晶圆测试厂wafer map管理建议

  1. 按照Recipe设定bin定义
    1. 应有版本管理概念,一般使用最新版本做为活动版本即可
    2. Bin明细中应包含 BinID、BinCode、BinName、BinType、BinColor、Description
      1. BinID可使用数字类型
      2. BinCode可参照实际机台的Bin,用于匹配
      3. 有些公司也将BinID、BinCode理解为SBin和HBin
        1. 即 Software Bin & Hardware Bin
      4. 一般也将BinID对应到客户的Bin
      5. BinType一般有Open、Short、Open/Short
      6. BinType还可以有Skip Bin / Device Fail Bin等
      7. Skip Bin用于在某些情况下固定坐标不测试,默认定义为该Bin
      8. Device Fail Bin 用于在某些情况下,固定坐标不管测试于否,都定义为该不良
  2. 按照Recipe设定良率卡关
    1. 应有版本管控概念,一般使用最新版本做为活动版本即可
    2. 良率卡关可包含一下一些情况
      1. 批良率卡关
      2. 片良率卡关
      3. 连续N片良率小于X卡关
      4. 边缘N圈良率小于X卡关
      5. 单片某个(或某几个)Bin数量<N
      6. 单片某个(或某几个)Bin比例<X
      7. 整批某个(或某几个)Bin数量<N
      8. 整批某个(或某几个)Bin比例<X
      9. 以上良率卡关应该要可以定义其Action
        1. 触发良率卡关时Hold Lot
        2. 触发良率卡关时Hold并通知客户
        3. 触发良率卡关时发行ABN
        4. 触发良率卡关时进入重测流程
  3. 将Recipe关联到产品的站点中
    1. 一般Recipe根据测试程式确认唯一性,即一个Recipe对应一个Program
    2. 一个Recipe可关联到多个产品上
  4. 定义产品的标准map
    1. 一般需要定义标准map的GrossDie、角度、坐标信息
    2. 坐标信息中以以下字符代表含义:
      1. G,有效Die,一般用绿色显示
      2. B,空白Die,一般用透明色或者蓝色、或者白色显示
      3. S,无效Skip Die,一般用紫红色显示
      4. M,Marking Die(用于ink时对准位置等),一般用黄色显示
      5. 以上颜色显示参考于TSK map标准
  5. Map****上传
    1. 同类型机台的所有wafer map应由测试部门通过脚本将其集中到某一路径
    2. 集中路径可以是共享网盘也可以是FTP
    3. IT开发程序从该路径中,定时或实时监测新增文件进行处理
    4. 一般该程序设置一定的时延,因为有时map(datalog等)较大,传输需要一定时间
    5. Map上传后应该考虑原始map的备份
      1. 一般按客户、型号、批号、站点 分文件夹进行保存
      2. Map上传失败时,备份到专门的error目录
    6. Map解析处理过程中,一般要进行一些系统卡控,若不满足,则不能上传,或上传后发送系统提醒(消息或邮件)
    7. Map处理过程应由Log记录
      1. 需分级别记录log
        1. 错误的文件类型、文件名、文件夹、批号
        2. Map内容不符合设定的规范
        3. Map内容于系统资料不匹配
        4. Map触发系统相关卡控
  6. Map****保存
    1. 按批号+片号+站点+测试次数保存
    2. 默认情况下,同一 批号+片号+站点 的最后一次测试结果设定为Active,但可手动调整
    3. 保存map的title/summary信息,如:
      1. FileName, Device, Program, ProbeCard, GrossDie, GoodQty, FailQty…
    4. 保存map的坐标信息
      1. 可直接按照 ‘,’分割,回车换行的方式存储在数据库中
      2. 如果数据库容量/性能足够强大,可以保存X,Y,Bin,Dut信息到数据库
      3. Blob方式存储的话,可以使用压缩后的数据流再保存,读取的时候先解压
    5. 保存map的bin统计信息
      1. 记录每个Bin的数量及比例,便于后续分析报表
      2. 如:LotNo, WaferNo, OPNo, TestSeq, BinCode, BinQty, BinType, BinYield
  7. 系统卡控
    1. Map上传过程中检查:
      1. 检查当前批次是否确实在该站点运行,不允许跨站点或者lot运行状态不一致时导入map
      2. 检查当前片号是否在系统的当前批次中
      3. Map信息中的ProbeCard是否属于该产品可用
      4. Map信息中的Program是否属于该产品可用
      5. Map信息中的测试时间是否以前上传过
      6. Map的角度与产品是否一致
        1. 某些情况下,如果不一致可能需要系统自动转角度后导入
      7. Map的GrossDie是否与产品一致
      8. Map中的BinCode是否存在于系统预设的BinCode中
      9. Map的内容die位置是否与产品标准map一致
      10. 计算良率卡关,并记录,必要时发送系统通知,或不允许上传
      11. ……
  8. Map****展示
    1. 一般可以按批号/片号展示批次的基本信息/良率信息等
    2. 需要有查看每个测试次序的资料,比如TestSeq =2 / First / Final / All
    3. 需要有查看每一片wafer map以图形方式显示(便于查看具体不良坐标)
    4. 需要有同时查看多个片号/批次的map图的功能(map gallery)
    5. 需要有叠加多个map图的功能(stack map)
      1. 便于分析整个批号/型号的不良分布
      2. 可按照同一个坐标的不良数来定义不同颜色,颜色最深处为不良最多的区域
      3. 一般只能查看同一个型号(标准map一样,含角度信息)内的map
    6. 需要有导出wafer map文件的功能
      1. 一般要可以导出机台原始文件格式,以及客户所需map格式
      2. 格式一般有:Excel、Xml、TXT(TMB,UMC…)、TSK等
      3. 导出的map用途,一般是为后段PNP或工程分析使用使用
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