eds图怎么绘制_EDS元素分析eds图像

EDS

元素分析

eds

图像

EDS

元素分析

一、实验目的

1

、了解能谱仪

(EDS)

的结构与工作原理。

2

、掌握能谱仪

(EDS)

的分析方法、特点及应用。

二、实验原理

在现代的扫描电镜与透射电镜中

,

能谱仪

(EDS)

就是一个重要的附件

,

它同主机共用一套

光学系统

,

可对材料中感兴趣部位的化学成分进行点分析、面分析、线分析。它的主要优点

有

:(1)

分析速度快

,

效率高

,

能同时对原子序数在

11

—

92

之间的所有元素

(

甚至

C

、

N

、

O

等超

轻元素

)

进行快速定性、定量分析

;(2)

稳定性好

,

重复性好

;(3)

能用于粗糙表面的成分分析

(

断口等

);(4)

能对材料中的成分偏析进行测量

,

等等。

(一)

EDS

的工作原理

探头接受特征

X

射线信号→把特征

X

射线光信号转变成具有不同高度的电脉冲信号→放

大器放大信号→多道脉冲分析器把代表不同能量

(

波长

)X

射线的脉冲信号按高度编入不同

频道→在荧光屏上显示谱线→利用计算机进行定性与定量计算。

(二)

EDS

的结构

1

、探测头

:

把

X

射线光子信号转换成电脉冲信号

,

脉冲高度与

X

射线光子的能量成正比。

2

、放大器

:

放大电脉冲信号。

3

、多道脉冲高度分析器

:

把脉冲按高度不同编入不同频道

,

也就就是说

,

把不同的特征

X

射

线按能量不同进行区分。

4

、信号处理与显示系统

:

鉴别谱、定性、定量计算

;

记录分析结果。

(三)

EDS

的分析技术

1

、定性分析

:EDS

的谱图中谱峰代表样品中存在的元素。

定性分析就是分析未知样品的第一

步

,

即鉴别所含的元素。如果不能正确地鉴别元素的种类

,

最后定量分析的精度就毫无意义。

通常能够可靠地鉴别出一个样品的主要成分

,

但对于确定次要或微量元素

,

只有认真地处理

谱线干扰、失真与每个元素的谱线系等问题

,

才能做到准确无误。定性分析又分为自动定性

分析与手动定性分析

,

其中自动定性分析就是根据能量位置来确定峰位

,

直接单击“操作

/

定

性分析”按钮

,

即可在谱的每个峰位置显示出相应的元素符号。自动定性分析识别速度快

,

但由于谱峰重叠干扰严重

,

会产生一定的误差。

2

、定量分析

:

定量分析就是通过

X

射线强度来获取组成样品材料的各种元素的浓度。

根据实

际情况

,

人们寻求并提出了测量未知样品与标样的强度比方法

,

再把强度比经过定量修正换

算成浓度比。最广泛使用的一种定量修正技术就是

ZAF

修正。

3

、元素的面分布分析

:

在多数情况下就是将电子束只打到试样的某一点上

,

得到这一点的

X

射线谱与成分含量

,

称为点分析方法。

在近代的新型

SEM

中

,

大多可以获得样品某一区域的不

同成分分布状态

,

即

:

用扫描观察装置

,

使电子束在试样上做二维扫描

,

测量其特征

X

射线的

强度

,

使与这个强度对应的亮度变化与扫描信号同步在阴极射线管

CRT

上显示出来

,

就得到

特征

X

射线强度的二维分布的像。这种分析方法称为元素的面分布分析方法

,

它就是一种测

量元素二维分布非常方便的方法。