Lumerical官方案例、FDTD时域有限差分法仿真学习（三）——环形谐振器(Ring resonator)之第二＆第三部分

二、使用 MODE 的参数提取和蒙特卡罗

2.1 学习目标

在此示例中，用户将学习：

1.使用模式扩展监视器提取参数以与 INTERCONNECT 中的电路级仿真接口。
2.将 S 参数结果与 3D FDTD 进行比较。
3.使用 Monte Carlo Analysis分析功能来跟踪制造误差对环形谐振器的自由光谱范围 (FSR) 的影响。
3.此页面包含 3 个独立的部分。 第一部分（参数提取）描述了如何设置模式扩展监视器以进行参数提取。 如果您想跳过本节，教程的第一页提供了完整的模拟文件。 第二部分介绍如何在 INTERCONNECT 的电路级仿真中使用第一部分的 S 参数结果。 最后一部分展示了如何通过执行蒙特卡罗分析来跟踪制造误差对环形谐振器自由光谱范围 (FSR) 的影响。

2.2 参数提取

2.2.1 模式扩展监视器

我们将从第 1 部分中的文件 ring_resonator.lms 开始。

1.打开 ring_resonator.lms 文件。
2.在添加模式扩展监视器之前，请阅读以下关于模式扩展监视器背后的计算的页面：模式扩展监视器。

来源于官网的句子：模式扩展监视器使用重叠分析来计算波导或光纤在仿真区域中任意位置的任何模式的向前/向后传播分量。

3.按监视器按钮上的箭头添加模式扩展监视器，并从下拉菜单中选择模式扩展监视器。 根据下表设置属性。 （请注意，您可以在布局或分析模式下添加模式扩展监视器，因此如果已经运行了模拟，则无需切换到布局。）

存疑：这里都选Linear Y的监视器类型了，z span咋还有不为0的取值呢，离谱

我们将此监视器直接放置在 MODE 源的前面，我们将使用顶部波导的基模来扩展环形谐振器 4 个端口的场。

1.在模式扩展选项卡中，为“Mode calculation”选择基本模式。 您可以使用“Visualize Mode Data”按钮来研究此模式的场强分布。
2.在“Monitors for Expansion 表”中，选择我们在 Ring Resonator 的 4 个端口设置的 4 个功率监视器，如下所示：

2.2.2 画图结果

一旦定义了模式扩展监视器，您将在 Result VIew 面板中看到结果列表。 多选模态扩展结果并选择“Calculate”。 计算完成后，可以在 Visualizer 中绘制结果。

请注意，当 Visualizer 首次打开时，您将看到所有结果的所有属性的列表。 可以使用属性面板右侧的“删除”按钮来删除任何不需要的属性，只保留相关的属性。

指的是下面这一堆不知道是什么的属性：

a：所选模式场的前向传播波的复传输系数
b：所选模式场的反向传播波的复透射系数
N：波导中模式的功率，基于峰值模态|E|^2 =1 在 w2 中，该幂随模态场的面积而变化。
p：频率监视器记录的总输入功率，以瓦特为单位。

看drop的结果：

2.2.3 S参数计算

在 ring_resonator2.lms 中，已设置提供的预制仿真文件中的模型分析组来计算 S 参数。 由于扩展监视器自动返回前向和后向传播光（a 和 b）的扩展系数，我们可以非常直接地计算 S 参数。 计算可以在“model”组的分析选项卡下的脚本中找到，该脚本还将S参数结果导出为.txt文件，可以通过INTERCONNECT直接导入。

如上图所示，Results View 会自动显示模型分析组返回的 S 参数结果。 然后可以通过右键单击“S”并选择“可视化”来可视化该结果。

2.2.3.1 步骤演示

所处的位置：

可视化结果：

2.2.3.2 计算 S 参数脚本学习

in      = getresult("expansion","expansion for in");# 从监视器返回结果数据集
through = getresult("expansion","expansion for through");
drop    = getresult("expansion","expansion for drop");
drop2   = getresult("expansion","expansion for drop2");

S11 = S22 = S33 = S44 = in.b/in.a;
S21 = S12 = S34 = S43 = drop.b/in.a;
S31 = S13 = S24 = S42 = through.a/in.a;
S41 = S14 = S23 = S32 = drop2.a/in.a;

