微型线圈应用于单光纤扫描仪 电磁驱动倾斜微线圈的制备及其在单纤维内窥镜扫描仪中的潜在应用

过电磁驱动的倾斜微线圈提出的单光纤扫描仪的草图，该线圈提供交流电源

设计微线圈参数及磁力仿真结果。（a） 倾斜微线圈和磁体的关键参数;（b） CoNi磁体的B-H曲线;（c） 不同倾斜角的模拟磁力;（d） 线圈和磁铁之间相对位置的模拟磁力。（Nr.表示图中的数字）

与所有机械结构一样，这种光纤扫描仪具有自己的谐振频率，并且在其谐振频率下实现了最大的振幅。为了获得光纤扫描仪的谐振频率，采用商用ANSYS有限元分析（FEA）软件（V16.0，Ansys Inc.，Canonsburg，PA，USA）进行模态分析。光纤扫描仪型号的几何参数和规格见表1。选择 SOLID 45 单元类型，并使用 SWEEP 方法对模型进行网格划分，如图 5a 所示。仿真了光纤扫描仪的前三种阶模和相应的谐振频率，分别如图5b–d所示。