背景介绍
SECS/GEM指的是一组用于管理制造设备和工厂主机系统之间通信的半导体行业标准。SECS/GEM是在设备上实现的，工厂使用它来实现命令和控制功能。由于它是一个行业标准，任何符合SECS/GEM的主机软件都可以与任何符合SECS/GEM设备进行通信。该标准在设备上全面实施后，工厂软件可通过其SECS/GEM接口对设备进行全面控制和监控。这些标准为设备制造商和工厂提供了许多好处。
目的
通过自动化减少人工
通过中央控制增加产量
减少操作人员的失误
通过对设备状态的把握预测和预防错误
通过检测设备的状态，进行计划性的分配设备保养和工作时间
协议概况
SECS（SEMI设备通信标准）/ GEM（通用设备模型）标准以确定的方式完成所有这些工作。由SEMI（半导体设备和材料国际）组织开发，该标准定义了一套通用的设备行为和通信能力；用于设备到主机数据通信的半导体设备接口协议。在自动化工厂中，接口可以启动和停止设备处理，收集测量数据，更改变量并为产品选择配方；其协议包括 SECS-I、HSMS、SECS-II 和 GEM 四个标准。其实还有一个最新国际标准EDA(Interface A) ，但不在本系列文章的探讨范围内。
简而言之SECS / GEM标准定义了消息，状态机和场景，以使工厂软件能够控制和监控制造设备。
-
SECS/GEM协议
(传统的主机设备通信标准，定义了通信的物理层（RS232, TCP/IP）、消息格式以及设备通信场景)
-
传输层：
SECS-I：（SEMI E4 : SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer）
属于传输协议标准，描述数据是如何通过物理层在设备与主机之间进行传输的，通过 RS-232C 通信来传送SECS-II 数据的规范。
HSMS：(SEMI E37 : High-speed SECS Message Services Generic Services)
属于传输协议标准，描述数据是如何通过物理层在设备与主机之间进行传输的，使用的传输媒质是以太网。通过以太网来传送SECS-II 数据的规范。
-
消息层：
SECS-II：(SEMI E5 : SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content)
属于消息格式标准，定义了在设备与主机之间进行双向会话时所使用的消息格式。
-
功能层：
GEM：(SEMI E30 : Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (制造设备通信和控制的通用模型))
属于设备功能标准，定义了通过通信链路所能看到的设备接口，指定了根据特定的消息设备所应该采取的对应的行为。
定义设备驱动的标准，对设备工作的scenario和当时所使用的SECS-II 消息们的捆绑。
-
GEM300协议
(以SECS/GEM标准为基础，针对300mm晶圆加工过程中的特殊需求，定义了加工过程管理、批量物料的作业管理、物料跟踪、载体管理、载体并行I/O接口等)
需要注意GEM300是在GEM基础上，针对300mm晶圆加工过程中的特殊需求，定义了加工过程管理、批量物料的作业管理、物料跟踪、载体管理、载体并行I/O接口等。
-
传输层：
HSMS-SS or HSMS-SSS：（SEMI E37.1 : High-Speed SECS Message Service Single Selected Session Mode）
属于传输协议标准，描述数据是如何通过物理层在设备与主机之间进行传输的，通过 TCP 通信来进行高速传送SECS-II 数据的规范。
-
功能层：
OSS：（SEMI E39 : Object Services Standard: concepts, behaviour, and services）
属于消息格式标准，描述对象服务的概念，行为，服务的规范。
STSDTO：（SEMI E148 : Specification for Time Synchronization and Definition of the TS-Clock Object ）
属于消息格式标准，描述消息时钟的同步和定义规范。
SEDD：（SEMI E172 : Specification for SECS Equipment Data Dictionary ）
属于消息格式标准，描述设备数据字典的规范。
SMN：（SEMI E173 : Specification for XML SECS-II Message Notation）
属于消息格式标准，描述XML消息的规范。
-
业务层：
IO：（SEMI E84 : Specification for enhanced carrier handoff parallel I/O interface）
属于业务层格式标准，描述载体并行I/O接口的规范。
CMS：（SEMI E87: Specification for Carrier Management）
属于业务层格式标准，描述管理物料的交付、处理和验证。目的是验证预期的材料是否已交付给设备。
PM：（SEMI E40 : Standard for Processing Management）
属于业务层格式标准，描述流程作业管理与处理资源对材料的处理有关。它的功能是确保输送到工艺模块的材料使用正确的配方进行处理。
CIM：（SEMI E94 : Specification for Control Job Management）
属于业务层格式标准，描述材料处理设备上的处理作业提供监督级别的控制，允许主机管理复杂的处理场景
CMS：（SEMI E90 : Specification for Substrate Tracking）
