hx711压力传感器工作原理_柔性压力传感器的开发——设计原理

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1 引言

近年来，许多的专家学者对基于外延层和柔性压力衬底的传感器和 MEMS 压力传感器的应用进行了研究。以柔性压力材料为衬底的传感器具有良好的电绝缘性及力学性能， 使得柔性压力基底材料的传感器和 MEMS 柔性压力传感器被广泛应用。基于柔性外延层和压力衬底传感器目前作为一种新型的压力传感器已经发展成为各种电子设备的皮肤、可穿戴传感器等电子设备、柔性人机交互设备等各种领域的核心元件。现如今，随着信息化时代的不断发展，基于柔性基底的各种压力传感器正逐渐应用在娱乐、汽车、医疗、消费电子和工业等领域。本文主要就以聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)为基底、锆钛酸铅(PZT)纤维为压电材料的压力传感器进行两种不同结构(平行与圆形)的结构设计和工艺流程的完善，进而提高以柔性材料为基底的压力传感器的工作灵敏度和系统的稳定性。

2.柔性压力传感器的结构设计及原理分析

2.1 柔性压力传感器的结构设计

柔性压力传感器的结构和组成部分如图1所示。根据柔性压力传感器的性能需求，本文使用 PZT-5H 作为制作纳米纤维的材料。