超声图像png有hu值_微泡谐振器和数字光频梳结合用于高精度空气耦合超声探测...

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专家视点

mPa/(Hz ^1 /2 )。此外，它还可以观察到多个微泡谐振器的多个共振峰，从而直接监测超声源的精确空间位置。这种方法有可能应用于三维空气耦合光声和超声成像。此外，该方案的距离依赖性也允许通过监测相位变化与压电换能器和两个微泡谐振器之间的距离来定位声源。采用微泡谐振器阵列可以形成三维空间结构成像模型，为高精度空气耦合超声层析成像开辟了一条新的途径。 该成果发表在 Photonics Research 上。

Jing-shun Pan, Bin Zhang, Zheng-yong Liu, Jia-xin Zhao, Yuan-hua Feng, Lei Wan, and Zhao-hui Li, Microbubble resonators combined with a digital optical frequency comb for high-precision air-coupled ultrasound detectors, Photonics Research, 8(3)：303-310 (2020).

高精度超声检测在国防、生物医学和航空航天等工业工程应用领域的非侵入性检查、光声断层扫描、超声成像、接口检测等方面得到了广泛的研究和应用。在极端环境(如敏感伤口或危险标本的成像、粘结检查、功能性眼科成像)或不利环境(如杂散电磁场、受限制的空间、强迫干燥环境)中，使用无接触超声检测是可取的。基于压电材料的先进超声探测器通常需要在样品和探测器之间设置超声阻抗匹配层(如水、凝胶或固体)，这是由于在样品/空气和探测器/空气界面处存在较大的声耦合损耗以及空气对超声波的高吸收率。与传统的压电式换能器相比，光声传感器对几何相关的电噪声和电磁干扰具有较强的抗干扰能力，因此，在生物医学和工业超声波探测技术中具有广阔的应用前景。通常，光声传感器最令人兴奋的基本概念是，光介质可以将超声波转换为光共振的强度、相位或频率的变化，这可以很容易地被光电探测器检测到。然而，到目前为止，在观察无接触入射声波的真实表现并最终保持图像保真度方面仍然存在挑战。例如，由于声耦合损失和吸声作用，空气耦合压力波的强度明显降低，难以实现高灵敏度。通常，利用模拟信号进行强度检测的方案会受到光电转换效率低的根本限制。相位观测的另一个问题是相位应该被编码到强度信号中，这限制了对周围噪音的敏感度。因此 ，决定光声传感器的灵敏度的有两个因素: 声压对光的转换效率取决于光学探测器对超声波的灵敏度；要想获得准确和快速光学光谱测量，需要在分辨率和速度之间进行权衡。

由于高质量的Q因子和较小的模体积，回音壁模式微谐振器已经成为一种高灵敏度的光学传感应用平台，这可以显著增强光-物质的相互作用。因此，超声压力引起的机械振动能转化为谐振器的光学性质的变化，特别是空腔共振的变化，包括线宽展宽(由于腔寿命的缩短)，共振分裂(由其两种计数器传播模式)之间的串扰和共振频率偏移(由光学路径的修改引发)。因此，高质量的回音壁模式微谐振器可以增强对超声的光学响应，从而实现高灵敏度的检测。剩下的问题是进行高分辨率和快速的光谱分析来捕捉高Q腔共振的超精细光谱变化。

