电感式传感器
电感式传感器是建立在电磁感应基础上的,其具有工作可靠、寿命长、灵敏度高、分辨力高、精度高、线性好、性能稳定、重复性好等优点。
根据工作原理的不同,电感式传感器可分为变磁阻式(自感式)、变压器式(互感式)和电涡流式(互感式)等种类。
变磁阻电感式传感器(自感式)
变磁阻电感式传感器的结构如上图所示。它由线圈、铁心、衔铁三部分组成。在铁心和衔铁间有气隙,其厚度为δ。当衔铁移动时气隙厚度发生变化,引起磁路中磁阻变化,从而导致线圈的电感值变化。通过测量电感量的变化就能确定衔铁位移量的大小和方向。
根据 和
得出 。
通常情况下气隙磁阻远大于铁心和衔铁的磁阻,即
所以可以近似为
根据上述公式可得
气隙型电感式传感器衔铁位移
- 当衔铁处于初始位置时,初始电感量为
- 当衔铁上移
时,
- 进而推出下列公式:
由此可以看出此时增大,K增大。
- 当衔铁下移
时
- 进而推出下列公式
由此可以看出此时增大,K减小。
将其做线性处理(忽略高次非线性项),可得
灵敏度定义为单位气隙厚度变化引起的电感量相对变化,即
由上行公式可知,灵敏度的大小取决于气隙的初始厚度,为一个定值。但是因为这是近似得出,实际上,其灵敏度取决于传感器工作时气隙的当前厚度。
差动变气隙厚度电感式传感器(互感式)
差动变压器式传感器是本身是一个变压器,它把被测位移量转换为传感器互感的变化,使次极线圈感应电压也发生相应的变化。
衔铁右移时
可得
将 进行线性处理并忽略非线性项,可得
可得灵敏度:
螺旋式差动变压器
由于次级烧组反向串接,故差动变压器输出电压为:
铁心处于中间位置时:M1=M2=M,Es=0
铁心上升:,
铁心下降:,
产生零点残余电压的原因:
- 传感器的两个电感线圈的电气参数与几何尺寸不对称
- 磁性材料的非线性
- 电源电压中含有高次谐波
- 寄生电容等问题引起的
零点残余使得传感器的输出特性在零点附近不灵敏,给测量带来误差,其大小是衡量差动变压器性能好坏的重要指标。
消除零点残余的方法:
- 使两个线圈的电气参数尽量的一致,几何尺寸尽量一致
- 在电源尽量减小这种高速谐波的影响
- 消除非线性
- 减小其他寄生参量
电涡流电感式传感器
高频反射式
线圈阻抗:Z=f(ρ,μ,r,δ,ω)
ρ—— 导体的电阻率
μ—— 导体的导磁率
r—— 导体和线圈的尺寸因子
δ——导体表面到线圈的距离
—— 线圈内的交变电流频率
根据基尔霍夫第二定律可得
感抗L的变化比R的变化大得多
当电涡流线圈与金属板的距离减小时,电涡流线圈的等效电感L减小,等效电阻R增大。感抗X_L的变化比R的变化大得多,流过电涡流线圈的电流i_1增大。
低频透射式
发射线圈L_1加上交流电压,产生的磁力线切割G,在被测体G中产生电涡流i,涡流损耗部分能量,使通过接收线圈L_2的磁力线减少,引起L_2电势e_2下降。金属板越厚, e_2越小。
测量电路
交流电桥
当衔铁上移时,Z1和Z2,变化方向相同。
当衔铁下移时,Z1和Z2,变化方向相反。
变压器式交流电桥
当衔铁上移时,Z1和Z2,变化方向相同。
当衔铁下移时,Z1和Z2,变化方向相反。
谐振式调幅电路
输出幅值随着电感L变化,L_0为谐振点的电感值。 此电路灵敏度很高,但线性差,适用于线性度要求不高的场合。
电感L变化时谐振频率f_0=1/(2π√LC) 变化。 线性范围小。
全波差动整流电路
铁芯在零位以上或零位以下时,输出电压的极性相反,零点残存电压自动抵消。
相敏检波电路
电压U_2和测量信号U_1同频,经过移相器使U_2和U_1保持同相,且满足U_2≫U_1 (即二极管的通断由U_2决定)。
经过相敏检波电路后,正位移输出正电压,负位移输出负电压。差动变压器的输出经过相敏检波以后,残存电压自动消失。