S = matrixdataset; # 创建一个空位数据集
S.addparameter("f",in.f,"lambda",in.lambda);# 将相互依赖的参数（最常见的就是频率和波长）添加到S数据集
S.addattribute("S11",S11);
S.addattribute("S21",S21);
S.addattribute("S31",S31);
S.addattribute("S41",S41);

# export to file for INTERCONNECT
Sdata = [S.f, abs(S11), unwrap(angle(S11)), abs(S21), unwrap(angle(S21)), abs(S31), unwrap(angle(S31)), abs(S41), unwrap(angle(S41))];

if(fileexists(filename)) { rm(filename); } # 删除一个文件

# filename定义在外面的Variables,值是MODEtoINTERCONNECT
format long;
write(filename,num2str(Sdata));
format short;

2.2.3.2.1 unwrap

2.2.3.2.2 angle

2.2.3.2.3 fileexists

2.2.3.2.4 format

2.2.3.2.5 rm

2.2.3.2.6 write

2.3 蒙特卡洛分析

为了测试我们的设计如何受到制造错误的影响，我们可以使用参数扫描或蒙特卡罗分析项目。

在 ring_resonator2_Monte Carlo.lms 中，添加了一个“FSR”分析组，它将通过在“through”监视器的透射光谱中找到峰值来返回 FSR。 我们将跟踪 FSR 随波导宽度和高度的变化，假设制造误差为 ±10nm。

2.3.1 参数扫描

已经建立了一个嵌套参数扫描项目，以跟踪 FSR 作为波导宽度（从 0.39 到 0.41 微米）和波导高度（从 0.17 到 0.19 微米）的函数的变化。 扫描完成后，可以将 FSR 映射为波导高度和宽度的函数，以查看由于 ±10nm 制造误差而导致的结果如何偏离原始设计。

2.3.1.1 FSR分析组

Variables

包含max_peaks和tol，其值分别为10和0.5。

Script

T = getresult('through','T');
lambda = c/T.f;
T = T.T;

pos = findpeaks(-T,max_peaks); # 外面将max_peaks设置为10，表示最多找十个峰值
# 由于through的那个形状，所以要把T翻过来找峰值
num_peaks = sum(T(pos) < tol); # the number of peaks above tolerance 超出公差0.5的峰数
pos = findpeaks(-T,num_peaks); # 重新再找一遍
lambda_peaks = lambda(pos);

peak1 = find(lambda_peaks,max(lambda_peaks));
peak2 = find(lambda_peaks,min(lambda_peaks));

?FSR = (lambda_peaks(peak1)-lambda_peaks(peak2))/(num_peaks-1);
# 这里相当于算峰与峰之间的间隔，如果找到4个峰，中间的间隔就是4-1=3个，除以3

findpeaks

find

2.3.1.2 height参数扫描

2.3.1.3 width参数扫描

PS：这个扫描时间真是太久了。。。。

2.3.2 蒙特卡洛分析

还建立了一个蒙特卡罗分析项目，根据以 0.4 微米为中心的高斯分布改变波导的宽度，标准偏差为 0.01 微米。 运行后，我们将能够查看 FSR 是否在我们的 27nm 到 27.5nm 的目标规格范围内。

官网案例中：

2.3.3 参数提取结果

环形谐振器是一个 4 端口设备，我们可以将其标记为 1 到 4，如下图所示。 我们可以使用模式扩展监视器来计算每个波导中正向和传播模式的复模式扩展系数。 这使我们可以轻松地构建 16 个参数的 S 矩阵，该矩阵可以导出以用于 INTERCONNECT。 实际上，这个设备是如此对称，以至于只需要计算 S 矩阵的 4 个系数——例如，S11=S22=S33=S44。

模式扩展监视器用于计算输入和输出端口的 4 个监视器在基本 TE 模式下的正向和反向传播功率量。 首先，我们可以在 Visualizer 中查看。 请注意，此分析需要几秒钟，因为每个波导模式都记录了超过 500 个频率点。 为了加快计算速度，我们在中心频率处使用单一模式进行扩展，但是我们可以在设备带宽上计算更多模式分布以获得更准确的扩展。 计算完成后，扩展将存储在内存中，并将保存到 .lms 文件中以供将来快速参考。 下图显示了在端口 1 中反射并通过端口 2、3 和 4 传输的功率量（T 前向/T 后向）。

