origin做主成分分析图_表面分析技术（二）：X射线光电子能谱仪

1)XPS的分析信号：光电子。与俄歇能谱一样，它仅能反映样品的表面成分信息，信息深度与俄歇能谱相同。光电子能量具有特征值。

光电子谱线：峰位→元素的种类；高度→元素的含量；峰位位移→元素的化学状态。

作用：表面元素的定性分析、定量分析和化学状态分析。

2)X射线源要求：单色，且线宽愈窄愈好。重元素的Ka线能量高，但峰过宽，通常采用轻元素Mg或Al作为靶材Mg 的Ka能量为1253.6eV，线宽为0.7eV；Al的Ka能量为1486.6eV，线宽为0.85eV。装有单色器，提高信噪比和分辨率，但降低了特征X射线的强度，影响仪器的检测灵敏度。调节能量分析器的电压U的大小，就在出口狭缝处依次接收到不同动能的光电子，获得光电子的能量分布，即XPS。

3)XPS图谱中的横轴坐标用的不是光电子的动能，而是其结合能。

4)由于定量分析法中，影响测量过程和测量结果的因素较多，如仪器类型、表面状态等均会影响测量结果，故定量分析只能是半定量。

5)光电子能谱中的相对灵敏度因子有两种，一是以峰高表征谱线强度，另一种是以面积表征谱线强度，显然面积法精确度要高于峰高法，但表征难度增大。而在俄歇电子能谱中仅用峰高表征其强度。

6)相对灵敏度因子的基准元素是F1s，而俄歇能谱中是Ag元素。

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