属于业务层格式标准，描述一种标准方法，用于在制造过程中跟踪基板，其方式与 E87 对 Carriers 所做的相同。
MPT：（SEMI E157 : Specification for Module Process Tracking）
属于业务层格式标准，描述模块过程跟踪的规范。
EPT：（SEMI E10 : Specification for Definition and Measurement of Equipment Reliability, Availability, and Maintainability (RAM) and Utilization）
属于业务层格式标准，描述设备可靠性，维护性的规范。
EPT：（SEMI E116 : Specification for Equipment Performance Tracking）
属于业务层格式标准，描述设备性能跟踪的规范。
EDA(Interface A)协议
(Interface A通信方法工具软件是设备系统的一部分，由Interface A接口、服务和数据类型，以及设备模型工具和设备控制系统组成)
SEMI E120：THE COMMON EQUIPMENT MODEL
(通用设备模型规范)
SEMI E125：EQUIPMENT SELF DESCRIPTION
(设备自我描述规范)
SEMI E132：EQUIPMENT CLIENT AUTHENTICATION AND AUTHORIZATION
(设备客户端身份验证和授权规范)
SEMI E134：DATA COLLECTION MANAGEMENT
(数据收集规范)
SEMI E164：EDA COMMON METADATA
-
历史及发展
-
SECS/GEM协议
协议分层结构简介
| Application | User Application Program |
| SECS-II | Conversations |
| Message Formats | |
| Data Item Formats | |
| SECS-I/HSMS | Transaction |
| Message | |
| Block | |
| Physical |
其中，SECS-I 和 HSMS 属于传输协议标准，描述了数据是如何通过物理媒介在设备与主机之前传输的。SECS-II 属于消息格式标准，定义了在设备与主机之前进行双向会话时所使用的消息格式。GEM 属于特殊功能标准，定义了通过通信链路所能看到的设备接口，指定了根据特定消息设备所应该采取的对应行为。
SECS-Ⅰ 通讯协议详解
-
简介
SECS-I (SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer)[7]定义了使用 RS-232 作为传输媒质时点到点的数据通信。通信使用的是一个串行发送的 8 比特字符串，以及一个起始位和一个终止位。通信是双向和异步的，但是同一时间媒质上只能有一个方向的数据进行传输。数据被分块进行传输，每个数据块最大为 254 字节，一个消息最多能包括 32767 个数据块。
SECS-I标准是用于串口通讯的设备，这种设备基本都是20年前的老旧设备，近些年的新设备已经不再使用此标准了。因此对于此标准的开发需求已经很少了。
-
硬件
RS232串口通信协议为通讯标准，8-N-1的传输方式，并且采用半双工方式通讯，波特率一般采用9600。
-
数据块
-
格式
| 名称 | 数据(b8,b7….b1)二进制 | 意义 | 字节数量 | 含义 |
| ENQ | 0000 0101 | 握手信号 | 1 BYTE | 请求发送 |
| EOT | 0000 0100 | 1 BYTE | 准备接收 | |
| ACK | 0000 0110 | 1 BYTE | 接收正确 | |
| NAK | 0001 0101 | 1 BYTE | 接收错误 | |
| Block Data | ………. | 块数据 | N BYTE | 数据 |
| T1 | 超时 | 接收数据块时每个字符之间的时间间隔 | ||
| T2 | 发送 ENQ 之后到接收 EOT 的时间间隔 |
数据块传输协议 (Block Transfer Protocol) 用于建立通信并为数据块的传输提供环境。
ENQ,EOT,ACK,NAK：握手信号，用于控制数据流，单个字节；
Block Data：块数据，用于传输第一消息 (primary message) 或第二消息 (secondary message)；
T1：表示在接收数据块时每个字符之间的时间间隔；
T2：表示发送 ENQ 之后到接收 EOT 的时间间隔；
握手编码
| 名称 | 二进制值 | 十六进制值 | 含义 |
| ENQ | 0000 0101 | 0x05 | 请求发送 |
| EOT | 0000 0100 | 0x04 | 准备接收 |
| ACK | 0000 0110 | 0x06 | 接收正常 |
| NAK | 0001 0101 | 0x15 | 接收错误 |
块数据
块数据(block data)是单块消息或多块消息中的数据部分，包括一个长度字节、N 个字节的数据和两个字节的校验和，其结构如图所示。
数据块长度(Length Byte)
计算数据(N Data Bytes)有多少个字节，不包括最后 2个字节的校验和
数据(N Data Bytes)
- 数据(Message Data)
消息的数据部分，由编码后的 SECS-II 消息构成
- 数据描述(10 Byte Header)
描述块数据中的数据内容，包括 Device ID、Message ID、Block Number 和 System Bytes.