目前，通过高速光电探测器监测固定波长的输出光频率或相位变化，可以快速、单独地测量回音壁模式的变化。通常，所有这些光学变化都在几兆赫和微秒的范围内。因此，需要对泵浦的光或温度进行主动稳定，这是一个具有挑战性的工作，需要一个定制的泵浦功率依赖时间。此外，光电探测器相关的检测方案在获取全光谱方面存在基本的局限性，难以区分功率变化和模分裂、线宽展宽或频移等光学特性的真正原因。基于这些方法，通过检测回音壁谐振器阵列的三维成像，如超声成像和光声层析成像，也需要一个光电探测器阵列，使得整个系统复杂、繁琐、昂贵。然而，最好用几个微谐振器快速获得包含多个共振的完整光谱。传统上，激光频率调谐方法用于映射腔的全谱。然而，由于激光调谐的时间必须比光子的寿命长得多才能达到谐振腔的稳定状态，因此，它本质上是缓慢的。相比之下，光频梳可以通过直接光谱法提供微谐振器的宽带光模式谱。与激光调谐方法相比，光频梳光谱具有噪声鲁棒性强、快速性强、灵敏度高等特点，适合于超声检测。在之前的工作中，实现了一种以数字方式生成超细光频梳的技术并将其用作光谱的频率尺，获得了0.01 pm的光谱分辨率和1 μs的响应时间。如果将此技术与高Q值的微谐振器相结合作为超声探测器，将有望获得高灵敏度的超声信号。

01 微泡的制造

微泡谐振器是在内径为60 μm、外径为90 μm的中空二氧化硅毛细管的基础上制作的，通过光纤拉伸塔仔细地进行拉伸。首先，用电弧放电密封毛细管的一端。毛细管的另一端连接到一个气泵上。在毛细管内气压的作用下，外壁在电弧放电加热位置膨胀形成微泡。通过改变毛细管的加热区，可以制备多个微泡，便于批量生产。通过精心调节气压和电弧放电，可以精确控制微泡的外径。图1(a)显示了一个制备微泡的图像。用聚焦离子束仔细地切开一个微泡，观察它的横截面。扫描电子显微镜图像，如图1(b)所示，显示其直径为209 μm，壁厚约为6 μm。

图1 结合数字光频率梳技术的微泡谐振器实验装置原理图。(a)直径209 μm的微泡谐振器显微图像。(b) 微泡谐振器横截面的电子显微镜图像。(c)使用两个微泡谐振器的超声检测原理图。

02 实验装置

作为实验实现，微泡谐振器与数字光频率梳集成的超声检测方案，如图1所示。采用压电式换能器作为超声发生器产生超声波来刺激微泡谐振器的共振。系统采用可调谐激光器[中心波长1550 nm，线宽10 kHz (Keysight 81606A)]作为输入信号，由一个50:50的耦合器分割成两个分支。对于数字光频率梳光谱测量，信号的一部分直接连接到相干接收机作为本振信号。另一个通过电光调制器，由任意波形发生器(采样率高达60 Gs/s)产生的电频率梳信号驱动电光调制器产生数字光频率梳信号。当使用任意波形发生器产生频率梳时，梳间距和带宽都是可调的。然后，数字光频率梳信号通过偏振控制器来调节偏振状态，通过锥形光纤耦合到微泡中。最后，信号进入相干接收器(带宽为40 GHz)并与本地振荡器相结合进行相干检测。相干接收器的输出由实时示波器(采样率高达80 Gs/s)采样，将数据输入计算机，使用基于快速傅里叶变换的信道估计算法计算光谱(包括强度和相位)。对于激光调频法，当任意波形发生器关闭时，具有电光的支路中的信号会对微泡谐振器进行扫描，以找到所选择的相同模式。在此过程中，光的功率和偏振将与数字光频率梳方法相同。两种方法的耦合条件均保持一致(在两种方法中，光纤锥度和微泡谐振器是紧密结合的，不会移动)。实验中，选择具有超窄线宽的模式[图2(c)]，并与其他模式高度分离，以监测其共振频率的变化作为对声刺激的响应。该模式与其他高阶模式没有串扰。在两个不同的频率下跟踪声源，即，40 kHz和165 kHz。

图2 基于(a) 可调谐激光器调频和(b) 数字光频率梳方法的实验原理图。(c)透射光谱采用TL扫描。(d) 可调谐激光器扫描透射光谱中的谐振倾角，Q因子估计为3.02×10^7。(e) 在传输频谱中使用数字光频率梳的共振浸渍。

