超大规模集成电路先进光刻理论与应用_北仑"芯港小镇"已落户集成电路产业项目28个...

芯港小镇的规划图。

“目前，我们的产线已进入设备调试的尾声阶段，预计年底完成调试。”11月11日上午，在北仑芯港小镇内，宁波安集微电子科技有限公司生产主管朱俊辉向记者展示了该企业未来在甬的发展蓝图：一期光刻胶去除剂等高端微电子材料设计年产能3500吨，明年一季度实现量产；二期以中试、仓储为主，明年8月底完成主体结构。

作为我市集成电路“一园三基地”中的重要一环，芯港小镇是宁波重点打造的集成电路制造与材料基地。

随着安集微电子等一批企业入驻，芯港小镇已逐渐形成“芯”火燎原之势。

在安集微电子不远处，锦越新材料凭借自主研发的“晶析法”工艺，成功突破5N8()电子级超高纯铝的技术瓶颈，一举打破国外垄断，其生产的电子级超高纯铝纯度排名全球前三，并已向6N()纯度发起技术攻关。按照生产计划，锦越新材料4条电子级超高纯铝生产线将于明年底全部达产，设计年产能达2000吨。

有了光刻胶，才能把纳米级的超大规模集成电路印上去。前不久，另一家集成电路关键原材料企业宁波南大光电材料有限公司的首条ArF光刻胶生产线正式投产。按照计划，该项目总投资6亿元，项目完全达产后，预计实现约10亿元的年销售额，年利税预计约2亿元。目前，该公司研制出的ArF(193nm)光刻胶样品正在供客户测试。

除了安集微电子、锦越新材料、南大光电，园区内的中芯集成电路(宁波)有限公司特种工艺芯片N2项目也在加紧建设中。

目前，“芯港小镇”已累计落户集成电路产业项目28个，涵盖芯片制造、关键材料、设计、封测、平台、应用等全产业链，总投资超150亿元；同时，引进中科院微电子研究所宁波北仑应用研究所等创新平台4个，宁波北仑集成电路产业平台列入浙江省第二批“万亩千亿”新产业平台培育名单。(记者 殷聪 通讯员 陈盛竹 王俊 文/摄)