| 字节 | 二进制 | |||||||
| 8 | 7 | 6 | 5 | 4 | 3 | 2 | 1 | |
| 1 | R | High Device ID | ||||||
| 2 | Low Device ID | |||||||
| 3 | W | High Message ID | ||||||
| 4 | Low Message ID | |||||||
| 5 | E | High Block Num | ||||||
| 6 | Low Block Num | |||||||
| 7 | System | |||||||
| 8 | System | |||||||
| 9 | System | |||||||
| 10 | System | |||||||
| 名称 | 占用 | 字节顺序 | 字节含义 | 单个字节二进制含义 | |||||||
| 8 | 7 | 6 | 5 | 4 | 3 | 2 | 1 | ||||
| Device ID | 第1字节 | 高字节 | 设备号 | 消息传输方向 | 设备号 | ||||||
| 第2字节 | 低字节 | 设备号 | |||||||||
| Message ID | 第3字节 | 高字节 | 消息号 | 消息的发送者是否需要回复 | 消息号 | ||||||
| 第4字节 | 低字节 | 消息号 | |||||||||
| Block Num | 第5字节 | 高字节 | 数据长度 | 这个是否是消息的最后一个块 | 数据长度 | ||||||
| 第6字节 | 低字节 | 数据长度 | |||||||||
| System | 第7字节 | 高字节 | 消息的发送者(source ID) |
| |||||||
| 第8字节 | 低字节 |
| |||||||||
| 第9字节 | 高字节 | 每个发送的消息(transaction ID) |
| ||||||||
| 第10字节 | 低字节 |
| |||||||||
- 数据长度(254 Byte)
每次可传输的数据节最多为254字，如果一个消息的大小<245个字节，则以一个块的形式进行传输。
如果>245个字节，则以N/245的数量，进行分段传输
效验码(Checksum)
计算数据(N Data Bytes)的校验和;
超时
- T1：在一个块中各个字符间传输的最大时间间隔。
- T2：
对于发送者：
1，发送ENQ后，等待EOT的时间
2，发送一个Message后，等待ACK or NACK
对于接收者：
发送EOT后，等待第一个块的第一个字符的时间
- T3：
发送ACK后，接收者等待回复消息的时间
HSMS通讯协议详解
-
简介
HSMS (High-Speed SECS Message Services)[8]定义了使用 TCP/IP 作为物理传输媒质时的通信接口。HSMS 可以作为 SECS-I 以及其他一些高级通信环境的替代。HSMS 又包括了两个子标准，分别是 HSMS-SS (High-Speed SECS Message Service Single Selected Mode)和 HSMS-GS (High-Speed SECS Message Service General Session)。HSMS-SS 对母标准中的操作进行了简化，以便于实际应用。HSMS-GS 定义了使用 HSMS 访问多个子实体的操作。
-
基础信息
基础信息
HSMS可以使用任何标准 TCP/IP API 进行开发，比如 BSD socket、TLI等。使用标准的 TCP/IP 寻址，默认的端口号为 5000。建立连接的过程如下图所示：
| 通讯角色 | 通讯模式 | 建立连接过程 |
| 发起者 | 主动模式 | 获得一个连接端点 |
| 向指定端口号的远程端点发起连接 | ||
| 等待远程端点接收连接并返回确认 | ||
| 响应者 | 被动模式 | 获得一个连接端点，在指定的端口进行侦听 |
| 侦听到远程端点发送的连接请求 | ||
| 接收连接请求，发送确认 |
控制信息
| 控制信息 | 含义 |
| Select.req/Select.rsp | Not Selected 状态转化为 Selected 状态所使用的消息 (Active Entity 发送Select.req) |
| Deselect.req/Deselect.rsp | 在双方协议终止通信时使用. 由想要通信终止的一端发送Deselect.req. |
| Linktest.req/Linktest.rsp | 连接状态的确认和维护确认, 如果没有应答则转换为Not Connected 状态. |
| Separate.req | 单方面通知通信终止时使用. |
| Reject.req | 收到无效消息时发送 |
状态图
| 状态信息 | 含义 |
| Not Connected | 实体开始侦听，但是未建立任何 TCP/IP 连接或者之前建立的 TCP/IP 连接已经断开； |
| Connected | 已经建立一个 TCP/IP 连接，包括 Not Selected 和 Selected两个子状态； |
| Not Selected | Connected 的子状态，表示没有创建 HSMS 会话或之前的会话已经结束； |