上面这个图，就是2.2.2步骤画出来的，全选Result View里的modal expansions，然后再删除不必要的删除即可。

（注意在ring_resonator2_Monte_Carlo.lms文件中，画出来的结果可能跟上面不一样，因为这里初始设置了波导宽度为0.475um，而之前的文件中设置一直是0.4um）

我们需要去注意端口 1 和端口 4（蓝色和绿色）发生的共振反射和传输。 端口 4 反射和泄漏的功率是等效的。 这是由于环中正向和反向传播模式之间的弱耦合，由于器件的高 Q 值，这可能会产生重大影响。

“model”本身是一个分析组，用于计算 S 参数。 选择模型并使用Results Manager计算 S 矩阵。 在计算过程中，S11、S21、S31 和 S41 被保存到文本文件 MODEtoINTERCONNECT.txt 中，该文件可用于在 INTERCONNECT 中创建环形谐振器元件。 不同的 S 参数可以很容易地可视化。 例如，下面我们看到 S21 和 S31 的相位。 我们可以看到导致相位斜率突然变化的共振效应，这表明共振时群延迟的突然变化。

步骤：右键model，然后点visualize-S，再在下方的Scalar operation选择angle.

2.4 与3D FDTD比较

在 Ring Resonator FDTD 页面中使用 3D FDTD 对相同的环形谐振器进行建模，结果如下图所示：

这些与上一节中显示的传播器结果（尤其是在 FSR 中）具有合理的一致性。 Q 因子有一些差异，这并不奇怪，因为 FDTD 占了更多的损失源。 话虽如此，仅使用 Propagator 仿真就可以在优化设计方面大有帮助。 下面是对这两种求解器的仿真要求的总结：

请注意，这是一个相对较小的模拟（x/y 方向上的跨度为 10x10um）。 使用环形谐振器或其他硅光子器件的典型模拟需要更大的模拟区域和更长的模拟时间。 在这种情况下，考虑使用 MODE’ Propagator 更为重要，这可能会节省大量时间。

2.5 蒙特卡洛分析

为确保实际设备按预期工作，通常需要考虑制造过程可能导致的缺陷。 为此，我们首先设置嵌套参数扫描，以跟踪 FSR 随波导高度和宽度的变化（假设制造误差为 ±10nm）。 下图显示了 FSR 与波导高度和宽度的关系图：

嵌套参数扫描的意思：

通过insert parameter sweep把width的宽度扫描放在height高度扫描的里面。

然后，在蒙特卡洛分析中，我们可以定义 FSR 的目标范围。 一旦模拟完成运行，“Monte Carlo analysis status”窗口底部的日志将显示计算出的产量百分比，该百分比对应于落在指定估计范围内的试验百分比。 还可以绘制 FSR 直方图，如下所示。 （请注意，即使我们在此示例中仅考虑 FSR，也可以非常直接地扩展此分析以考虑其他属性，例如使用相同方法的共振峰的偏移、Q 因子等。 )

此示例中显示的参数扫描和蒙特卡洛分析需要 100 多次模拟。 如果我们想改变更多的参数，就需要更多的模拟。 这是考虑使用传播器而不是运行 3D FDTD 模拟的另一个原因。

三、最终参数提取

此页面包含 4 个部分。 第一部分（对象设置）描述了如何根据第 1 部分中获得的设计从空白仿真文件设置仿真。如果您想跳过这一部分，完整的仿真文件的副本在第一页的教程提供。 最后三个部分描述了如何运行仿真，绘制场分布和透射光谱等仿真结果，并计算此环形谐振器设备的 S 参数。

3.1 对象设置

我们将从 MODE 入门示例中确定的几何参数开始。

3.1.1 结构

1.打开一个空白模拟文件。
2.按结构按钮上的箭头并从下拉菜单中选择一个矩形。 根据下表设置绝缘基板矩形的属性。

3.按下 COMPONENTS 按钮上的箭头并从下拉菜单中选择 INTEGRATED OPTICS。 这将打开对象库窗口。
4.从列表中选择 RING RESONATOR 并按下 INSERT 按钮。
5.根据下表设置环形谐振器的属性。 用于模拟第一部分的耦合长度和半径只是一个初步猜测，稍后将修改为正确的值。 除非材料指定，否则不使用环形谐振器的指数属性值。

