在已知气体流量和浓度的前提下简单计算气体泄露率的方式

本文中仅采用六氟化硫（SF6）作为参考气体。

1. 理解单位和公式

• 流量（Flow Rate）: 单位为 ml/min
• 浓度（Concentration）: 单位为 ppm （parts per million）
• 泄漏率（Leak Rate）: 单位为 ml/min 或 g/min

2. 计算步骤

步骤1：将ppm转化为体积浓度

首先，ppm表示百万分之一。1 ppm的SF6表示每立方米空气中有1立方厘米的SF6。

因此，SF6的体积浓度（Volume Concentration, VC）可以表示为：

步骤2：计算泄漏的SF6体积流量

如果已知流量是F（单位：ml/min），那么泄漏的SF6体积流量（Leakage Volume Rate, LVR）可以表示为：

示例

假设流量为500 ml/min，浓度为300 ppm，计算SF6的泄漏率：

1. 计算体积浓度（VC）：
    

2. 计算泄漏的SF6体积流量（LVR）：
   

注意事项

如果需要将体积流量转换为质量流量，需要知道SF6的密度。六氟化硫的密度约为6.17 g/L（在标准温度和压力下）。

因此，如果需要以质量单位表示泄漏率： 

对于上面的例子：