| Selected | Connected 的子状态，表示至少创建了一个 HSMS 会话。 |
- 被动状态切换图
- 主动状态切换图
协议解释
消息格式
-
一般消息格式
HSMS 消息以字节的方式作为单个的流进行传输，其格式如图所示：
| 字节 | 字节含义 | 二进制 | |||||||
| 8 | 7 | 6 | 5 | 4 | 3 | 2 | 1 | ||
| 1 | Message Length | Message Length | |||||||
| 2 | Message Length | ||||||||
| 3 | Message Length | ||||||||
| 4 | Message Length | ||||||||
| 1 | Message Header | 0 | High Session ID | ||||||
| 2 | Low Session ID | ||||||||
| 3 | Header Byte 2 | ||||||||
| 4 | Header Byte 3 | ||||||||
| 5 | PType | ||||||||
| 6 | SType | ||||||||
| 7 | System Bytes | ||||||||
| 8 | System Bytes | ||||||||
| 9 | System Bytes | ||||||||
| 10 | System Bytes | ||||||||
| 名称 | 占用 | 字节顺序 | 字节含义 | |
| Message Length | 第1字节 | 高字节 | 4 字节无符号整数，表示其后 Message Header 加上 Message Text 总的字节数，其最小值为十字节。 | |
| 第2字节 | 低字节 | |||
| 第3字节 | 高字节 | |||
| 第4字节 | 低字节 |
| 名称 | 占用 | 字节顺序 | 字节含义 | 单个字节二进制含义 | |||||||
| 8 | 7 | 6 | 5 | 4 | 3 | 2 | 1 | ||||
| Session ID | 第1字节 | 高字节 | 十六比特无符号整数，最高位必须为零，剩下十五比特用于唯一标识一台设备。 | 0 | 唯一设备号 | ||||||
| 第2字节 | 低字节 | 唯一设备号 | |||||||||
| Header Byte 2 | 第3字节 |
| 对于不同类型的消息取值不同 |
| |||||||
| Header Byte 3 | 第4字节 |
| 对于不同类型的消息取值不同 |
| |||||||
| Ptype | 第5字节 |
| 表示类型(Presentation Type)为八比特无符号整数 |
| |||||||
| Stype | 第6字节 |
| 会话类型(Session Type)为八比特无符号整数 |
| |||||||
| System Bytes | 第7字节 |
| 四字节无符号整数，用于唯一标识一次消息交互。 |
|
|
|
|
|
|
|
|
| 第8字节 |
|
|
|
|
|
|
|
|
| ||
| 第9字节 |
|
|
|
|
|
|
|
|
| ||
| 第10字节 |
|
|
|
|
|
|
|
|
| ||
| Ptype取值 | 描述 |
| 0 | SECS-Ⅱ编码 |
| 1-127 | 子标准保留 |
| 128-255 | 保留,未使用 |
| Stype取值 | 描述 |
| 0 | 数据消息 |
| 1 | Select.req |
| 2 | Select.rsp |
| 3 | Deselect.req |
| 4 | Deselect.rsp |
| 5 | Linktest.req |
| 6 | Linktest.rsp |
| 7 | Reject.req |
| 8 | 未使用 |
| 9 | Separate.regq |
| 10 | 未使用 |
| 11-127 | 子标准保留 |
| 128-255 | 保留,未使用 |
-
控制消息格式
| 控制消息 | Message Length | Message Header | ||||||||||||
| High Session ID | Low Session ID | Header Byte 2 | Header Byte 3 | Ptype | Stype | System Bytes | ||||||||
| Select.req | 0x00 | 0x00 | 0x00 | 0x0A | 0xFF | 0xFF | 0x00 | 0x00 | 0x00 | 0x01 |
|
|
|
|
| Select.rsp | 0x00 | 0x00 | 0x00 | 0x0A | 0xFF | 0xFF | 0x00 | 0x00 | 0x00 | 0x02 |
|
|
|
|
| Linktest.req | 0x00 | 0x00 | 0x00 | 0x0A | 0xFF | 0xFF | 0x00 | 0x00 | 0x00 | 0x05 |
|
|
|
|
| Linktest.rsp | 0x00 | 0x00 | 0x00 | 0x0A | 0xFF | 0xFF | 0x00 | 0x00 | 0x00 | 0x06 |
