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原创 SECSGEM 子协议介绍 - E40 Processing Management(工艺流程管理)
它定义了如何描述作业的基本信息、如何设置作业的参数和条件、如何调度和执行作业,以及如何监控作业的状态和进度等。协议中明确了作业的基本信息,如作业名称、作业类型、作业描述等,以确保作业能够被准确地定义和识别。此外,协议还规定了作业参数的设置,如工艺参数、设备参数等,以确保作业能够按照预期的要求执行。2.作业调度的规定。协议中定义了调度的策略和算法,以根据设备的状态和作业的需求进行合理的调度。协议中定义了监控的数据和指标,如作业的执行时间、设备的运行状态等,以便工厂能够对作业进行全面的评估和分析。
2024-03-11 15:26:18
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原创 深入了解SECS/GEM:S9F13会话超时问题全解析
4)如果发起端有一个要为特定的交互发送的多块消息,则发起端必须在发送数据之前获得响应端的许可。会话中的第1个事务请求发送权限,响应端授予或拒绝,发送权限。2)如果响应端有发起端想要的数据,发起端将用Primary Message请求这些数据,响应端将这些数据填入Reply Message回复给发起端。若在用户规定时间内,会话未完成,此刻会话的进一步操作将被终止,任意已提交的资源将被删除。3)如果发起端将单块消息中的数据发送给响应端,并期望从响应端回复确认。响应端将在信息可用时再启动后续事务,将信息返回。
2024-03-01 15:58:11
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原创 SECSGEM 子协议介绍 - E87 CMS(载具管理)
即CMS(Specification for carrier management,载具管理),是一个针对半导体制造流程中载体(如晶圆盒)管理的国际规范。通过载具管理流程,可以高效的完成产品在设备间的物流移动以及作业,提升设备作业效率,并防止品质隐患。其中Carrier作为一个重要对象,具有一系列属性,如ID,容量,状态等等,其中需要重点说明的有两个属性:SlotMap 和 ContentMap。接口标准:该标准还定义了软件接口的具体要求,以支持包括设备到设备和设备到控制系统间的通讯。
2024-02-23 13:46:55
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原创 SECS/GEM Spooling功能概述
当然SECS/GEM Spool机制的触发还与设备Spool状态有关,包括INACTIVE、ACTIVE、SPOOL FULL、SPOOL OUT 等等,都会对Spool的上传和收集有影响.(RSDC=0)
2024-02-02 14:08:52
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原创 GEM300协议介绍
其次,从应用领域的角度来看,300mm晶圆通常用于生产高端芯片,如CPU、GPU等,而200mm晶圆则更多用于电源管理芯片等对技术要求不那么高的领域。首先,从生产效率的角度来看,300mm晶圆的直径比传统200mm晶圆大,这意味着每个晶圆可以制造出更多的芯片。总之,GEM300是在传统SECS/GEM基础上发展起来的一套更加先进的通信标准,它不仅支持更大的晶圆尺寸,还提供了更多高级的功能和服务,以满足现代半导体制造业对高效率和自动化的需求。这不仅仅是因为尺寸的增大,还包括了对设备精度和材料质量的更高要求。
2024-01-29 16:53:14
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空空如也
空空如也
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