s4800扫描电镜的CSS3_日立S4800扫描电镜中文使用手册

一、介绍

Hitachi

S-4800

场发射扫描电镜采用了新型

ExB

式探测器和电子束减速功能

,

提高了图象质

量

(15 kV

下分辨率

1 nm)

，

尤其是将低加速电压下的图象质量提高到了新的水平

(1 kV

下

1.4

nm)

；新型的透镜系统，提高了高分辨模式、高速流模式、大工作距离模式、磁性样品模式

等多种工作模式，使其能够精确和清楚地捕捉最短暂的瞬间。

二、操作说明

1

．开机

(

1

)日常开机：打开

Display

的开关，

PC

自动开机进入用户界面并自动运行

PC_SEM

程

序，以空口令登入。

(

2

)

完全关闭电源后开机：

接通配电盘电源

→

拔上

MAIN Swith

开关

→

按一下

Reset

按钮，

→

将

MAIN

控制面板上

EVAC POWER

按至

ON

，

SC EVAC

指示灯处于常绿状态后，等半

小时

→

按下

Display

开关至

ON, PC

自动开机进入用户界面并自动运行

PC_SEM

程序，以

空口令登入。

2

．图像观察

(

1

)

装入样品

制样

→

把样品托装入样品座，并用标尺确定高度、旋紧

→

按

AIR

按钮

→

将样品座插在样品

交换杆上，并锁紧

→

将交换杆拉至尽头卡紧，关闭交换室

→

按下

EVAC

按钮

→

按下

OPEN

按钮打开

MV-1

后，推进交换杆，旋转样品杆

UNLOCK

位置后拉出交换杆

→

按下

CLOSE

按钮。

(

2

)

图像观察及保存

SC

真空恢复正常后(显示为

L E-3

)

→

选择适当的加速电压(

Vacc

)

→

加高压

→

在低倍、

TV

模式下将图像调节清楚

→

聚焦、消象散

→Slow3

确认图像质量

→

点击

Capture

按钮拍照

→

点击右下方

Save

按钮

→

选择保存位置、使用者及样品信息，保存。

(

3

)

结束观察