25、角环形金属化MEMS超声换能器坍塌电压的分析建模与有限元模拟

角环形金属化MEMS超声换能器坍塌电压的分析建模与有限元模拟

1. 引言

电容式微机械超声换能器（CMUT）属于微机电系统（MEMS）设备，能够将一种形式的能量转换为另一种形式。基于硅材料的微加工工艺的小型化能力，使得CMUT在超声频率下能够正常工作。

CMUT设备通常由一个薄的氮化硅膜组成，该膜通过二氧化硅绝缘支撑物悬浮在导电硅衬底上方。膜与衬底之间的间隙在浸入式应用中会进行真空密封，或者在以空气为耦合介质时不进行密封，间隙最小可达500 Å。

从本质上来说，CMUT是一个平行板电容器，两板之间存在间隙。用于制造膜的导电硅片构成了电容器的一个极板，而膜通常由绝缘材料（最常见的是氮化硅）制成，并涂覆有金属电极。此外，上电极区域也可以选择涂覆一层绝缘体，如低温二氧化硅（LTO），以实现与相邻介质的电隔离。

CMUT可作为声学发射器和接收器使用。在发射过程中，通过施加交变电位，利用静电吸引力使膜产生振动。由于静电力是单极性的（持续吸引），膜的振动频率是施加频率的两倍。当施加的交流电压频率等于膜的固有频率时，膜会以更大的振幅振动。

膜的残余应力会影响换能器的性能，如共振频率、坍塌电压和间隙距离。因此，准确估计和控制CMUT薄膜中的应力非常重要。

2. 机电模型

2.1 集总机电模型

我们假设电容器的极板是完全平整的理想金属触点，膜的恢复力是位移的线性函数，并且CMUT在真空环境下工作。通过集总机电模型来描述一个CMUT组件，该模型由弹簧、质量和一个平行板电容器组成：
- 弹簧 ：代表膜的恢复力，假设其是膜位移的线性特征，恢复力源于膜