SECS/GEM协议（SECS-I）

一 SECS是什么

• SECS 是 SEMI Equipment Communications Standard的缩写，也就是半导体设备通讯标准。（Used in semiconductor & LCD manufacturing system）
• SECS标准包括SECS-I、SECS-II、HSMS 和 GEM 四个标准。

二 SECS优点

使用SECS通信的设备Online化的优点

• 使用标准通信协议确保通用性
• 设备系统开发费用降低
• 系统集成费用降低
• 设备稼动率增加及 Downtime 减少
• 生产 Yield 上升
• 通过实时的监控迅，可以迅速决策
• 防止由作业人员的失误引起的不良事故
• 使用 Reporting 功能减少工作量
• 人工费缩减

三 Configration(配置)

• SECS-I 和 HSMS 处于模型的底层，为半导体设备通信链路层标准。SECS-I 是基于RS-232的协议，HSMS为基于TCP/IP的协议。

• SECS-II协议封装了 SECS-I 和 HSMS，在它们的基础上定义了半导体设备的通信格式。

• GEM则在SECS-II的基础上定义了半导体生产制造过程中的交互行为。

四 系统结构图

五 SECS-I协议

5.1 SECS-I 的定义和特点

5.1.1 定义

• SEMI EQUIPMENT COMMUNICATION STANDARD 1
• MESSAGE TRANSFER
• 属于传输协议标准，描述数据是如何通过物理层在设备与主机之间进行传输的，通过 RS-232通信来传送SECS-II数据的规范。

5.1.2 特点

• Point to point using RS-232C
• 8-bit byte with 1 start and 1 stop bit (No parity)
• 异步/双向传输 (flows in one direction at a time)
• 实际 Data 交换是使用 Block
• 1 Block = 10 byte Header + Data (Max 254 bytes)
• 1 Message = 1 ~ 32,767 Blocks
• 1 Transaction = Request MSG + Reply MSG

5.1.3 Transaction Diagram（事务示意图）

5.2 SECS-I 的信息和 Header 结构

5.2.1 Handshake codes （握手码）

5.2.2 Block Structure （块结构）

SECS-I通信的逻辑传输单位 是Block，数据被分块进行传输，每个数据块最大为 254 字节。一个消息是一个方向的完整通信单元，由1到32,767个块组成。每个块标头都包含用于标识该块作为特定消息的一部分的信息。

Block的组成如下所示：

• A: 块长 (1字节）
• B：头部 (10字节）
• C：数据 (0-244字节）
• D：校验和 (2字节）

5.2.3 Header Structure (Block头部结构）

说明：

• R (Reverse Bit)

消息方向
0 : Host to EQ (Device ID means destination)
1 : EQ to Host (Device ID means source）

• Device ID

EQ内物理设备的逻辑标识符
消息的来源或目的地（主机没有设备ID）

• W (Wait Bit)

Reply message 需要与否
0 : Reply not expected
1: Reply expected

• Message ID

决定Message的形式和内容. (Stream no + Function no)
Primary Message时 Function no为奇数
Secondary Message是 Function no为偶数值

• E (End Bit)

Message的结束标示
0 : 当前 block 后面或者其他 block会连续的意思
1 : 当前 block 是 message的最后 block

• Block Number

Multi-Block Message中表示每个 Block的序列号. (从1开始, 最大到 32,767为止)

• System Byte

消息的标识符
对目前进行中的所有 Transaction是独有的
近期结束的 Transaction或失败的 Transaction的值要不一样
Reply Message的 System Bytes是需要和 Primary Message值一样
Multi-Block Message时所有 Block是拥有相同 System Bytes值

5.3 学习 Protocol Parameters（协议参数）

Symbol	Name	Typical Functio
BAUD	Baud Rate	设置串行线路速度
DEVID	Device ID	分配给设备的标识符
T1	Inter-Character Timeout	检测字符之间的中断
T2	Protocol Timeout	检测到缺少协议响应
T3	Reply Timeout	检测到缺少回复消息
T4	Inter-Block Timeout	检测多块消息的中断
RTY	Retry Limit	允许的最大发送重试次数
M/S	Master/Slave	冲突解决

Timeout Parameter