半导体通讯协议SECSII/HSMS/GEM详细介绍和使用-2023/07/04

半导体通讯协议SECSII/HSMS/GEM详细介绍和使用-2023/07/04

凡事讲究一个为什么,为什么要按照这个协议去开发软件。因为在高度自动化的半导体制造厂,行业的设备大多来自不同的供给商,缺乏统一的通讯规范。没有标准的通讯协议,并且如果设备供应商不向半导体生产商开放通讯协议及接口软件,半导体生产商就必须自己建立软件之间的连接,增加额外的成本。而且工厂大多数会有一个集中控制中心,如果各个设备采用不同的通讯协议,集控中心很难实现智能工厂自动化这个目标。

SECS协议基本概念扫盲

SECS(全称:半导体设备通讯标准)协议协议是由国际半导体设备与材料产业协会(简称:SEMI)发布的。
SECS是一个协议族,主要包含4类:
1.SECS I (E4)
2.SECS II (E5)
3.GEM (E30)
4.HSMS (E37)

通讯方式

首先确定使用SECS协议的客户端和服务端之间使用什么通讯方式。如下图。
在这里插入图片描述
从图片里面可以看出来通讯方式有两种:
第一种就是串口通讯:对应的就是SESC I协议。串口通讯,一般都是通过设置串口号,波特率,数据位,停止位,校验位等来实现。比较直观简单,也比较落伍(毕竟机台哪有这么多的串口可供使用,而且通讯距离短,还需要考虑布线的问题)
第二种就是TCP/IP通讯:通过设置ip地址和端口号实现,这时主流的连接方式。做得Demo也是以这个通讯方式实现的。对应HSMS协议。

HSMS(全称 HIGH-SPEED SECS MESSAGE SERVICES)

HSMS通讯流程

HSMS通信的设备端通常为客户端(Equipment)(也可称为Active 在通信中主动连接对方的),工厂会部署服务端(Host)(也可称为Passive 被动等待对方连接)。
编写软件,不管是客户端软件还是服务端软件,因为都需要进行指令的收发,所以区别不是很大。通讯流程如下图:通俗易懂
在这里插入图片描述判断两端是否连接,是通过TCP/IP通讯决定的。(即配置好IP地址和端口号之后,两端就可以直接通信)。
连接之后,服务端与不同客户端之间的通讯是HSMS协议决定的(即两端通过HSMS规定的不同的信息格式,接受和发送信息,实现服务端统一处理)。举个例子,就比如说客户端要和服务端建立连接,客户端1,客户端2…不管多少客户端,都应该发送同一个格式的信息,服务端这边才可以知道是连接这个请求。不能客户端1采用一种格式,客户端2采用另一种格式。
如下图:客户端Not Connection与Connection状态,这个是通过TCP/IP协议进行监听的,而Not Selected与Selected状态,是通过HSMS协议对客户端Connection状态的进一步划分。客户端Not Selected 不表示断开连接。

HSMS协议

HSMS一般信息格式

在这里插入图片描述个人喜欢称服务端和客户端之间的一次通信信息,叫指令。这个就是指令的一般通用格式,前4个字节是表示这个指令的长度(注意:这个长度不包含自己的4个字节)即:Length = Header.Length + Message Text.Length。并且低位在后,高位在前。

重点的Header部分(一共十个字节)

序号标识含义
00-01Device ID设备的ID标记设备的唯一标识,低位在后,高位在前。
02Header Byte 2解释起来很复杂,对于控制信息和数据信息含义不同
03Header Byte 3解释起来很复杂,对于控制信息和数据信息含义不同
04Ptype消息的编码格式(SECS-II 编码格式 取值为0 ,所以该位就是0)
05SType消息的类型(==0表示为数据信息,!=0表示控制信息)
06-09System Byte标记这次指令的ID,通常用于超时判断(响应时依据发送者指令的最后4字节作为回复,发送时生成不重复的4个字节)

数据信息 Header Byte 2=(W+Stream),Header Byte 3=(Function)

Stream和Function

在这里插入图片描述

SECS使用Stream 和Function来区分不同的功能,即用SxFy表示所有的功能。
通常Fy中y是奇数则是发送消息,y是偶数表示响应消息 。
这其中S1F1、S1F2等都是具有特定含义的。
例如S1Fy的指令都表示与机台状态相关。
S9Fy的指令都表示与系统错误相关。
SxFy的发送接收,服务端或客户端并非每一个都可以使用,有的只有客户端可以发送,有的只有服务端可以发送,也有一些两者都可以发送。对于两者都可以发送的,如果发送方是S1F15,则回复方是S1F16。即,接收的一方收到SxFy后,则必须以SxF(y+1)来回复。
在这里插入图片描述

