- 博客(2)
- 收藏
- 关注
原创 天线效应antenna effect
一般来说,天线比越小,天线效应越小。(在芯片制造的过程中,由于温度和环境光子等因素,反向antenna diode 等效于一个电阻,diode面积越大,电阻越小,能泄放的电流越大,对gate 保护效果越好)在芯片制造的过程中,连接Gate的metal层相当于一个天线,它会收集一些工序中产生的电荷,例如反应离子刻蚀或者等离子体相关的工序。天线效应会对gate oxide造成不可逆转的损伤,导致芯片的可靠性降低,例如TDDB问题。① 向上跳层,将面积违例的金属层分成多段,以达到减小"天线"面积的目的。
2023-04-03 16:12:07
1009
1
空空如也
空空如也
TA创建的收藏夹 TA关注的收藏夹
TA关注的人