车间生产能耗管控方案_界读丨光刻机巨头ASML，无尘车间管控，生产最牛EUV光刻机...

欧界报道：

近日，有媒体曝光了世界光刻机巨头ASML公司位于荷兰费尔德霍芬的生产总部无尘车间的内部生产环境。据了解，全球性能最优的芯片制造核心设备--EUV极紫外光刻机目前只有荷兰ASML公司有能力出产。在半导体制造工艺中，光刻机是必不可少的设备，几乎所有工艺都会用上光刻机，技术含量非常高，成本也十分昂贵。

半导体芯片的生产有着十分复杂的流程，而光刻则是其中最关键的步骤。光刻技术的精密程度极高，它将紫外光作为图像数据的运载体，利用光致抗原理，通过蚀刻制剂对图像数据进行微处理，最终通过变形处理转移至晶片或者介质层上。光刻的整个过程分为光复制和光刻蚀两个主要部分，其中，光复制技术对应的就是光刻机。光刻机具有对光源能量、光波形状进行控制的能力，它通过控制光束进行晶圆的线路图成像。目前全球流通的先进芯片具有30多层，工艺难度高，需要使用更先进的光刻机进行制造。

EUV光刻机则是目前技术最先进的光刻机。ASML公司从1999年开始进行EUV光刻机的研制工作，并于2010年成功制造出全球首台EUV原型机，但这台原型机具有工作效果不稳定、安全性不足等缺陷，直到2016年才推出修改版正式出品市售。EUV光刻机对光源的功率范围、光学透镜的精度和反射镜系统的适配性都具有很高的要求，而配套技术的发展速度缓慢，这也是EUV光刻机迟迟造不出来的原因之一。现如今市面上的品牌主流旗舰机的芯片制造过程，也都有EUV光刻技术的参与。

在当今45nm以下的高精度光刻机市场中，ASML公司占据了八成的市场份额。EUV光刻机无尘车间对生产环境的管控十分严格，对空气污染源的控制精度达到了皮肤微颗粒级，空气净化度是外界的1000倍，对于空气温度和湿度也有着苛刻的要求。ASML公司目前在荷兰、美国、韩国和台湾地区都建造了无尘车间。装配完成的一台完整的EUV光刻机重量超过100吨，需要配备六架飞机进行运输工作。

目前中国市场缺少完整的半导体产业生态链，而海思和中芯国际与世界顶尖工艺水准还存在着明显的差距。上海微电子装备也仅有能力生产封装光刻机和LED光刻机，技术层面也还停留在90nm层面。但中国企业也在努力进行科技研发，相信在不久的将来，中国也能拥有属于自己的半导体产业生态链。

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