电子显微镜操作与维护指南-CSDN博客

本文链接：https://blog.csdn.net/weixin_42131139/article/details/115176007

120kV
200kV

操作面板

左面板
- α tilt、β tilt（仅双倾杆可用）
- Track ball：beam shift
  - +/-调节移动步长
- Intensity：顺时针旋转→光斑大小↑光强↓
- Stigmator：像散矫正器，一般不用操作面板而用UI软件-tune调节
- 多功能X：按软件中定义起作用
- L1～L3：定义后作用，默认——
  - L1：reset focus，定义正焦的focus值用
  - L3：spot size +
右
- Dark field：切换明场/暗场成像，暗场一般不用
- 多功能Y
- Diffraction：物镜光阑插入时，将成像模式切换到衍射模式，可用于调节光阑对中
- Focus：调（物镜）焦
  - 大旋钮：调节step，一般2/3/4
  - 小旋钮：调focus
- Wobbler：抖动，不常用
- Eucentric focus：调节电镜光路前恢复物镜默认值，使样品位于eucentric height下聚焦
- 样品杆：调整样品台的相对x/y轴位置
  - +/-调节移动步长
- z axis：调整样品台的相对z轴位置（调eucentric height用）
- Magnification：放大倍数
- R1～R3：定义后作用，默认——
  - R1：抬/放荧光屏
  - R2：set defocus
  - R3：spot size -

软件面板及信息栏

UI：电镜的主控制软件（左电脑的左、右上、右下三窗口）
- 信息栏
  - HT=high tension高压值
  - 放大模式：LM—M—SA（最常用）
  - defocus数值
  - exposure time：与intensity/spot size相关，一般1.0+
  - spot size：常用2/3，D1319默认4不改，数字↑光斑尺寸↑光强↓
- 下拉选项窗
  - stigmator
  - direct alignment：勿动gun
  - vacuum map：亮蓝=高真空，深蓝=同外界
  - none=收起窗口
DM=Digital ???：外插的拍照用软件
TIA：电镜自带的拍照用软件
DM、TIA一般选其一打开即可，同时打开时DM容易卡死

上样前检查

登记本*2
进样孔指示灯不亮红（故障/cryo-cycle）
收起物镜光阑
（info账号登陆）
UI
- log中是否有报错
- setup-vaccum
  - gun<20
  - col.<20，可能出现<40亦可，过后会抽低
  - 右扩展窗high tension、DM按钮未启动（灰色）
- setup-high tension
- camera右扩展窗：shutter选第二项
- search-右扩展-control-“reset holder”
液氮：确定无异常后可加，加满冷阱瓶，小心沸腾

上样

确认已reset holder
进样插杆抽真空时长设置：setup-vacuum-右扩展-settings
- ⚠️普杆60s/冷杆90s
装载grid
- ⚠️旋转180度轻拍玻璃筒，检查grid是否会掉出
- 进样时样品正面（碳膜黑色面）朝下
侧面pin对准进样通道右下白线，插入至插不动
Airlock启动，启动倒计时抽真空
Airlock完毕灯亮，迅速逆时针转动样品杆至转不动、背面短针对准下方小孔（⚠️转动中勿前后插）
column内真空将样品杆带入（⚠️用左手缓冲）
确认真空值正常

启动

（UI）setup-high tension：120kV、固定启动时间30s
点亮“high tension”启动高压
- 电场引起emission突升，等待恢复稳定～0
“Filament”加热灯丝
- emission=灯丝电流，等待趋于稳定
两次电镜使用间HT、Filament可能不关，关Col. Valve即可

