SECSGEM 子协议介绍 - E87 CMS（载具管理）

E87 协议

即CMS（Specification for carrier management,载具管理），是一个针对半导体制造流程中载体（如晶圆盒）管理的国际规范。由SEMI组织制定和发布。这项规范定义了在制造过程中用于控制和追踪载具的软件接口和机制。

SEMI E87的关键点：

载具识别：SEMI E87标准规定了对载具进行唯一识别的方法。这可以通过各种方式实现，包括但不限于条形码、二维码或RFID（无线频率识别）技术。

状态管理：这包括对载具状态的跟踪，比如它们是否在运输中、正在处理或待处理。这有助于优化制造流程并减少停机时间。

数据交换：SEMI E87详细说明了制造设备之间如何交换有关载具状态和位置的信息。这促成了一个更加自动化和集成的生产环境。

接口标准：该标准还定义了软件接口的具体要求，以支持包括设备到设备和设备到控制系统间的通讯。这确保了不同供应商的设备能够有效地沟通和协同工作。

SEMI E87 CMS流程：
1.上料传送（TransferBlocked）
2.读取CarrierID,检验信息（WaitingForHost）
3.SlotMap 校验，分设备校验 或 Host检验 两种方式。
4.执行设备作业。（ProceedWithCarrier）
5.载具准备卸载。（ReadyToUnload）
6.卸载载具操作。（TransferBlocked）

其中Carrier作为一个重要对象，具有一系列属性，如ID，容量，状态等等，其中需要重点说明的有两个属性：SlotMap 和 ContentMap。

SlotMap：是从载具的本体来描述这个对象，其中包含每层是否有产品，以及是否有 异常 槽。（Cross-slotted 和 Double-slotted）

ContentMap：是从载具所装载产品的角度来提供信息。包含LOTID与对应的基板（SubstrateID）信息。

流程中使用到的SECS-II Message：

S3,F17/18	Carrier Action Request/Acknowledge
S3,F19/20	Cancel All Carrier Out Request/Acknowledge
S3,F25/26	Port Action Request/Acknowledge
S3,F27/28	ChangeAccess
S3,F29/30	Carrier Tag Read Data Request/Acknowledge
S3,F31/32	Carrier Tag Write Data Request/Acknowledge

在半导体工厂，特别是300MM的半导体工厂中，通常晶圆等产品的生产周期较长。通过载具管理流程，可以高效的完成产品在设备间的物流移动以及作业，提升设备作业效率，并防止品质隐患。天津谦行科技(www.qianxingcim.com)提供完善的SECSGEM服务，期待与您合作共赢。