W

一个字节B,有8位b。如果这个指令需要回复,则8位里面,最高位是1。如果这个指令不需要回复则8位里面最高位是0。如上图,S1F1和S1F2同样都属于S1大类,但是Header Byte 2字节却不相同。需要回复的S1F1<Header Byte 2:10000001>转成十六进制就是81。十进制就是129。本文中所有指令交互默认都是16进制显示的。

控制信息 Header Byte 2 Header Byte 3

要介绍控制信息的Header Byte 2 和Header Byte 3,先介绍Stype字节。

SType(==0表示为数据信息,!=0表示控制信息(只列举了几个常见的,不全))

序号标识含义
0Data Message这是一个交换数据的报文
1select.req请求建立连接
2select.rsp同意建立连接响应
3Deselect.req请求断开连接
4Deselect.rsp同意断开连接响应
5Linktest.req心跳检查连接是否正常
6Linktes.rsp心跳检查连接响应
Header Byte 2 Header Byte 3

如下图
在这里插入图片描述

SelectStatus

如下图
在这里插入图片描述

DeselectStatus

如下图
在这里插入图片描述
此外还有一些控制信息,比较复杂,Demo中并没有使用到。

例子分析

控制信息

如下图关键是区分SType的值,作为回复方的要注意Header Byte 3这一位,作为发送方则Header Byte 3=0,
在这里插入图片描述

数据信息

如下图
在这里插入图片描述

最后你能完全看懂这张图,HSMS协议指令这一块基本就没问题了

在这里插入图片描述

HSMS 的 Message Text (SECS-II 编码格式)

正常来说到这步骤的时候,客户端和服务端之间指令交互已经没问题了。例如:客户端请求建立连接,服务端同意建立连接。如果这一步还没有做到的话,下面暂时不需要看,继续看上面的文章。心急吃不了热豆腐。
如果指令交互已经可以了,接下来就要解析数据信息(即头信息中SType字节==0)的数据部分。现实场景中,就是假如服务端要求获得客户端的某一个设备的温度(这个是由SxFy决定的),客户端返回给你温度100。这个100就会出现在数据信息的数据部分。只有一个值,很容易解析,那如果有100个值,解析和发送就需要按照特定的格式。也就是 SECS-II 编码格式,所以不管控制指令还是数据指令,头信息中PType字节一定取值为0。

SECS-II

SECS-II 主要是用于规范通信过程中的数据结构、数据项、变量项、对象字典、信息细节等。
还记得第一张图里面,服务端与客户端之间有两种通讯方式吗,走串口通讯,虽然使用的SECS-I协议,但是传输数据的格式,也是SECS-II。

SECS-II 的 构成

在这里插入图片描述如图片所示,重点是类型字节(自己起的名称,字节长度一定是1)和长度字节组(这个长度由类型字节的最后2位决定)。一个字节有8位,类型字节的前6位代表Message Text的数据类型,是字节、bool、还是list等,类型字节的最后两位表示长度字节组的长度(因为只有两个字节,所以一共只有0,1,2,3这4种取值情况)。01即图片下方的1表示长度字节组的长度为1,长度字节组的长度为1则最多可以表示2的8次方(即如果需要传输的数据量是布尔类型的100个值,小于255,类型字节的前六位设置成001001,表示数据类型是布尔类型,最后两位设置成01就可以,长度字节组的长度也为1,100用字节表示则为00110010)。而如果超过255,1个字节就不够表示了,所以类型字节的最后2位,就依据情况而设置,(超过7.99M怎么办,我也不知道)。

SECS-II 支持的数据类型

在这里插入图片描述

SECS-II 的例子

例如需要发送一个字符串是ABC,
则类型字节就是前六位01000,因为ABC数量为3,1个字节就可以表示,所以最后2位为01,即长度字节组的长度为1。
长度字节组就是00000011表示3,
而ABC去查对应的ASCII码,也就是01000001(十进制就是65),01000010(66),01000011。
所以最终需要发送的数据用字节表示就是
01000001
00000011
01000001
01000010
01000011
在这里插入图片描述

GEM

GEM也叫(SEMI E30), 定义了一组最低要求、附加(可选)功能、用例和部分SECS-II消息的用户场景。通俗易懂的来说,就是你不可能把HSMS里面所有的SxFy都写在一个程序里面,GEM就是规定了必要的控制信息,基础的功能。会上面的HSMS 和SECS-II通用标准,GEM就没什么难度了。

