计算光刻技术(制造端EDA)
计算光刻技术属于制造端的EDA技术,由传统分辨率增强技术与数学物理建模以及数值仿真联合优化而产生,保证了集成电路制造节点继续迭代还极大提高了制造的良率
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空空如也