传感器与检测技术——第四章电感式传感器

  电感式传感器

        电感式传感器是建立在电磁感应基础上的,其具有工作可靠、寿命长、灵敏度高、分辨力高、精度高、线性好、性能稳定、重复性好等优点。


        根据工作原理的不同,电感式传感器可分为变磁阻式(自感式)变压器式(互感式)电涡流式(互感式)等种类。

变磁阻电感式传感器(自感式)

         变磁阻电感式传感器的结构如上图所示。它由线圈、铁心、衔铁三部分组成。在铁心和衔铁间有气隙,其厚度为δ。当衔铁移动时气隙厚度发生变化,引起磁路中磁阻变化,从而导致线圈的电感值变化。通过测量电感量的变化就能确定衔铁位移量的大小和方向。

        根据      L=\psi /I=N\phi /I      和      \phi =IN/R_{m} 

得出    L=N^2/R_m

                ​​​​​​​        ​​​​​​​        R_{m}=l_{1}/\mu _{1}A_{1}+l_{2}/\mu _{2}A_{2}+2\delta /\mu _{0}A_{0}

通常情况下气隙磁阻远大于铁心和衔铁的磁阻,即

        ​​​​​​​        ​​​​​​​        ​​​​​​​        ​​​​​​​           ​​​​​​​            2\delta /\mu _{0}A_{0}>>l_{1} /\mu _{1}A_{1}

                                                       2\delta /\mu _{0}A_{0}>>l_{2} /\mu _{2}A_{2}

所以可以近似为

                                                            R\approx 2\delta /\mu _{0}A_{0}

根据上述公式可得

                                                 L=N^{2}/R_{m}=N^{2}\mu _{0}A_{0}/2\delta

气隙型电感式传感器衔铁位移

  • 当衔铁处于初始位置时,初始电感量为L=N^{2}\mu _{0}A_{0}/2\delta
  • 当衔铁上移\Delta \delta时,\Delta \delta =\delta _{0}-\delta
    • \Delta L=N^{2}\mu _{0}A_{0}/2(\delta_{0}-\Delta \delta)-N^{2}\mu _{0}A_{0}/2\delta_{0}=L_{0}\frac{\Delta \delta }{\delta _{0}}/(1-\frac{\Delta \delta }{\delta _{0}})
    • 进而推出下列公式:

 由此可以看出此时\Delta \delta增大,K增大。

  • 当衔铁下移\Delta \delta
    • \Delta L=N^{2}\mu _{0}A_{0}/2(\delta_{0}+\Delta \delta)-N^{2}\mu _{0}A_{0}/2\delta_{0}=L_{0}\frac{\Delta \delta }{\delta _{0}}/(1+\frac{\Delta \delta }{\delta _{0}})
    • 进而推出下列公式

 由此可以看出此时\Delta \delta增大,K减小。 

        将其做线性处理(忽略高次非线性项),可得\Delta L/L_{0}=\Delta \delta /\delta _{0} 

        灵敏度定义为单位气隙厚度变化引起的电感量相对变化,即

                                                               K=\frac{\Delta L/L_{0}}{\Delta \delta}=\frac{1}{\delta_{0}}

        由上行公式可知,灵敏度的大小取决于气隙的初始厚度,为一个定值。但是因为这是近似得出,实际上,其灵敏度取决于传感器工作时气隙的当前厚度。

差动变气隙厚度电感式传感器(互感式)

        差动变压器式传感器是本身是一个变压器,它把被测位移量转换为传感器互感的变化,使次极线圈感应电压也发生相应的变化。

衔铁右移时

        ​​​​​​​        L_{1}=N^{2}\mu _{0}A_{0}/2(\delta_{0}+\Delta \delta ) 

                L_{2}=N^{2}\mu _{0}A_{0}/2(\delta_{0}-\Delta \delta )

可得

\Delta L=\Delta L_{1}+\Delta L_{2} 进行线性处理并忽略非线性项,可得

        ​​​​​​​        ​​​​​​​        ​​​​​​​        ​​​​​​​        ​​​​​​​        ​​​​​​​        \Delta L/L_{0}=2\Delta \delta /\delta _{0}

