34、工业应用中的超声换能器数值模拟

工业应用中的超声换能器数值模拟

在工业应用领域，超声换能器有着广泛的用途，如医疗超声、超声清洗、焊接和超声化学等。然而，其设计和性能优化面临诸多挑战，需要借助精确的数值模拟工具。本文将介绍电容式微加工超声换能器（CMUT）和高强度聚焦超声（HIFU）的相关数值模拟研究。

1. 电容式微加工超声换能器（CMUT）

1.1 数值模拟方案要求

CMUT的设计高度依赖于合适的计算机辅助工程（CAE）工具，因为制作每个原型成本高昂，且与压电换能器相比，其信噪比仍较低，需要大量研究。精确的计算机模拟对于分析和优化此类换能器的动态行为和效率至关重要。但CMUT的精确数值计算面临以下挑战：
- 多场问题 ：涉及静电、机械和声学场及其耦合。
- 几何纵横比 ：典型静电单元的尺寸差异大，如单元膜厚度为400 nm - 1 µm，边长为20 - 40 µm，气隙为200 nm - 1 µm。以200 nm气隙和1 MHz频率下水中波长1.5 mm为例，纵横比高达7500，给计算网格生成带来巨大问题，可采用非匹配网格解决。
- 非线性问题 ：需考虑物理场的不同非线性以及场间的高度非线性耦合机制，具体包括：
- 大变形 ：当变形在结构厚度范围内时，机械计算需考虑几何非线性情况。
- 应力硬化效应 ：CMUT制造过程导致结构内产生大预应力，使结构行为更硬，在几何非线性情况下需充分考虑。
- 电场 ：静电力导致电极 - 膜