|
|
|
|
| Separate.req | 0x00 | 0x00 | 0x00 | 0x0A | 0xFF | 0xFF | 0x00 | 0x00 | 0x00 | 0x09 |
|
|
|
|
计时器
回复超时T3
回复超时 T3 (T3 reply timeout)表示一个实体等待回复消息的最长时间，如果T3 计时器超时则取消这次会话但不断开 TCP/IP 连接，如果这个实体是设备，则向主机发送 SECS-II S9F9 消息。
连接间隔超时T5
连接间隔时间 T5 (T5 connect separate timeout)表示两个连接请求之间的时间间隔。过于频繁的向一个未准备好连接的实体发起连接请求，会加重 TCP/IP 的负荷。因此，当一个主动模式实体发起的连接操作终止后（不论是成功结束还是被远端实体拒绝），该实体必须等待 T5 计时器超时后发起下一次连接请求。
控制会话超时 T6
控制会话超时 T6 (T6 control transaction timeout)表示一个控制会话所能开启的最长时间，超过该时间就认为这次通信失败。当发送<xx>.req 控制消失时 T6计时器开启，若在 T6 超时之前收到相应的<xx>.rsp 消息则计时器关闭，否则控制消息的发起者将关闭这次会话，并认为出现一个通信故障。
Not Select状态超时 T7
Not Select 状态超时 T7 (T7 NOT SELECT timeout)表示当建立了 TCP/IP 连接之后通信处于 Not Select 状态的最长时间，通信必须在该时间完成 select 操作，否则将会断开 TCP/IP 连接。
网络字符超时T8
网络字符超时 T8 (T8 network intercharacter timeout)表示成功接收到单个HSMS 消息的字符之间的最大时间间隔。鉴于 TCP/IP 是面向流的通信协议，因此一个 HSMS 通信消息可能被分为若干个 TCP/IP 消息进行传输，若 T8 计时器超时则认为这次传输失败。
SECS-Ⅱ 通讯协议详解
协议简介
SECS-II 标准定义了设备和主机之前发送的消息所表达的含义。所有的消息按照其行为分类，称为Stream，每个Stream又包括具体的消息，称为Function。标准还定义了消息的结构，消息由数据项和数据项序列构成。SECS-II还规定了事务协议，用于管理消息的交换、分块等。
消息分类
标准把所有的消息按照行为分为各种Stream，然后在每种Stream中再按照其功能分为Function，即每个具体的消息。Stream和Function 都按照数字进行编号，所有的第一消息的Function编号为奇数，对应第二消息的Function编号为偶数且为第一消息Function编号加一。如果第一消息不需要回复消息，则第一消息Function编号加一的第二消息保留。所有Function编号为0的消息保留。所有Stream编码及其功能描述如下表所示：
| Stream编码 | 功能名称 |
| 1 | 设备状态 |
| 2 | 设备控制与诊断Ⅰ |
| 3 | 原料状态 |
| 4 | 原料控制 |
| 5 | 意外处理 |
| 6 | 数据采集 |
| 7 | 加工程序控制 |
| 8 | 控制程序传输 |
| 9 | 系统错误 |
| 10 | 终端服务 |
| 11 | 主机文件服务 |
| 12 | 晶圆定位 |
| 13 | 数据集传输 |
| 14 | 对象服务 |
| 15 | 配方管理 |
| 16 | 加工管理 |
| 17 | 设备控制与诊断Ⅱ |
| 18 | 子系统控制与数据 |
保留的Stream编码，Function编码：
| Stream编码 | Function编码 |
| 1 | 0-255 |
| 1-63 | 0-63 |
| 64-127 | 0 |
消息结构
SECS-II 消息由两种数据结构组合而成：数据项(item)和列表(list)。采取这样的结构的目的是从逻辑上划分消息内容，使消息可以自描述内部结构。
| 消息结构 | 字节序号 |
| 字节含义 | 二进制 | |||||||
| 8 | 7 | 6 | 5 | 4 | 3 | 2 | |||||
| 数据项(item) | 1 | Format Byte | 格式字节 | 数据项格式(item format code) | 数据项长度(No.of length bytes) | ||||||
| 2 | Length Bytes | 长度字节 |
| ||||||||
| 3 |
| ||||||||||
| 4 |
| ||||||||||
| 列表(list) | 5 | data Bytes | 数据字节 |
| |||||||
| 6 |
| ||||||||||
-
数据项(item)：
-
示例
SECS 消息语言
SECS 消息语言(SECS Message Language, SML)是一种用于描述 SECS-II 消息内容的符号语言。它同 SECS-II 标准中的相关定义十分相识，但描述更加准确和通用。主要用于半导体设备手册说明所使用的 SECS-II 消息内容。
消息定义
SEMI 标准
SML格式
SML 对一个完整消息定义如下：
SnFm W
<item>
.
