光学表面面形的计算机仿真
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第24卷 第)2【期 计 算 机 仿 真 2007年O2月
文章编号:1006—9348(2007)02—0298—04
光学表面面形的计算机仿真
王栋。’,杨洪波 ,陈长征
(1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 。吉林长春 130033;
2.中国科学院研究生院,北京 100039)
摘要:光学表面的变形包含刚体位移和表面畸变。它们将对光学系统的成像质量产生不同的影响。通过数值方法可以求得刚
体位移,但还没有专门的可视化软件对镜面面形情况进行仿真分析。提出了镜面面形的可视化仿真方法,它利用Zernike多
项式与Seidel象差之问的对应关系,对有限元数据进行后处理,并采用PV值和RMS等数值解、表面畸变云图及理论干涉图
等形式对镜面面形进行模拟。利用VC++和OpenGL混合编程实现了光学表面面型的计算机仿真系统。仿真试验和实际应
用表明了方法的可行性及其在光机集成有限元分析中的重要作用。
关键词:光机系统;泽尼克多项式;变形云图;理论干涉图;波像差
中图分类号:TP39l、7 文献标识码:A
ComputerSimulationoftheOpticalSurface
WANG Dong ,YANG Hong—bo,CHEN Chang—zheng,
(1.ChangchunInstituteofOptics,FineMechanicsandPhysics,
ChineseAcademyofSciences,ChangchunJilin130033,China;
2.GraduateSchooloftheChineseAcademyofSciences,Beijing100039,China)
ABSTRACT:Thedistortionofopticalsurfaceincludesrigid—bodymotionandaberration,whichhavedifferent
effectsontheopticalsystem.Althoughtherigid—bodymotioncanbecomputedbysomenumericalapproaches,
there’gstillnoprofessionalsoftwarewhichcansimulatethedistortionofthemirrorsurface.Anewvisualmethod
basedontheFEAresultsisstudied.UsingtherelationshipbetweentheZernikepolynomialsandtheclassical
Seidelaberrations.theFEA resultsaretransferredtothemorereasonablesimulatedforms,includingnumerieal
values.aberrationnephogramandsimulatedinterferencepattern.ThecodehasbeendevelopedbyusingVC++
andOpenGL.Itisindicatedthatthemethodcandividethedistortionefficaciouslyinanintuitionisticway,and
takesanimportantroleintheoptomechanicalsystem design.
KEYWORDS:Optomechanical system;Zernike polynomials;Aber