NAND Flash是一种非易失性存储设备,具有容量大、体积小、功耗低等优点,自 1989 年东芝公司首次提出以后,被广泛地应用于各种存储卡、电子设备、固态硬盘(SSD)之中。在便携式设备存储容量不断增加的推动下,NAND Flash 的市场需求也越来越强劲。
NAND Flash单元
NAND Flash单元采用浮栅晶体管,其基本示意图如图所示,与普通的CMOS晶体管不同,浮栅晶体管包含两个栅极,分别是控制栅和浮栅。控制栅与外部连接;浮栅作为电荷存储层由氧化层包围,相当于势阱,捕获的电子不会轻易逃出。初始状态下,浮栅中不存在电子,控制栅电压作用在衬底上,浮栅晶体管的阈值电压较低。当浮栅中捕获电子时,作用在衬底上的控制栅电压降低,阈值电压升高。浮栅中存储的电荷越多,阈值电压越高。目前,控制浮栅中电子数量的两种方式分别是:沟道热电子注入(Channel Hot Electron Injection,CHEI)机制和量子遂穿(Fowler-Nordheim Tunneling)。
沟道热电子注入机制:源漏之间存在的强电场使源端电子(多子)向漏极加速运动,并在靠近漏结的地方高速撞击耗尽区离子,产生热电子,高能量的热电子可越过与浮栅层之间的薄氧化层势垒。控制栅高压越高,向浮栅方向运动的热电子越多,浮栅捕获的电子越多。缺点是在某些位置产生过多的缺陷和退化,NOR Flash编程操作采用该机制。
量子遂穿(FN 遂穿)原理:控制栅接高电压,源漏端接地,强电场作用使耗尽区的电子(少子)以一定的几率穿过薄氧化层势垒,被浮栅层捕获。相反,也可通过将源端置为高电压,漏端开路,控制栅接地的方式,利用源端与浮栅之间强电场作用使电子遂穿到源端。NAND Flash 编程和擦除操作应用该机制。与沟道热电子注入机制相比,量子遂穿的效率相对较低,所需的时间较长,但电流较小,稳定性好。
Nor Flash和Nand Flash对比
根据存储单元的连接方式,Flash分为两种类型,一是美国的英特尔(Intel)公司提出NOR Flash,另一个是日本东芝(Toshiba)公司提出的NAND Flash。NOR Flash相同位线(Bit Line)上的所有存储单元并联在一起,每个存储单元具有独立的源端和漏端选择线,如图所示。其优势是存储单元的驱动电流比较大,因此读取数据的速度相当快(一般在一百纳秒以下),可靠性好,且能够随机读取存储单元。但是NOR Flash要求每个存储单元的漏端都要与位线相连,因此在相邻的存储单元之间需制作一个接触孔,接触孔自身以及其他工艺步骤将会占用很大的物理空间,使每个存储单元的面积较大,限制了其存储密度的增加。
1988年,Masuoka等研究人员提出了 NAND Flash,同NOR Flash相比,NAND Flash阵列