短波红外相机应用

1,短波红外应用-果蔬筛选

由于水具有吸收波长约1450nm的光线的性质,因此,利用这一波段,使用SWIR图像传感器进行拍摄,含水的部分就会呈现黑色。这样,就能够检测出物质中含有的水分,可有效用于果蔬拣选等用途。

检测出瘪痕和损伤、对果蔬进行拣选的示例

在SWIR环境下进行拍摄时,可以检测到苹果瘪痕中的水分。

2,短波红外应用-硅晶片穿透

半导体制造时的位置校准

近年来,伴随着半导体设备的小型细微化,即使在硅晶片的键合工艺中,也要求具备非常高的精度。为了提高精度,精确对准晶片的位置校准标记就尤为重要。

SWIR波段的光线具有能够穿透晶片Si层的性质。使用SWIR图像传感器的话,就可以清晰地确认该校准标记。另外,采用索尼的高精细SWIR图像传感器,还有望大幅提高边缘部位的检测精度。

对硅晶片进行穿透摄影的示例

右侧的照片,是在SWIR环境下拍摄的图像,可以看到位于硅晶片下方的分辨率测试卡。这是用IMX990在约134万像素的高分辨率下拍摄的图像,可以看到小尺寸的标记也能被高精度地检测出来。
此外,使用分辨率约为532万像素的IMX992,可以进行更精细的检查和测量。

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