调光

✳️按部件由上到下

关灯、R1放下荧光屏
打开柱阀：点灭Col. Valve close
❓“eucentric focus”物镜归零、确认已撤物镜光阑（左进右出，上样前检查）
光线对准荧光屏中心
- 首先降低“magnification”至SA模式，SA无光则继续降低至低倍<1000x找到光斑
- track ball+“Intensity”调整光路位置
- 无光？
  - 降低magnification
  - “Intensity”顺时针放大/逆时针缩小光斑、判断光轴位置
  - 更换样品区域
调整聚光镜像散：光斑是否为圆形？
- “Intensity”调整光斑至易于观察大小
- UI下拉选项窗stigmator→“condenser”模式
- 多功能X/Y调整光斑形状
- 后续随时可调
调整聚光镜光阑：光斑是否同心收缩？=光阑是否与光路同轴？
- “Intensity”逆时针缩小光斑至最小，对准荧光屏中心
- “Intensity”顺时针放大光斑，可能有偏移
- 光阑小旋钮，使大光斑对准中心
  - 大旋钮=光阑孔径，聚光镜固定=4
  - 光阑下方拨片=插拔光阑，左进右出，聚光镜固定插入
- “Intensity”缩放光斑确认同心收缩
调样品台同心高度/eucentric height
- 放大倍数4000～6000x
- 光斑散开满屏
- 选择特异参照物
- set alpha=15→“Z axis”→0→样品操纵杆→循环至位移最小
  - 首次位移过大则关闭set alpha、设置为5重新进行
- ✳️更换square/grid需重新操作
合轴粗调：低倍9000～10000x下合轴
- 调整beam tilt、beam shift、rotation centre：操作见下
- 刘涛版本→一般没有必要分低高倍调两次，rotation centre可以在定义正焦前、低倍下调一次
合轴细调：高倍>20000x/拍照倍数下合轴
- 聚光镜像散可忽略
- 定义正焦
  - 根据样品情况减小光强e.g.spot size 2，exposure 1.0+差不多亮度即可
  - 预览模式
    - （DM）“insert camera”→“start view”：设置参数刷新1s，bin4
    - （TIA）“search”
  - 调出FFT模式：“LiveFFT”
    - thon ring椭圆则需调整物镜像散：UI下拉选项窗stigmator→objective模式→多功能X/Y调整thon ring形状（对应FFT图像20°/60°方向）
    - “focus”顺时针旋转时thon ring变大则为欠焦状态，反之为过焦
    - 调整“focus”至最外圈thon ring放大铺满→“(L1/R2=)reset focus”定义正焦
  - 退出相机预览
    - （DM）“stop view”→R1放屏
    - （TIA）点灭“search”“LiveFFT”→R1放屏
    - 调整光斑大小至适合合轴
- UI下拉选项窗“Direct alignment”-“beam tilt ppX&Y”：多功能XY+track ball直至晃动的两光斑重合，done
- UI下拉选项窗“Direct alignment”-“beam shift”：多功能XY+“Intensity”将光斑拖至中心，done
  - ⚠️不能用track ball拖光斑
  - 切换到beam shift后看不到光斑时，先减小“Magnification”及“Intensity”缩小并找到光斑，再多功能键XY拖至中央，逐步提回高倍操作
- UI下拉选项窗“Direct alignment”-rotation centre
  - 样品操纵杆使视野对准碳膜边缘
  - 多功能XY+track ball使光斑、视野振动均最小（类似心脏跳动），done
插入物镜光阑：物镜后焦面，屏蔽高角散射、非弹性散射，提高像的衬度
- 光斑散开满屏
- “Diffraction”进入衍射模式
- “Magnification”调整参数D=～680nm（类似于放大倍数？）
- 多功能XY调整rings对准中心
- 物镜光阑下拨片向左插入光阑（⚠️用手缓冲）
  - 大旋钮调光阑孔径=4
- 物镜光阑正、侧小旋钮调整光斑对准中心
- “Diffraction”取消衍射模式

图像观察、拍照

荧光屏上确认放大倍数及样品位置
R1抬起荧光屏
重调物镜像散、定义正焦：插入物镜光阑的影响，操作同上
- ✳️更换square/grid需重新操作
DM拍摄：
- “start view”拍摄模式预览
- “focus”微调欠焦使图像清晰
  - 一般defocus=-3～-2，根据样品决定
  - process-live-FFT下观察thon rings更便于调整
- “stop view”停止预览
- “acquire”拍摄：exposure=1.0
- 保存图像
  - 直接关闭照片窗口→提示保存，仅tif或dm3格式
  - 选中窗口→“file”选项卡→“save d…”，可保存jpg格式
  - 锤子按钮→global …→save numbered …→选中照片窗口→123按钮=自动编号并保存
  - ✳️路径E/，每人每日更新
TIA拍摄：
- （UI）search-camera-“start view”
- 保存图像
  - Auto save
  - 右键“fi?? data”，可保存为jpg等格式