可得灵敏度:

        ​​​​​​​        ​​​​​​​        ​​​​​​​        ​​​​​​​        ​​​​​​​        ​​​​​​​        K=\frac{\Delta L/L_{0}}{\Delta \delta}=2\frac{1}{\delta_{0}}

 螺旋式差动变压器

        由于次级烧组反向串接,故差动变压器输出电压为:

        ​​​​​​​        ​​​​​​​        ​​​​​​​        ​​​​​​​        \dot{E}_{s}=\dot{E}_{s1}-\dot{E}_{s2}=-\frac{j\omega(M_{1}-M_{2})\dot{E}_{p} }{R_{p}+j\omega L_{p}}

        铁心处于中间位置时:M1=M2=M,Es=0

        铁心上升:M1=M+\Delta M,M1=M-\Delta M

        铁心下降:M1=M- MM1=M+ M

 产生零点残余电压的原因:

  1. 传感器的两个电感线圈的电气参数与几何尺寸不对称
  2. 磁性材料的非线性
  3. 电源电压中含有高次谐波
  4. 寄生电容等问题引起的

        零点残余使得传感器的输出特性在零点附近不灵敏,给测量带来误差,其大小是衡量差动变压器性能好坏的重要指标。

消除零点残余的方法:

  1. 使两个线圈的电气参数尽量的一致,几何尺寸尽量一致
  2. 在电源尽量减小这种高速谐波的影响
  3. 消除非线性
  4. 减小其他寄生参量

电涡流电感式传感器

高频反射式

线圈阻抗:Z=f(ρ,μ,r,δ,ω)

ρ—— 导体的电阻率

μ—— 导体的导磁率

r—— 导体和线圈的尺寸因子

δ——导体表面到线圈的距离

\omega—— 线圈内的交变电流频率

 根据基尔霍夫第二定律可得

 

         感抗L的变化比R的变化大得多

        当电涡流线圈与金属板的距离减小时,电涡流线圈的等效电感L减小,等效电阻R增大。感抗X_L的变化比R的变化大得多,流过电涡流线圈的电流i_1增大。

低频透射式

        发射线圈L_1加上交流电压,产生的磁力线切割G,在被测体G中产生电涡流i,涡流损耗部分能量,使通过接收线圈L_2的磁力线减少,引起L_2电势e_2下降。金属板越厚, e_2越小。

测量电路

交流电桥

当衔铁上移时,Z1和Z2,变化方向相同。\dot{U}_{0}=-\frac{\dot{U}_{i}}{2}\frac{\Delta \delta }{\delta _{0}} 

当衔铁下移时,Z1和Z2,变化方向相反。\dot{U}_{0}=\frac{\dot{U}_{i}}{2}\frac{\Delta \delta }{\delta _{0}}

变压器式交流电桥

 

当衔铁上移时,Z1和Z2,变化方向相同。\dot{U}_{0}=-\frac{\dot{U}_{i}}{4}\frac{\Delta \delta }{\delta _{0}} 

当衔铁下移时,Z1和Z2,变化方向相反。\dot{U}_{0}=\frac{\dot{U}_{i}}{4}\frac{\Delta \delta }{\delta _{0}}

谐振式调幅电路

        输出幅值随着电感L变化,L_0为谐振点的电感值。 此电路灵敏度很高,但线性差,适用于线性度要求不高的场合。

 电感L变化时谐振频率f_0=1/(2π√LC) 变化。 线性范围小。

全波差动整流电路

        铁芯在零位以上或零位以下时,输出电压的极性相反,零点残存电压自动抵消。

相敏检波电路 

        电压U_2和测量信号U_1同频,经过移相器使U_2和U_1保持同相,且满足U_2≫U_1 (即二极管的通断由U_2决定)。

        经过相敏检波电路后,正位移输出正电压,负位移输出负电压。差动变压器的输出经过相敏检波以后,残存电压自动消失。

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