国产ICPMS测定电子级硝酸中杂质元素含量

备注：之前单位（江苏天瑞）工作时候，做过的工作。

电感耦合等离子体质谱仪测试高纯硝酸中

23种元素杂质含量

许少辉

摘要：采用超纯水稀释高纯硝酸的处理方法，直接测试了高纯硝酸当中的锂、铍、钠、镁、铝、钾、钙、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镓、砷、银、镉、钡、铅、铋等23种元素的含量。实验结果表明，各元素BEC值在0.2~40ng/L之间，加标回收率在80~120%，长期稳定性<5%。

关键词：碰撞聚焦 高纯硝酸 ICP-MS 

  作为工业和实验室分析当中最为常用的硝酸，其重要作用毋庸置疑。对于光伏、半导体工业来说，这是常见的清洗、反应用酸。其中所含杂质的含量对于产品有着十分重要的影响——例如金属元素过高会导致器件被击穿、P\B含量则决定着光伏电池的P/N型。另外，在ICP-MS分析当中，由于仪器高灵敏度、样品中目标元素一般为痕量超痕量级别，故样品前处理中最常使用的硝酸也需要做一定程度的杂质管控。

  本文参照光伏对于硝酸的标准——SEMI PV16-0611，以标准加入法、“一次进样运行四种模式”测试了高纯硝酸当中的23种元素。实验结果表明，对于硝酸中各杂质的背景等效浓度BEC值在0.2~40ng/L之间，加标回收率均在80%~120%，2小时的长期稳定性均在5%以下。

1. 材料与方法：
   1. 材料与仪器：

质量分数为68%的高纯硝酸，随带检测报告表明每种杂质元素含量均不超过

1μg/L；

实验用水：Millipore-A20所制得的超纯水，其电阻率≧18.2MΩ·cm；

ICP-MS2000B：带碰撞反应池和2路碰撞反应气，可分别通（He+H2）和（He+NH3），

也可根据实际需求配置纯氦气或者其他纯碰撞/反应气；

1. 1. 标准溶液的配置：

锂、铍、钠、镁、铝、钾、钙、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镓、砷、

银、镉、钡、铅、铋混合标准溶液均由对应的10mg/L单标配置而成，各标液购自

于Inorganic Ventures公司；以重量法经一步稀释成230.97μg/L；

1. 1. 前处理方法：

由于ICP-MS的离子源ICP部分是和大气直接接触的，故等离子体中也有大量的N、O、H，因此硝酸的基体除了酸度影响灵敏度之外，其他的和超纯水并无差别，故前处理上以超纯水直接稀释10~20倍即可；考虑到本次样品的纯度仅大致为每元素含量1ppb且该样品已多次启封使用，含量已较未开封样品高，故以稀释20倍处理。 

1. 1. 仪器工作参数：由于使用了4种工作模式，各模式的参数罗列如下：

表1、各模式调谐参数

项目	冷等离子体	碰撞聚焦-冷等离子体	碰撞/反应模式	常规模式
功率/W	600	600	1250	1250
载气流量/L*min-1	1.48	1.43	1.18	1.28
抽取锥电压/v	-168	-168	-550	-550
聚焦透镜1/v	3	3	3	11
六极杆偏压/v	-1.6	-1.3	-1.6	0
四极杆偏压/v	-9.8	-9.8	-9.8	-2.8
采样深度/mm	20	20	10	10
（He+H2）流量/mL*min-1	0	7.5	7.0	0
各模式转换稳定时间/s	45	30	30