半导体通讯协议SECSII/HSMS/GEM详细介绍和使用-2023/07/04

半导体通讯协议SECSII/HSMS/GEM详细介绍和使用-2023/07/04

凡事讲究一个为什么,为什么要按照这个协议去开发软件。因为在高度自动化的半导体制造厂,行业的设备大多来自不同的供给商,缺乏统一的通讯规范。没有标准的通讯协议,并且如果设备供应商不向半导体生产商开放通讯协议及接口软件,半导体生产商就必须自己建立软件之间的连接,增加额外的成本。而且工厂大多数会有一个集中控制中心,如果各个设备采用不同的通讯协议,集控中心很难实现智能工厂自动化这个目标。

SECS协议基本概念扫盲

SECS(全称:半导体设备通讯标准)协议协议是由国际半导体设备与材料产业协会(简称:SEMI)发布的。
SECS是一个协议族,主要包含4类:
1.SECS I (E4)
2.SECS II (E5)
3.GEM (E30)
4.HSMS (E37)

通讯方式

首先确定使用SECS协议的客户端和服务端之间使用什么通讯方式。如下图。
在这里插入图片描述
从图片里面可以看出来通讯方式有两种:
第一种就是串口通讯:对应的就是SESC I协议。串口通讯,一般都是通过设置串口号,波特率,数据位,停止位,校验位等来实现。比较直观简单,也比较落伍(毕竟机台哪有这么多的串口可供使用,而且通讯距离短,还需要考虑布线的问题)
第二种就是TCP/IP通讯:通过设置ip地址和端口号实现,这时主流的连接方式。做得Demo也是以这个通讯方式实现的。对应HSMS协议。

HSMS(全称 HIGH-SPEED SECS MESSAGE SERVICES)

HSMS通讯流程

HSMS通信的设备端通常为客户端(Equipment)(也可称为Active 在通信中主动连接对方的),工厂会部署服务端(Host)(也可称为Passive 被动等待对方连接)。
编写软件,不管是客户端软件还是服务端软件,因为都需要进行指令的收发,所以区别不是很大。通讯流程如下图:通俗易懂
在这里插入图片描述判断两端是否连接,是通过TCP/IP通讯决定的。(即配置好IP地址和端口号之后,两端就可以直接通信)。
连接之后,服务端与不同客户端之间的通讯是HSMS协议决定的(即两端通过HSMS规定的不同的信息格式&#x

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