03 光学超声传感工作原理

基本上，高Q的微泡谐振器的工作原理是作为超声波接收器并且可以受到超声波引起的机械压力的机械影响。它可以将超声波转化为光强和光相位的变化，这可以通过高分辨率和快速响应的数字光频率梳光谱测量来实现。因此，结合微泡谐振器和数字光频率梳的方法能够获得包含强度和相位域的全频谱，其高信噪比超过20 dB[如图4(c)所示]。这是一种噪声鲁棒和敏感的方法，实现了可靠和高精度的声波检测。在关闭超声源时，谐振频率与以下参数有关：f、c、m以及n。其中f为微腔的谐振频率；c是光在真空(或二氧化硅)中的速度；m为表示为1,2,3…的谐振子的模态数；n为回音壁模式在微腔中的有效折射率；l为微腔的周长。在开启超声波源时，超声波的共振信号会引入周期性的机械振动并通过空气与微腔表面相互作用。超声的刺激会使微泡谐振器的半径发生周期性的变形，从而导致微泡谐振器的光谱变化。所选模的谐振频率的相应位移是由光弹性效应和几何变形引起的。此外，由于与谐振腔周围气体分子的碰撞而引入了机械噪声，如气体的粘度和光学测量噪声，这解释了传感器的光学和机械响应是声驱动频率和腔变形的函数。对于微泡谐振器结构的情况，可以推导出使用更大半径和更高Q因子的薄壁微泡谐振器可以显著提高压力灵敏度。因此，将超薄壁高Q的微泡谐振器与高分辨率、高速度、全光谱采集的数字光频率梳相结合，有望提高超声检测的灵敏度。

04 高分辨率、高速、全谱捕获特性

为了表征光谱分辨率，用可调谐激光器调频法和数字光频率梳法对同一微泡谐振器的透射光谱进行了测试并进行了比较。为了测量在MHz水平上的共振，数字光频率梳被设置为带宽为5 GHz，梳间距为20 kHz。可调谐激光器调频法和数字光频率梳法的原理分别如图2(a)和2(b)所示。通过可调谐激光器调频法，测量所选微泡谐振器谐振的线宽为6.41 MHz，对应的Q因子为3.02×10^7具体可见图2(d)。当切换到数字光频率梳方法时，梳的每一个镜头(即DSP调制激光的一个时间周期)将在短至几十个微秒的时间内对共振执行瞬时宽带光谱学。因此，由数字光频率梳一镜头一镜头地捕捉共振，所有的快照都可以按周期记录。图2(e)显示了所选共振的一个镜头以及100个快照的重叠，这将使数字光频率梳方法在测量时间上与激光调谐方法相当。这100个快照的测量线宽总是恒定的，例如，图2(e)所示的1.98 MHz而它的频率在几个MHz范围内漂移[图2(e)中的重叠镜头]。因此，可以使用数字光频率梳方法在一个时间水平上观察腔共振的全谱，其分辨率比得上可调谐激光器调谐方法。通过数字光频率梳方法得到的窄线宽信号的物理图像仍然不清楚，仍需要研究数字光频率梳方法以获得更好的理解。

该方案的优点是结合高Q因子微泡谐振器和数字光频率梳，从而能够通过监测光谱变化的选择模式的共振频率检测超声振动。选择一个工作在165 kHz的压电式换能器作为超声源并将其垂直放置在微泡谐振器之上。压电式换能器和微泡谐振器之间的距离设置为2 cm，以建立耦合设置。为了测量在打开声源时微泡谐振器的共振频率的位移，数字光频率梳被设置为梳间距为1.22 MHz，带宽为5 GHz。该分辨率足以测试超声刺激下共振峰的频移。因此，每个梳对应的时间为T=0.82 μs，即扫描速度为48000 nm/s。当带宽增加到40 GHz时，数字光频率梳的扫描速度将达到390,000 nm/s。它比可调谐激光器频率调谐法快1950倍，即使使用的最大扫描速度为200 nm/s。此外，通过解调数字光频率梳数据，可以得到在5 GHz带宽下所选微泡谐振器谐振峰的强度和相位信息。如图3(a)和图3(b)所示，关闭超声振动后，强度谱和相位谱没有变化。相比之下，在强度谱和相位谱中都观察到周期性的频率位移。所选模的谐振频率的位移随时间的详细变化，如图3所示。