SML 对数据项的定义如下：
<type [count] value>
| 标识符 | 含义 |
| type | 数据类型 |
| count | 个数 |
| value | 数据的值 |
| 每个数据项都由一个尖括号封装。 | |
示例：
| 内容 | 含义 |
| S5F1 W | S5F1消息，比特位 |
| <L [3] | 方括号开始 |
| <B [1] 130 > | 1个二进制数 |
| <U4 [1] 6 > | 1个无符号整数 |
| <A [12] ALARM_YELLOW > | 12个ASCⅡ字符 |
| > | 方括号结束 |
| . | 结束 |
GEM协议
简介
GEM (Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment)定义了通过通信链路所能看到的半导体设备的行为。SECS-II 标准定义了在主机和设备之前交换的消息格式以及相关数据项。GEM标准在此基础上定了在何种情况下使用哪些SECS-II消息以及会发生哪些行为。主机电脑在任何时间都可能发起任何GEM消息场景，设备必须按照 GEM标准中的描述做出响应。
GEM标准为所有半导体制造设备定义了实现SECS-II的标准方法。标准定义了设备行为和通信功能的通用集合，这样为支持半导体设备的自动化加工程序提供了功能性和弹性。设备提供商可以提供GEM中没有的额外功能，但是不能与GEM中已定义的行为和功能相冲突。
E5、E37标准规定了主机如何同设备建立起通信，以及传输数据的格式。
在实际上，设备可能只需要采用SECS-II的某部分信息便可使工厂主控电脑达到控制设备的功能，并不需要完全使用SECS-II的所有信息。
于是E30 GEM (通用设备模型通讯与控制标准)标准被制定了出来。
状态模型
简介
状态模型从主机角度以简洁易懂的方式描述设备行为。不同设备的状态模型在有些方面相同（比如通信）但是在其他方面不同（比如加工）。因而需要把一个设备分为并行的几个部分，这些部分既可以单独的建模又可以合并起来，如下图所示：
通讯状态圈
通信状态模型定义了关于设备与主机之间
的通讯行为，描述的是主机与设备之间交换消
息的功能，GEM 中的通信状态如下图所示：
控制状态圈
控制状态模型定义了主机与设备之间的操作等级，此外还说明了操作员应该如何控制主机的不同层次。通信状态模型描述的是主机与设备之间交换消息的功能，控制状态模型则描述设备应该如何响应它所收到的消息。
控制状态模型为主机提供了三个基本层次的控制。在最高层次（REMOTE），主机可以最大程度的控制设备。在中间层次（LOCAL）主机可以访问设备的所有信息，但对设备的操作有所限制。在最低层次（OFF-LINE）设备不允许主机控制且只能提供很有限的信息。控制状态图如下图所示：
设备加工状态图
设备加工状态模型主要取决于设备加工、所采用的技术和类型。然而仍然可以用一个模型表示其中共同的部分。下图表示了一个实现模型，该模型示范了设备加工模型所需要的特性。
设备功能
简介
设备功能即半导体制造设备提供的操作，这些操作通过使用 SECS-II 消息由通信接口发起。通信场景即为了实现某个功能按顺序排列的一组 SECS-II 消息。
建立通讯
建立通信功能提供了一系列在系统初始化或通信节点丢失了通讯之后正式建立通信的方法，以及通知远程通信节点通信发生了中断。通信在主机和设备分别发送 S1F13 和 S1F14 消息之后正式建立，通信场景如下图所示：
数据收集
数据收集功能使主机可以通过事件报告、跟踪数据报告、阀值检测和查询选定状态等来监测设备的活动，并通过收集到的数据完成优化控制。
事件数据收集
事件数据收集为用户提供了一种灵活的方法来实现设备相关的数据表示以及如何向主机报告。基于事件的数据收集方法可以自动向主机提供设备的活动信息，并且可以检测设备状态以及同设备保持同步。其通信场景如下图：
