matlab实现粗糙表面_超短脉冲激光实现更快、更光滑的表面微加工

文/Andreas Brenner，Andreas Thoss

到目前为止，超短脉冲(USP)激光器在微结构加工方面能够实现最高精度，但价格昂贵、加工速度慢也是USP激光器面临的问题。新一代高功率USP激光器的出现，将有望改变这种情况。平均功率100W或更高的新一代USP激光器，能够在实现高精度加工的同时兼顾更大的生产量。这对工装和模具行业来说是个好消息，因为钢制工具必须以非常高的精度进行加工。

不过，要想正确设置USP激光器，还需要对加工工艺和激光参数有一定的了解。有了正确的参数设置，就可以将更多的USP功率转化为更高的效率，直到实现加工效率超过纳秒激光器。为了进一步了解USP激光工艺的最佳设置，德国弗朗恩霍夫激光技术研究所(Fraunhofer ILT)的专家们，将纳秒激光器和皮秒激光器的微结构加工效果进行了比较。他们发现，如果选择正确的工艺参数，USP激光器的加工速度快4倍、加工后的表面粗糙度小4倍，并且效率相当。

此外，专家们开发了优化的参数，以使用USP激光器进行不同的加工，如清洗和抛光。这就形成了一个专用的光子加工链，使得同一激光系统可以用于后续一系列任务，如烧蚀、清洗和抛光。这样，USP激光器就走出了原有的狭窄市场定位，成为现代工业中完成各种任务的一个非常方便的工具，最终走向生产加工车间。

皮秒脉冲和纳秒脉冲的比较

很明显，更高的平均功率意味着更高的烧蚀速率。对于USP激光器而言，这句话只是部分正确。最佳脉冲通量(每个光斑面积上的脉冲能量)约为阈值通量的7倍。每个脉冲的能量更高，并不意味着每秒的烧蚀速率就更高，因为它们可能会产生带有锥形突起的粗糙表面。解决这个问题的一个可行的方案是应用多光束光学元件，将一个脉冲的能量引导到类似的多个光束中。[1]

另一种利用更高平均功率的方法是，使用中等脉冲能量配以更高的重复频率——这为扫描技术带来了挑战，而这一技术尚未被掌握。对于许多应用而言，一个更简单的解决方案是使用传统扫描振镜产生的脉冲串。一个脉冲串是由几个相等的激光脉冲组成的序列，间隔几纳秒。脉冲串的功率就是单个脉冲的功率之和。脉冲串的重复频率通常约为100kHz。关于USP脉冲串的更多信息，可以参考其他文献。[2,3]

USP激光器的主要优势在于