光学表面面形的计算机仿真,光学表面面形的计算机仿真.pdf

光学表面面形的计算机仿真

维普资讯

第24卷 第)2【期 计 算 机 仿 真 2007年O2月

文章编号：1006—9348(2007)02—0298—04

光学表面面形的计算机仿真

王栋。’，杨洪波 ，陈长征

(1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 。吉林长春 130033；

2．中国科学院研究生院，北京 100039)

摘要：光学表面的变形包含刚体位移和表面畸变。它们将对光学系统的成像质量产生不同的影响。通过数值方法可以求得刚

体位移，但还没有专门的可视化软件对镜面面形情况进行仿真分析。提出了镜面面形的可视化仿真方法，它利用Zernike多

项式与Seidel象差之问的对应关系，对有限元数据进行后处理，并采用PV值和RMS等数值解、表面畸变云图及理论干涉图

等形式对镜面面形进行模拟。利用VC++和OpenGL混合编程实现了光学表面面型的计算机仿真系统。仿真试验和实际应

用表明了方法的可行性及其在光机集成有限元分析中的重要作用。

关键词：光机系统；泽尼克多项式；变形云图；理论干涉图；波像差

中图分类号：TP39l、7 文献标识码：A

ComputerSimulationoftheOpticalSurface

WANG Dong ，YANG Hong—bo，CHEN Chang—zheng，

(1．ChangchunInstituteofOptics，FineMechanicsandPhysics，

ChineseAcademyofSciences，ChangchunJilin130033，China；

2．GraduateSchooloftheChineseAcademyofSciences，Beijing100039，China)

ABSTRACT：Thedistortionofopticalsurfaceincludesrigid—bodymotionandaberration，whichhavedifferent

effectsontheopticalsystem．Althoughtherigid—bodymotioncanbecomputedbysomenumericalapproaches，

there’gstillnoprofessionalsoftwarewhichcansimulatethedistortionofthemirrorsurface．Anewvisualmethod

basedontheFEAresultsisstudied．UsingtherelationshipbetweentheZernikepolynomialsandtheclassical

Seidelaberrations．theFEA resultsaretransferredtothemorereasonablesimulatedforms，includingnumerieal

values．aberrationnephogramandsimulatedinterferencepattern．ThecodehasbeendevelopedbyusingVC++

andOpenGL．Itisindicatedthatthemethodcandividethedistortionefficaciouslyinanintuitionisticway，and

takesanimportantroleintheoptomechanicalsystem design．

KEYWORDS：Optomechanical system；Zernike polynomials；Aber