图3 强度和相位响应。无超声激励下，基于微泡谐振器的数字光频率梳的(a)强度和(b)相位响应。超声刺激下基于微泡谐振器的数字光频率梳的(c)强度和(d)相位响应。(a) - (d)右侧的插页为放大部分。

对图3(c)和图3(d)的强度和相位数据进行快速傅里叶变换分析，观察到其振荡频率为165 kHz，与实际超声刺激频率一致。从强度域和相位域计算得到的结果是相似的。因此，下面的分析主要使用强度数据。当声源关闭时，将微泡谐振器设置为接近临界耦合状态。然而，当声源处于开启状态时，微泡谐振器的变形会改变谐振腔与锥形光纤之间的耦合，从而改变了临界耦合状态。此外，声源还会引起微泡谐振器有效折射率的变化，从而导致浸渍深度的微小变化。通过以上方法，数字光频率梳方法可以很容易地捕获谐振峰，实现快速检测。高速检测有利于降低温度和环境噪声对谐振峰频移的影响。

表1 基于40 kHz和165 kHz不同点信噪比计算超声探测器的噪声等效压力。

为了验证数字光频率梳法在全光谱采集的优越性，分析了频移变化的32 MHz范围在250 μs和选择4点以同样的方式作为锁频方法比较精度，如图4(a)所示。结果表明，共振峰在超声刺激下有明显的周期性频移。实验测试了-16、-12、-6 MHz频率和谐振峰值处的功率变化，分别标记为位置A、B、C和D。其中，A点位于谐振浸渍斜率最小处，C点位于谐振浸渍斜率最大处，B点位于A点和C点之间。还根据频谱随时间变化的曲线监测了共振浸渍频率偏差的时变曲线，它被命名为D。图4(a)蓝色区域显示的是频移值而不是功率的变化。如图4(b)所示，通过对其时域曲线进行快速傅里叶变换，可以得出在165 kHz处有一个频率响应(图中各图角处有图示)，该频率响应与压电换能器的驱动频率一致。当监测波长固定在C、B、A点时，采用相同的处理方法，A、B、C点的响应峰值信噪比分别为12.3 dB、18 dB、18.3 dB，如表1所示。根据相关文献中前期实验推导出的值，假设施加压力值为3.2 Pa。平均时间设置为0.3 ms。根据相关公式可以获得响应峰A-D点的噪声等效压力。如表1所示，在165 kHz时，它们分别为~ 13.45、~ 6.98、~ 6.74和~ 4.88 mPa/(Hz^1/2)。使用相关文献中类似的测试装置和设置来测量压电换能器的驱动电压(165 kHz)和微泡谐振器压力之间的关系。通过以上的工作，可以很容易地将驱动电压设置为3.2 Pa的压力值。因此，当压电换能器与微泡的距离为2 cm时，可以通过调节驱动电压来设定类似的压力为3.2 Pa。另外，可以得到A-D点在40 kHz时的噪声等效压力，如表1所示，其噪声等效压力大于在165 kHz时的噪声等效压力，与其他文献推断的结果一致。结果表明，在没有反馈的情况下，A-C点的测量噪声等效压力是不可靠的且比D点(对应于微泡谐振器所选模的谐振频率的位移)的测量噪声等效压力要高。相比之下，基于数字光频率梳方法可以获得微泡谐振器谐振腔峰的完整光谱快照。实验表明，通过跟踪共振频率来检测声压可以满足超声检测的要求。因此，可以检测到与距离相关的声源。