总结

小时候看迪迦,里面一段话特别印象深刻,“努力活完短暂的一生,将成果留给后代继承,人类就是如此反复,真的很了不起!”为往圣继绝学,为万世开太平。

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### 回答1: 半导体通讯协议是为半导体生产而设计的应用层通讯协议,它为多个半导体设备提供了统一的通讯接口,从而实现了设备间的通讯互联。SECS-I(SEMI Equipment Communications Standard 1)和SECS-II(SEMI Equipment Communications Standard 2)是其中最为常用的两种协议SECS-I是一种基于二进制的协议,数据传输速度较慢,主要应用于较简单的半导体生产设备和IC卡生产设备等。它是面向字节的协议,提供了设备状态变化通知、命令接受、执行结果返回等功能。 SECS-II则是在SECS-I基础上做出的升级,是一种基于消息段的协议,数据传输速度更快,支持Java和C++编程语言。它不仅提供了SECS-I所有的功能,还可以支持更多的应用,如运行时修改协议、自动重连等。 HSMS(High Speed Message Service)是一种高速数据传输的协议使用独特的三层模型。它使用TCP/IP层传输数据,传输速度远高于SECS-I和SECS-II。 GEM(Generic Equipment Model)是SEMI标准制定的设备模型,它提供了一种公共的数据操作接口,用于与设备交互。它不仅提供了设备的基本信息,还具有完整的运行数据和状态信息。 SECS协议资料包括为用户提供的收发消息解析器、SEMI协议文献、SEMI协议使用说明等。这些资料可以为用户提供完整的协议使用指南,利用这些资料可以更好地理解和操作SECS协议。 ### 回答2: 半导体设备制造通讯协议SECS(Semiconductor Equipment Communications Standard)是一种用于在半导体设备之间进行通讯的标准化协议。其最初的版本SECS-I是于1987年提出的,用于支持简单的消息传输和无异常数据传输。后来,为了提高数据传输带宽和可靠性,SEMI又推出了SECS-II版本。SECS-II在SECS-I的基础上增加了更多的报文传输方式和报文格式,同时引入了多线程、消息重发和超时管理机制,支持了更为复杂和高速的通讯。 HSMS(High Speed Message Service)是一种基于TCP/IP协议的SEMI标准通讯协议,相比于SECS-II更为高速,需要更低的通讯延迟。HSMSSECS-II一样,具有可靠性、扩展性、兼容性和互操作性,可用于半导体制造设备之间的通讯。 GEM(Generic Equipment Model)是SEMI制定的一种标准通讯协议,用于在半导体制造设备和自动化系统之间实现消息互通和控制。GEM基于SECS-II和HSMS通讯协议,实现了制造系统和制造设备之间的互操作性,可以通过它实现诸如数据收集、报警、设备控制、远程诊断等功能操作。 SECS协议资料包括了SEMI组织发布的各类规范和标准、数据手册、报文协议说明和范例、通讯模拟工具等。这些资料将有助于半导体设备厂商、系统集成商、应用开发者和维护人员理解和应用SECS及其衍生协议,从而提高设备通讯的效率和可靠性。 ### 回答3: 半导体通讯协议SECS(SEMI Equipment Communications Standard)是一种用于半导体制造设备之间通信的标准协议。其中,SECS-I和SECS-II分别是SECS的两个版本。 SECS-I是原始版本,也是较简单的版本。它采用Synchronous Link Control(SLC)协议,以半双工方式传输数据。每次只能有一台设备发送数据,另一台设备则必须等待。由于其简单性和易用性,SECS-I广泛应用在晶圆切割机、半导体封装机等设备通信中。 SECS-II是更新版本,也是当前广泛使用的版本。它使用TCP/IP协议进行通信,支持双向数据传输,实现了高速、高效的数据传输。SECS-II还拥有更丰富的功能和更灵活的扩展性,能够满足不同设备之间复杂的通信需求。因此,SECS-II被广泛应用于半导体生产的各个环节,如控制制造设备、数据收集和分析等。 HSMS(High-Speed SECS Message Services)是一种基于SECS-II的通讯协议。它利用TCP/IP协议实现高速的数据传输,从而提高生产效率。HSMS支持多个连接,能够实现多设备同时与工控机通信,满足大规模制造的需要。 GEM(Generic Equipment Model)是SECS协议的一种扩展,它定义了半导体设备与上层系统之间的通信接口。GEM将设备抽象成状态机,提供了一组标准的状态变化模型和可重用的状态模板,从而简化了设备开发和系统集成的工作。GEM的应用范围广泛,例如,它可以用于管理半导体生产线的批处理和工艺路线。

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