xpspeak安装教程_查漏补缺：教你正确操作 XPS 分峰软件 XPSPEAK

一、引言

X射线光电子能谱(XPS)：利用X射线辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来，光子激发出来的电子称为光电子，利用能量分析器分析光电子的能量，作出光电子能谱图，横坐标一般为结合能，纵坐标为相对强度。

XPS的高表面灵敏度，非结构破坏性能力和其可获得化学态信息的能力使其成为表面分析极有力的工具。XPS谱图可以提供的信息有样品的组分、化学态、表面态、表面价电子结构、原子和分子的化学结构、化学键合情况等：

科研工作中我们拿到手的XPS数据需要我们根据样品的信息将不同元素的高分辨谱加以分峰拟合，才能得到样品表面结构的有效信息，今天就介绍一款简单好用的XPS分峰软件——XPSPEAK，并结合案例分享一下利用XPS分析材料表面信息的过程。二、软件安装介绍

以Windows为例介绍软件的安装过程：下载软件包后解压，解压文件夹打开如下图所示，双击XPSPEAK41.exe文件进行安装，安装过程与普通安装软件相同，无需产品序列号等。

软件安装好打开后有两个窗口XPS Peak Fit和XPS Peak Processing，从XPS Peak Fit窗口的工具栏可以看出这是对数据进行分析的窗口，导入导出原始数据、拟合后数据，选择背景基线，添加谱峰，进行拟合等都要在这个窗口进行。而XPS Peak Processing窗口中可以看到已添加或拟合的谱峰的具体数据以及拟合后卡方的大小。

三、软件操作实例

第一步࿱