IC 版图除了要体现电路的逻辑或功能确保 LVS 验证正确外, 还要增加一些与 LVS(电路匹配) 无关的图形, 以减小中间过程中的偏差, 我们通常称这些图形为 dummy layer。
有些 dummy layer 是为了防止刻蚀时出现刻蚀不足或刻蚀过度而增加的, 比如 metal density 不足就需要增加一些 metal dummy layer以增加 metal 密度。 另外一些则是考虑到光的反射与衍射, 关键图形四周情况大致相当, 避免因曝光而影响到关键图形的尺寸。
Dummy用途:
1. 保证可制造性,防止芯片在制造过程中由于曝光过渡或不足而导致的蚀刻失败:如在tapeout的时候会检查芯片的density,插入dummy metal、dummy poly、dummy diff等;