图4 (a) 单个超声响应周期内共振峰的频率响应。(b) 快速傅里叶变换获取的D点的反演频谱。

利用上述检测方法，还可以同时在一个光谱快照中检测多个微泡谐振器峰值。为了实现这一想法，可以将两个微泡谐振器放在一起，在锥形光纤上相距7.1 cm，如图1(c)所示。首先，微泡谐振器的共振下降不相互影响，如图5所示。MBR-A与烙铁头的距离为10 cm；尖端被直接放置在MBR-A之上。在1550.0462 nm处(A峰)和1550.0547 nm处(B峰)分别对应于MBR-A和MBR-B。当温度从25 ℃升高到30 ℃时，A峰会从1550.0462 nm变化到1550.0533 nm，而B峰不会发生变化。可以确定，多峰属于不同的微泡谐振器，不相互影响。

图5 测量得MBR-A和MBR-B的温度致频移透射谱。

为了进一步说明该方法的高精度定位能力，通过监测两个微泡谐振器之间的迹线中的相对相位变化来定位声源。在实验中，数字光频率梳的带宽设置为10 GHz，可以观察到属于不同微泡谐振器的两种选定模式。如图6(a)所示，压电换能器最初放置在MBR-A正上方的70 cm处，并逐渐垂直下降5 cm，最终停在MBR-A处2 cm处。d1表示压电陶瓷最终位置到MBR-A的距离(本实验中为2 cm)。d2是压电换能器到MBR-B之间的距离。如图6(b)所示，它们各自的共振峰的值也将从0.1改为3.79 rad。利用三角函数法计算压电换能器与MBR-A之间的距离变化。图6(c)显示了相对相位与压电换能器和MBR-A的距离之间的关系，平均了超过100个实验样本得到的结果，与理论模拟结果非常一致。利用这种方法，可以通过监测不同微泡谐振器峰的光谱变化来描述超声源周围更多的微泡谐振器的分布。如图6(d)所示，假设在柔性基底上放置一组微泡谐振器，可以形成三维空间结构模型进行成像，这对于超声或光声成像至关重要。

图6 (a) 基于两个微泡谐振器的超声探测器原理图。(b) 超声响应下MBR-A和MBR-B的共振峰的频移随时间变化。Δφ是两个谐振器之间的相位差。(c) Δφ和超声波与MBR-A之间的距离的关系。(d) 一组微泡谐振器的三维结构测试模型示意图。

因此，微泡谐振器与数字光频率梳相结合的方案在超声检测方面有三个优势。首先，该方案可以提供高分辨率和高速的微泡谐振器光谱变化的快照，可以减少来自环境的热噪声和机械噪声的影响。其次，该方案可以通过调整梳频间距和数字光频率梳带宽来调整分辨率、速度和光谱区域，具有良好的灵活性和可扩展性。此外，通过优化具有更高光弹性效应、更薄壁(亚微米至∼2 μm)和更高Q因子的材料，可以进一步提高方案的灵敏度该方案可以捕获来自不同微泡谐振器的包含多峰的全光谱，如果使用一组微泡谐振器，则有可能形成三维空间结构模型用于成像，即实现光声成像。未来，将研究微泡谐振器上的阵列模式和声波的方向。

05 展望

在这个工作中，提出了一种简便、紧凑的无接触超声检测技术，将高Q的微泡谐振器与数字光频率梳相结合。它能够以飞米分辨率和亚微秒响应时间获得微泡谐振器谐振腔峰的完整光谱快照，从而能够捕捉到超声诱导的微泡谐振器的光谱变化，包括强度和相位随时间的变化。此外，利用数字光频率梳确定空间位置，可以从多个微泡谐振器中获取多个响应峰。为了进行实验说明，使用微泡谐振器和数字光频率梳相结合，在165 kHz下工作的换能器所产生的超声波的准确检测。另外，基于数字光频率梳的多光学微泡谐振器进行超声源的精确定位与理论计算一致。该方法可能成为非接触空气耦合声学层析成像的一种潜在工具。

END

研究人员简介

张斌，中山大学电子与信息工程学院副教授。研究方向为智能光电子信号处理芯片。

E-mail:zhangbin5@mail.sysu.edu.cn

李朝晖，中山大学电子与信息工程学院教授。研究方向为光通信系统、光子集成芯片及智能光信号处理。

E-mail:lzhh88@mail.sysu.edu.cn

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