变量数据收集
这个功能使主机可以查询设备的数据变量，以便于初始化和同步。通信场景如下图所示：
跟踪数据收集
跟踪数据收集提供了一种定期对数据采样的方法。这种基于时间的数据收集方法便于跟踪数据趋势、在某个时间间隔内重复应用和检测某个连续变量。通信场景如下图所示：
阀值监测
阀值监测功能为主机提供了一种异步监测设备状态的方法，使主机不用持续的向设备查询状态值。通信场景如下图：
状态数据收集
状态数据收集功能使主机可以向设备查询选中的状态信息，便于同设备状态保持同步。通信场景如下图：
在线确认
在线确认用于设备响应主机发送的 S1F1 消息。通信场景如下图：
报警管理
报警管理功能使主机可以管理设备上发生的警报状态并获得相应通知。主机可以打开或关闭某个报警，要求设备上传警报信息等。通信场景如下图：
远程控制
远程控制功能使主机按不同层次对设备进行操作。设备向主机提供的操作包括：开始加工、选择某个加工程序或配方、停止加工、暂时挂起加工程序、恢复加工和取消加工。通信场景如下图所示：
设备常量
设备常量功能使主机可以读取并改变选中的设备常量。通信场景如下图：
加工程序管理
加工程序管理功能使主机能够通过同设备的接口来管理加工程序和配方。加工程序使工程师按不同目的配置设备的加工和加工所需要的相关参数。不同的产品可能需要不同的加工程序，因此工程师必须能够在设备的存储器中创建、修改和删除这些程序。为了使主机能够确保相应的程序存储在设备中正确的位置，该功能提供了从设备到主机和从主机到设备的传送程序的方法。主机还可以删除设备存储器中的某些程序，以便为下载新程序腾出空间。此外，主机还应该知道设备上的加工程序在内容和状态上发生了哪些改变。配方的管理同程序的管理类似，稍有不同的是配方在传输过程中参数连同配方一起传输。通信场景如下图：
原料运输
原料运输功能包括原料在设备、缓冲区和存储工具之间的物理传输。该功能可以通知主机原料是否已从设备的某个端口接收或传输。通信场景如下图：
设备终端服务
设备终端服务功能使主机能够在设备的显示装置上显示信息，并且使设备的操作员能够向主机发送消息。通信场景如下图：
错误消息
错误消息功能用于向主机提供设备检测到的消息或通信错误的相关信息。通信场景如下图：
时钟
时钟功能使主机能够管理设备上与时间相关的行为和事件。时钟的主要目的是为收集事件和警报报告提供时间戳。时间戳的使用利于分清事件或警报的发生顺序，并使主机能够调度设备行为。该功能使主机能把设备的内部时钟设定为某个特定值，同时设备也可以向主机询问当前日期和时间。通信场景如下图：
数据缓存
数据缓存功能使设备可以在发生通信错误时存储消息并随后在通信修复之后继续向主机发送这些消息。数据缓存的目的在于当发生通信错误时保存消息以免信息丢失。数据缓存状态图如下图所示：
控制
控制功能用于配置并操作控制状态图，使用户或主机可以修改设备的控制相关行为。通信场景如下图：
SEMI E4-0699：SEMI设备通信标准1消息传送(SECS-I)
SEMI E5-0304：SEMI设备通信标准2消息内容(SECS-II)
SEMI E30-1103：通信的一般模式和SEMI设备的控制（GEM）
SEMI E39-0703：目标服务标准：概念、性能和服务
SEMI E40-0304：加工过程管理标准
SEMI E87-0304：运载管理暂行规范
SEMI E90-0304：衬底跟踪规范
SEMI E116-0703：设备运行跟踪暂行规范
SEMI E94-0702：控制工作管理暂行规范
SEMI E95-1101：设备人机界面规范
GEM200（8寸）、GEM300（12寸）协议区别
3897
被折叠的 条评论
为什么被折叠?
到【灌水乐园】发言
