超声换能器的原理及设计_纵扭超声换能器设计及其性能测试

随着各种硬脆性复合材料和陶瓷等难加工材料在航空航天等领域越来越广泛的应用，超声振动加工技术也得到了更多的关注。纵扭超声振动加工相较于传统纵振超声加工在碳纤维复合材料等硬脆性材料的钻孔、铣削方面更具有优势，因此越来越多的学者展开了各项研究。

纵扭超声换能器是纵扭超声振动系统的核心部件，因此也是学者们研究的重点。日本学者TAKUYA等在变幅杆前端开设斜槽设计了一种纵扭超声加工装置，同时在变幅杆前端制孔用于安装刀具，并分析了斜槽在超声变幅杆上的分布对振动模态的影响，通过试验验证了该种结构的超声变幅杆相对于纵振变幅杆更适合于脆性材料的钻孔加工。

KARAFI 等设计了一种纵扭磁致伸缩超声换能器，通过将径向磁场和周向磁场复合而成的螺旋磁场施加到磁致伸缩变幅杆上，由于焦耳威德曼效应的存在，在变幅杆末端能同时产生径向振动和扭转振动，但纵扭效果均不理想， 其中最大扭转位移1.5 mrad/m，最大纵向振幅为0.6μm。林书玉利用切向极化压电陶瓷和轴向极化压电陶瓷组合来产生纵扭复合振动，并设计纵扭同频压电超声换能器，利用机电等效法建立了纵向振动和扭转振动的等效电路模型，最后通过试验验证了这种方法的有效性。但由于切向极化压电陶瓷的制备工艺不成熟，仍然存在许多问题，故没有得到实际应用。为了放大纵扭超声换能器的振幅，基于纵扭同频，林书玉设计了一种指数型变幅杆。利用机电等效法建立等效电路并推导出实现纵扭同频的条件，试验验证了设计的变幅杆能够实现纵扭同频。林书玉还对斜槽式纵扭复合压电超声换能器进行理论研究和试验验证，提出力传递到斜槽时将产生一个切向力引起扭振，推导了纵振和扭振的机械转换系数，研究了斜槽倾斜角度对换能器谐振频率的影响。研究表明，倾斜角越大，换能器的谐振频率越低。皮钧设计了斜槽式纵扭超声振动装置，研究了开设斜槽的空心薄壁