半导体中刻蚀、薄膜沉积、离子注入等工艺射频电源通信（DeviceNet,Profibus DP,EtherCAT）解决方案

背景简介：

射频电源是等离子体加工设备核心零部件。射频电源是产生等离子体的核心零部件，对等离子体加工设备的加工能力和加工效果影响很大。主要影响领域包括半导体中刻蚀、薄膜沉积、离子注入、清洗去胶等环节和光伏中薄膜沉积环节，射频电源的性能对形成的等离子体质量和稳定性至关重要，因此对于输出方式、输出效率、输出稳定性等都有极高要求，是半导体零部件中高技术壁垒的零部件之一。

射频电源应用1：等离子体刻蚀设备

刻蚀设备单腔通常应用2-3台射频电源，1台高频电源作为Source源，用来产生等离子体；1-2台低频电源作为Bias源，用来给予偏压电场，给离子加速。高频电源作为Source源的好处在于能够使等离子体中粒子发生更多次碰撞，从而获得高密度粒子；低频作为Bias源更易于给到粒子更高的速度和动能，使离子有更强的轰击能力。

左图射频电源在CCP上应用，右图射频电源在ICP上应用

射频电源应用2：薄膜沉积设备PECVD

PECVD通常是将待沉积物质在射频作用下形成等离子体，再通过化学反应在硅片表面完成沉积；PVD中同样需要先形成等离子体，在反向电场的作用下加等离子体轰击到腔体上方靶材上，击落靶材粒子完成沉积；PEALD中同样应用等离子体来增强沉积能力。

左图PECVD应用，右图PVD应用

我们可以看出无论是应用1，还是应用2，射频电源仅是整个机器内的一个设备，以刻蚀设备为例，机器内部除了射频电源外，还有真空阀，质量流量计，同时需要一套主控设备，通常是PLC，基本架构如下：

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我们知道通常不同厂商的PLC具备不同的工业通信协议，例如西门子PLC一般Profinet，Profibus DP协议，倍福PLC一般EtherCAT通信协议。

另外在半导体发展初期对通信协议这部分是没有标准的，西门子Profibus DP被行业内广泛使用，之后在设备的控制系统要求其信息传输具有速度快，精度高的特征，这一背景下，SEMI很早将DeviceNet作为应用标准纳入半导体设备体系中。‌随着半导体机器内部设备越来越多，传输数据量越大，传输速度越快，伺服越多等，2007年SEMI将EtherCAT纳入半导体通信标准。

因此就半导体设备（例如射频电源）而言可能面临多种通信协议的需求。

作为射频电源厂商我们可能面临的通信挑战如下：

• 面临半导体行业需求的DeviceNet,Profibus DP,EtherCAT如何快速实现并灵活兼容？

• 射频电源本身是高频，功率较高设备，可能对通信存在干扰，如何实现通信的稳定、可靠？

经过多方的对比，最终我们选择了瑞典一家专门做工业通信相关产品的公司---瑞典HMS工业网络有限公司

一套方案轻松实现多种协议

进入今天的主题，轻松实现多种通信协议，例如：DeviceNet,Profibus DP, EtherCAT中， 今天主要实现并测试了EtherCAT协议，接下来我会陆续更新其他协议的实现与测试，欢迎关注。

为了本次开发，我在淘宝上购买了一套STM32F103的开发板，照片如下：

STM32F103测试板

HMS销售人员协调了测试板+M40模块，M40模块型号为AB6610-D, 可以通过刷固件的方式切换多种协议，例如Profinet，EtherNet/IP, EtherCAT等等

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先按照HMS给的网盘资料，按照适配板指导手册，完成硬件的连接

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到这一步基本完成了硬件连接，接下来就是将HMS给的基于STM32F103的程序跑在MCU中，同样在网盘资料里面可以找到

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驱动顺利在STM32F103中运行，并驱动起M40

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面向客户我们一般需要提供ESI文件，HMS有个非常方便的小工具，能够自动生成ESI文件,无需手动修改

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接下来到倍福官网寻找Twincat主站，下载地址：Search result | 倍福 中国

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安装完Twincat之后即可测试与M40连接了，我们可以看到模块顺利与Twincat连接也并进入到了OP状态

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截止到这里，我们EtherCAT通信协议已实现，但是还有一个疑问，我该如何定义射频电源与主站交互的数据呢？HMS驱动程序中做了一个框架程序，仅仅需要按照他们的格式定义即可，例如我这边想要定义一个2个字节的电压值Voltage_test,作为PDO数据发给主站

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通过以上3个地方的修改，即可完成自己数据的定义，接下来我们使用Twincat继续测试，从下图我们可以看到，自己定义的Voltage_test已出现在PDO数据中：

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截止到这一步，我们EtherCAT整个测试已基本完成，接下来我们会根据射频电源相关的参数进行变量定义。总体来说HMS产品方案实现确实简单，我这边也并不要掌握EtherCAT协议，产品也能提供ETG相关预认证报告，保证协议的一致性，另外最大的优势是经过这次的开发，后期其他协议都可以兼容，这个我后面会慢慢更新测试情况哈。

好了，今天就更新到这边，下一期我将更新DeviceNet的实现与测试，下期见。