实现线段切割法_激光切割 —— 实现卓越的玻璃切割质量

文/Roland Mayerhofer;Coherent | Rofin
George Oulundsen，Rainer Paetzel；相干公司

玻璃切割

在过去十年间，作为越来越精密的结构和功能组件，玻璃在平板显示器、汽车和建筑等领域广泛应用。这推动着玻璃制造商改善玻璃自身的特性、研发更先进的玻璃涂料，以及改进玻璃切割工艺，具体而言包括提高切割精度、加快切割速度、减少对环境的影响，以及降低切割成本。本文介绍了玻璃激光切割技术，并探究在某些应用环境中，激光切割相较于传统机械加工法的优势。

传统方法

人们通过各种形式的传统技术切割玻璃已有几个世纪之久，通常是先用锋利且坚硬的工具(如金刚石或碳 化物砂轮)刻划玻璃表面，然后施加机械掰断力，让玻璃沿划痕完全分离。自动式系统中，玻璃分离往往由压到玻璃上的“闸刀杆”实现。

遗憾的是，这种方法有许多缺陷，尤其在如今平板显示器(FPD)中越来越多地采用超薄基板的环境中，这些缺陷更加明显。主要缺陷包括：刻划工具施加的机械力会让材料产生细微裂纹、后续掰断步骤会造成小缺口和碎屑，而且切割边缘也不一定与玻璃表面垂直。另外，机械切割会在成品边缘留下相当大的机械应力。实际上，当基板厚度小于1mm 时，由于玻璃特别容易断裂，这时候已经很难使用机械切割法了。为了防止玻璃在经受首道切割工序之后出现破裂或断裂，可能必须对切割表面进行打磨或抛光。另外，加工后可能还必须安排清洁环节来清除可能对后续流程(例如电路形成)造成干扰的碎屑(当玻璃用作微电子制造中的基板时)。 

图 1：机械切割玻璃(左图)与激光切割玻璃(右图)比较。很显然，机械切割玻璃存在相当大的残余应力，并且切割过程留下了大量碎屑。

对制造商而言，在加工后安排各种边缘打磨和清洁环节，无疑会额外增加制造工时和成本。这些环节也可能会对环境造成负面影响，包括产生不易处理的碎屑，或为了进行清洁需要耗用大量水资源。另外，如今对曲线边缘(尤其是用于便携式设备的 FPD)的需求量越来越大，而玻璃机械切割法对切割曲线边缘的支持度并不高。

鉴于当今的玻璃使用趋势&