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一、SECS是什么?
SECS/GEM是由国际半导体设备与材料协会(SEMI)的会员一起构建的连接性标准。该标准应用于在设备和工厂管理系统间的通讯标准。
SECS是一个分层协议,由3个级别组成:
1.Message Protocol消息协议,
2.Block Transfer Protocol,块传输协议
3.Physical Link,物理连接
二、SECS-II Message Protocol
Message Protocol(消息协议)用于在主机和设备之间发送SECS-II消息。每个SECS-II消息包含一条发送消息和一条回复消息。这也被称为交易。
1.Stream和Function
SECS-II消息包括Stream和Function。每条消息都有一个Stream值(Sx)和一个Function值(Fy)。在Stream1、Function1的情况下,写为“S1F1”。Stream决定了消息的类别,而Function是该类别中的特定消息。Function值在发送消息中始终为奇数,应答中的Function值为大于发送消息的偶数。
有一些保留的和留给用户自定义的Stream和Function
所有的Function 0都有特定含义,作为终止消息的回复
2.Message Layout
Message Layout定义了SECS-II Message的所有数据项。
SECS接口的提供者通常会提供一份接口手册。本手册详细介绍了SECS消息及其布局。它还可以包括定义消息项的数据项字典。
SECS-II消息可以使用几种约定进行注释。下面显示了两种最常见的约定:
Data Items(数据项)
数据项由格式代码决定。下表列出了所有可能的数据项及其格式代码。格式