SEMI通讯协议中的SML（SEMI Markup Language）是一种用于描述半导体设备通讯消息的格式。SML采用XML（eXtensible Markup Language）作为基础，定义了一套用于表示SEMI消息的标记语言。
在SML中，消息由标签（tag）和数据（data）组成。标签用于指示消息的类型和结构，而数据则包含具体的信息内容。SML格式的消息通常以XML的形式进行表示，其中包含了各种标签和数据字段。
使用SML格式进行通讯时，发送方需要按照SML规范构建消息，并将其发送给接收方。接收方则需要解析接收到的SML消息，提取其中的信息内容进行处理。通过SML格式，不同的半导体设备可以进行标准化的通讯，实现信息的交换和共享。
下面是一个示例SML格式的消息：
<SECSMessage>
<Header>
<SystemByte>1</SystemByte>
<MessageType>10</MessageType>
</Header>
<Body>
<DataItem name="EquipmentStatus">RUN</DataItem>
<DataItem name="RecipeID">12345</DataItem>
</Body>
</SECSMessage>
在这个示例中，<SECSMessage>表示整个消息，<Header>和<Body>分别表示消息的头部和主体部分，<DataItem>用于表示具体的数据项。通过这样的结构，可以清晰地描述消息的内容和结构。
总的来说，SML格式是SEMI通讯协议中用于描述消息的一种标记语言，通过定义一套统一的消息格式，实现不同设备之间的通讯和数据交换。
下面以SECS-II格式为例来说明SEMI的通讯格式：
假设有一条SECS-II格式的消息如下：
#S1F1 W [2] [1, 2] "ALARM" "OVER TEMPERATURE"
在这个例子中，这条消息表示了一个报警信息，包含了报警的类型和具体描述。下面是对这条消息的解释：
#表示这是一条SECS-II消息的开始。S1F1表示消息的类型，其中S1表示消息类别，F1表示消息编号。W表示消息的传输类型，这里表示是从设备发送到主机。[2]表示消息的数据项个数。[1, 2]表示两个数据项，分别为1和2。"ALARM"表示第一个数据项的值，即报警类型为"ALARM"。"OVER TEMPERATURE"表示第二个数据项的值，即报警描述为"OVER TEMPERATURE"。
通过这样的格式，SECS-II消息可以清晰地描述消息的类型、数据项和数值，方便设备之间进行通讯和数据交换。
需要注意的是，SECS-II格式中的消息类型、数据项和数值都有对应的定义和规范，发送方和接收方需要按照规范来构建和解析消息，以确保通讯的准确性和可靠性。
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