3.1.2 FDTD区域

1.按 SIMULATION 按钮添加一个模拟区域。 请注意，如果您的按钮看起来不像左边的按钮，您将需要按箭头以获取模拟区域。 根据下表设置属性。

3.1.3 端口

按下 PORT 按钮，该按钮生成一个端口组作为包含端口对象的 FDTD 模拟区域对象的子对象。 展开 FDTD 模拟区域对象并编辑包含端口对象的端口组。

1.在同一编辑端口组窗口中单击“Set global source settings”按钮以打开全局源设置选项，您可以在其中根据下表设置属性。

2.接下来，展开对象树中的端口组，然后选择并编辑端口组中的端口对象。 根据下表设置端口的属性。

3.使用 DUPLICATE 按钮创建端口的三个副本。 根据下表设置属性。

3.1.4 监视器

1.我们将在每个端口放置时间监视器，以研究该领域作为时间的函数。
2.按下监视器按钮上的箭头并从下拉菜单中选择the field time monitor。 根据下表设置属性

3.使用 DUPLICATE 按钮创建监视器的三个副本。 根据下表设置属性。

4.我们还将添加一个剖面监视器来研究不同频率的场分布。 按下 Monitors 按钮上的箭头并从下拉菜单中选择the frequency domain field monitor。 根据下表设置属性。

3.1.5 设置资源、运行仿真

1.按Resources按钮并检查本地机器的进程数（内核数）。 如果您在网络上有其他安装了 FDTD 的计算机以及额外的引擎许可证，您可以将它们添加到资源列表中。 单击“Add”并设置适当的属性。
2.按“Run Tests”按钮以确保资源上的模拟引擎配置正确。 第一次运行此测试时，它可能会失败并要求您为操作系统帐户注册用户名和密码。 如果是，请填写相应的文本字段，按“注册”，然后按“确定”，然后重新运行测试。 如果有任何错误或警告，它们将出现在“Result”中。
3.按 RUN 按钮运行模拟。

3.1.6 画图

1.一旦模拟完成运行，对象树中的所有监视器和分析组都将填充数据。 结果视图窗口（可以通过单击“显示结果视图”按钮打开）将显示所选对象的所有结果及其相应的尺寸/值。 通过右键单击“t_drop”时间监视器并选择可视化 - E 或频谱来绘制时间信号和频谱 Ey。


2.然后，您可以选择要在 Visualizer 中绘制的 E 场数据的哪些分量。 下面的屏幕截图显示了如何绘制电场 y 分量的实部。 请注意，下图中的数据是使用网格精度设置 2 生成的。

3.要绘制通过端口 3 的传输，右键单击“端口 3”对象并选择 Visualize-T。
4.要从端口绘制 S 参数，请选择端口并选择 Visualize-S。 在可视化窗口中，您可以选择应用标量运算，例如查看复数 S 参数的实部或虚部，或绘制 S 参数的相位。 在下图中，“角度”标量操作从端口 2 应用于 S 数据集，以绘制 S21 的相位。 选择频率参数以在频率而不是波长上绘制数据。

5.要绘制 1.52 微米的磁场强度，请右键单击 full_profile 监视器并选择 Visualize-H，然后使用滑块或箭头选择适当的波长。

3.1.7 计算并导出完整的 S 参数矩阵

提供的预制模拟文件中的模型分析组已设置为收集由于端口 1 的输入源而产生的 S 参数，并返回一个名为“S”的数据集结果，其中包含 S11、S21、S31 和 S41。 由于结构是对称的，因此只需 1 次模拟即可提取设备的唯一 S 参数，因为我们知道由于对称性，S11=S22=S33=S44 等。

该脚本还将S参数结果导出为.txt文件，该文件可以通过INTERCONNECT直接导入，该脚本可以在“model”组的Analysis选项卡下的脚本中找到。

如上图所示，Results View 会自动显示模型分析组返回的 S 参数结果。 然后可以通过右键单击“S”并选择“可视化”来可视化该结果。

3.2 结果

FDTD 包含具有集成模式求解器的端口。端口用于将导模注入上波导。选择的注入模式设置为波导的基模。这种模式是 TE 极化的。

在左下角显示的屏幕截图中，端口平面在 FDTD 仿真区域内部的位置以白色轮廓和灰色阴影区域绘制。注射方向用粉红色箭头表示。右图显示了将由端口注入的模式配置文件 |E|^2。可以通过右键单击端口对象来查看模式分布，或者在选择模式源时使用结果视图窗口。您还可以通过编辑端口对象并单击“Visualize Mode Data”选项卡中的“Visualize Mode Data”按钮来查看模式截面场分布。

