严格耦合波分析（RCWA）技术详解：周期性纳米结构的高效频域求解与多层堆叠支持

严格耦合波分析（RCWA）是一种基于频域的电磁场数值方法，专为周期性纳米结构（如光子晶体、超表面、衍射光栅等）的散射与传输特性分析而设计。其核心优势在于高效处理多层堆叠结构、复杂入射条件（任意角度、偏振态、锥形衍射）以及宽频带响应分析。以下从数学原理、算法实现、多层与复杂入射支持、应用场景及性能优化五个维度展开论述。

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一、数学原理：Floquet定理与空间谐波展开

RCWA的数学基础是Floquet定理，其核心思想是将周期性结构中的电磁场展开为空间谐波级数，将麦克斯韦方程组的求解转化为矩阵特征值问题。对于周期为$\Lambda$的纳米结构，电磁场分量可表达为：
$$\mathbf{E}(x,y,z)=\sum _{m,n}{\mathbf{E}}_{mn}(z)e^{i(k_x+m\frac{2\pi }{{\Lambda }_x})x}{e}^{i(k_y+n\frac{2\pi }{{\Lambda }_y}}$$