SECS/GEM介绍

#1. 用途
讲secs/gem那要从semi标准讲起，SEMI标准是半导体产业有关组织制定的一系列标准，这些标准的制定，让半导体产业的一切生产活动变的井井有条，生产线的自动化程度极高。
SECS/GEM标准是沟通厂商设备和工厂系统之间信息控制和交换的桥梁，

SECS 是半导体设备通信标准的首字母缩略词。GEM 是指 SEMI E30 标准，它使用 SEMI E5标准中定义的消息类型的子集来描述设备行为和通信的通用模型。
SECS/GEM 接口的部署通常会使用 SEMI 标准 E37 和 E37.1 指定的 TCP/IP 网络，也就是基于E37(HSMS)实现消息层的协议转换，传递E5规定的消息格式。
GEM标准规定了设备的行为模式和应该具备的功能。
#2. 结构

#3. GEM基本功能和附加功能
##3.1 基本功能
通讯状态机
控制状态机
工艺状态机
收集事件通知
身份识别
错误消息
文档
#3.2 附加功能
动态收集事件报告
变量，跟踪，状态数据
自我描述
警报
远程控制
设备常量
配方管理
物料的运动
终端服务
时钟
假脱机