的振幅。为了获得光纤扫描仪的谐振频率,采用商用ANSYS有限元分析(FEA)软件(V16.0,Ansys Inc.,Canonsburg,PA,USA)进行模态分析。光纤扫描仪型号的几何参数和规格见表1。选择 SOLID 45 单元类型,并使用 SWEEP 方法对模型进行网格划分,如图 5a 所示。仿真了光纤扫描仪的前三种阶模和相应的谐振频率,分别如图5b–d所示。