请注意，模式分布在图像的每个边缘都变为零。对于精确的模拟，重要的是模式源足够大以包含整个模式。如果模式源太小，模式将被截断，导致仿真错误。类似的规则适用于 FDTD 模拟区域，显示为橙色框。模拟区域的吸收 PML 边界不能放置得太靠近结构，否则它们会切断模式。

端口也用于输出波导以获得设备的 S 参数。有关端口的更多信息，请参见端口。

环形谐振器是一种高 Q 器件，可将光捕获在环中进行多次往返。这些高 Q 器件在时域中需要比非谐振器件更长的仿真时间。基于 MODE 示例，我们将从 4000 fs 的仿真时间开始，尽管可能需要更多时间。

这比我们的默认模拟时间（1000 fs）长。增加模拟时间很重要，因为如果模拟时间没有设置足够长以使场衰减，频域监视器的结果是不正确的。

我们最初可以将网格精度设置为 1 并运行模拟。以非常低的网格精度运行初始模拟是一个好主意，因为它们运行得很快，以确保大多数设置是正确的并且我们正在获得合理的结果。模拟将在现代工作站上运行大约 5 分钟或更短的时间。请参阅建模说明部分以获取有关如何生成以下一些图的详细信息。

左下图显示了下降通道（drop channel）中的 Ey 场。请注意，由于色散，初始峰迅速变形。右图显示了drop通道（端口 2）的相关频谱。正如预期的那样，我们大约每 25.6nm 看到一次共振。我们还注意到一些共振是分裂的。这实际上是环中正向和反向传播模式之间耦合的影响，它们是弱耦合并导致拉比分裂（Rabbi splitting）。原则上，不应该激发反向传播模式，但是，每次波导靠近时，反向传播模式都会有一些散射。由于网格精度非常低，这种效果变得更糟，由于阶梯效应，它还会在整个环中引入反向散射。随着网格精度的提高，我们将看到这些影响显着降低。尽管如此，后向散射效应在实际设备中可能会产生重要影响。

下图显示了设备中 1.5238 微米处的磁场强度。 在这里，我们清楚地看到了前向和后向传播模式的驻波模式，这导致在 1.53 微米共振处观察到拉比分裂。 请注意，这会导致光被反射回光源，并在drop波导处向前和向后输出。

我们可以以 2 的网格精度重新运行模拟。在现代工作站（modern workstation）上运行完整的 4000 fs 需要 25 分钟或更短的时间。

我们可以选择through和drop通道（分别为端口 3 和端口 2），以使用可视化器快速绘制这些波导中的传输。结果中的波纹表明环中的场在模拟结束之前尚未完全衰减，因为这些波纹是被截断的时间信号的傅立叶变换的特征。我们还注意到峰的分裂已经消失，这表明由于使用了极其粗糙的网格，与反向传播模式的耦合被人为地放大了。然而，我们将看到仍然产生反向传播的光，因此值得对网格尺寸进行一些收敛测试，特别是在波导耦合区域周围，以确定这对于实际设备可能有多大的问题。

以下脚本行还将以可用于 MODE 的格式导出放置结果以与 MODE 结果进行比较。 传输数据和波长从drop端口（端口 2）的“T”数据集中获得。 有关使用数据集的更多信息，请参阅数据集。

Tdrop_dataset = getresult("FDTD::ports::port 2","T");
Tdrop_3DFDTD = abs(Tdrop_dataset.T);
lambda_3DFDTD = Tdrop_dataset.lambda;
savedata("fdtd_results.ldf",Tdrop_3DFDTD,lambda_3DFDTD);

我们还可以获得不同频率的空间场分布。 第二张图显示了 |E|^2 在 1.6 微米处，几乎所有的光都传输到直通通道。 第一张图显示在 1.5238 微米处，我们开始看到光在环中的共振更强烈。 当然，一旦确定了光谱，我们就可以调整轮廓监视器的波长，以精确地捕捉共振开启和关闭的场。

