光谱共焦的两种测量模式

光谱共焦测量技术通过分析不同波长光在特定表面的焦点位置，进行高精度尺寸测量和微观形态分析。 根据此测量原理，特定波长的光可能聚焦于样本表面，而对于透明材质的样本，两种不同波长的光将聚焦于样本的表里。 这是光谱共焦所提供的两种测量模式，前者是位移测量模式，后者是厚度测量模式。下面深圳立仪科技为大家简单介绍：

1.位移测量模式

　　位移测量模式输出z方向的高度值，读取XY的位移量，直接输出点云坐标。 该模式与三坐标、结构光、激光三角等测量方法相一致，不同之处在于光谱共焦支持反射面的测量，具有亚微米级的测量精度。

　　位移量测模式适用于大多数精确尺寸量测场景，您可以选取点、线和面的量测样本。 点测量适用于测量物体的振动和液体的高度，输出不同时刻的z方向的值来辅助分析。 线性测量可连续记录运动样本表面的z方向值，用于断差检测和2D尺寸分析。 面测量提供样品表面的完整三维形态数据，可以进行综合粗糙度等项目的分析。

2.厚度测量模式

　　当测量透明样本(如玻璃和透镜)时，两种不同波长的光将聚焦于样本的正面和背面，引入样本的折射率参数，然后可以计算样本的厚度值。 与游标卡尺等传统接触式测量工具相比，光谱共焦测量具有所有非接触式光学测量的优点，同时还具有单侧测量可获取样品厚度值的特性。

　　因为折射率直接影响厚度测量的数据精度，开始测量时要确认样品的折射率。 折射率可以参考同种材料的数值，但为了得到更高精度的厚度测量结果，需要用折射率计测量样品的折射率。