【SEMI】E84协议的通信原理以及协议通信搬运流程

什么是SECS E84

SECS E84是半导体行业中SECS（SEMI Equipment Communications Standard）协议的一个重要标准，主要用于定义设备与主机之间的数据交换流程。它特别适用于晶圆制造和检测设备中的自动化交接过程。
主要特点
自动化交接：E84标准描述了晶圆载具（如FOUP）在工厂自动化物料搬运系统（AMHS）与机台装载端口（LP）之间如何通过光学信号实现自动化交接。
握手过程：E84协议详细定义了设备间通信的握手过程，确保设备在生产流程中协调一致。
异常处理：该协议还涵盖了交接过程中的异常处理机制，确保交接动作的顺利进行。
适用场景：E84是300mm晶圆制造标准（GEM300）的一部分，主要用于12英寸晶圆厂的自动化生产。
应用价值
提高效率：通过自动化交接减少了人工操作，提高了生产效率。
减少污染：避免了人工操作可能带来的晶圆污染。
集成性：E84标准使得设备能够与Fab级自动化系统无缝集成。
SECS E84是半导体制造中不可或缺的通信协议，广泛应用于设备控制和自动化生产。

E84 L-REQ标准对接开始流程

SECS E84协议中关于装载端口（Load Port）与自动化物料搬运系统（AMHS）之间进行晶圆载具交接的具体通信和操作步骤。这个流程详细描述了从“请求装载”到“开始传送”的一系列信号交互和动作。下面我将逐步解释这个流程的每个步骤，帮助你更好地理解：

1. 遮断信号关闭（OFF）
   含义：遮断信号（通常是一个安全信号）关闭，表示系统处于安全状态，可以开始进行后续操作。
   目的：确保在开始交接之前，系统处于安全的初始状态，避免任何潜在的安全风险。
2. 验证 [GO=ON]（通讯开始）
   含义：AMHS向装载端口发送一个“GO”信号，表示AMHS已经准备好开始通信。
   目的：这是一个握手信号，用于确认双方（AMHS和装载端口）都已准备好进行下一步操作。
3. 设置 [LOADPORT] 传送命令（CS_0/CS_1）ON
   含义：AMHS向装载端口发送一个传送命令（通常通过CS_0或CS_1信号），指定具体的传送操作。
   目的：告诉装载端口即将进行的操作类型（例如装载或卸载晶圆载具）。
4. 设置 [VALUE=ON]（开启单次传送）
   含义：AMHS通过设置“VALUE”信号为ON，表示请求进行单次传送操作。
   目的：这是一个明确的请求信号，用于启动单次传送流程。
5. 验证 [L_REQ=ON]（有下料请求）
   含义：AMHS检测到“L_REQ”信号为ON，表示装载端口请求进行下料操作。
   目的：确认装载端口已经准备好接收晶圆载具，并请求AMHS开始下料。
6. 设置 [TR_REQ=ON]（请求下料）
   含义：AMHS通过设置“TR_REQ”信号为ON，向装载端口发送下料请求。
   目的：正式请求装载端口允许进行下料操作。
7. 验证 [READY=ON]（允许下料）
   含义：AMHS检测到“READY”信号为ON，表示装载端口已经准备好，并允许进行下料操