3.2.1 参数提取

环形谐振器是一个 4 端口设备，我们将端口编号为 1 到 4，如下所示。 我们可以设置一个 S 参数矩阵扫描任务来运行 4 个模拟，其中源从 4 个端口中的每个端口注入，并收集 S 参数以构建 16 个参数的 S 矩阵，该矩阵可以导出以用于 INTERCONNECT。 但是，该设备是对称的，只需要计算 S 矩阵的 4 个系数（例如，S11=S22=S33=S44），因此只需要运行 1 次模拟即可获得 4 个唯一的 S 参数（S11， S21、S31、S41)。

端口计算 4 个输入和输出端口在基波 TE 模式下的正向和反向传播功率量，端口 1 返回的 S 结果是复反射系数，对于端口 2-4，S 结果是光在波导基模中的复传输系数。首先，我们可以在 Visualizer 中查看。请注意，此分析需要几秒钟，因为每个波导模式都记录了超过 500 个频率点。为了加快计算速度，我们使用了中心频率的单模进行扩展，但是我们可以在设备带宽上计算更多的模式分布以获得更准确的扩展（扩展的频点数量可以在端口编辑窗口的Modal Properties tab ）。下图通过绘制每个端口的 |S|2 显示了在端口 1 中反射并通过端口 2、3 和 4 传输的功率量。有趣的是，在端口 1 和端口 4 发生的谐振反射和传输。从端口 4 反射和泄漏的功率是等效的。如上所述，这是由于环中前向和后向传播模式之间的弱耦合造成的，由于器件的高 Q 值，这可能会产生重大影响。

对象树顶部的模型分析组设置为将 S 参数从端口收集到单个数据集结果中。 选择模型并使用结果视图窗口计算 S 结果。 模型分析组中的分析脚本还将复杂的 S 参数 S11、S21、S31 和 S41 保存到文本文件 FDTDtoINTERCONNECT.txt 中，该文件可用于在 INTERCONNECT 中创建环形谐振器元件。 不同的 S 参数可以很容易地可视化，下面我们可以看到 S21 和 S31 的相位。 我们可以看到导致相位斜率突然变化的共振效应，这表明共振时群延迟的突然变化。 S21 中仍然存在合理数量的波纹，这显然会导致对环的群延迟的错误解释，这些可以通过运行更长的模拟来消除。

3.2.2 收敛测试注意事项

以下问题可能会影响收敛，应进行更广泛的研究：

1.PML 的接近度。 为了节省时间，仿真在波导层和 PML 之间使用了非常小的垂直空间。 应增加模拟区域的 z 跨度。
2.应该增加模拟时间。 一旦确定了模拟的正确时间以实现关键结果的收敛，频域监视器的时间变迹可用于去除频谱中残留的任何波纹。
2.网格尺寸应以 3 甚至 4 的网格精度进行测试。可能还需要在波导耦合区域附近使用网格覆盖区域来强制在这些区域中进行精细网格，因为前向和后向传播的耦合模式似乎对该区域中使用的网格很敏感。

3.2.3 2D 逼近到 3D 几何

3D 模拟比 2D 模拟占用更多的 CPU 时间和内存。 我们使用 MODE 引用的环形谐振器示例以物理上有意义的方式折叠 z 维度，然后能够更快地运行 2D FDTD 模拟，同时仍保持滤波器 FSR 等重要结果的准确性。 也可以在 FDTD 中运行 2D 模拟，使用具有 Si 层支持的平板模式（slab modes）有效指数的材料。 然而，使用恒定的有效指数不会为器件提供正确的 FSR，这取决于波导模式的群指数。 因此，我们建议在 MODE 中进行初始设计和优化，然后转向 3D FDTD 进行最终优化和准确的参数提取。

参考文献

Hammer, M. and Hiremath, K.R. and Stoffer, R. (2004) Analytical approaches to the description of optical microresonator devices. (Invited) In: Microresonators as Building Blocks for VLSI Photonics, 18-25 October 2003, Erice, Italy. pp. 48-71. AIP Conference Proceedings 709. Springer. ISSN 0094-243X ISBN 978-0-7354-0184-6