SECS/GEM
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本专栏介绍了半导体设备和主机通信的协议,SECS/GEM。
儒rs
小小的天有大大的梦想,我有属于我的天。
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SECS/GEM协议(GEM)
Host Initiated S1F13/F14 Scenario 主机启动的S1F13/F14场景。不同设备的状态模型在某些领域(如通信)将是相同的,但在其他领域(如处理)可能会有所不同。Event Notification 事件通知。Error Messages 错误消息。Documentation 文件。GEM:制造设备的通信和控制通用模型。半导体制造设备行为模型(状态模型)状态模型以一种紧凑和易于理解的格式。为特定种类的专用设备准备的具体规格。原创 2023-08-08 21:40:51 · 1070 阅读 · 0 评论 -
SECS/GEM协议(SECS-II)
SECS-II 标准定义了使用如SECS-I、HSMS等传输协议在设备和主机之间交换的消息的形式和含义。定义了以消息的形式在设备和主机之间传递信息,消息按其行为分类,称为Stream。有很多不同的行为Stream,每个Stream又包括具体的消息,称为Function。标准还定义了消息的结构,消息由数据项和数据项列表 ( items and lists of items ) 构成。该结构允许自描述数据格式,以保证对消息的正确解释。SECS-II还规定了事务协议。原创 2023-08-08 21:38:48 · 685 阅读 · 0 评论 -
SECS/GEM协议(HSMS协议)
头中的字节从第0字节(传输的第一个字节)编号到第9字节(传输的最后一个字节)。:16位无符号整数,它占据了字节0和字节1(字节0是MSB,1是LSB)。:8位无符号整数,是一种枚举类型,标识此消息是HSMS数据消息(值=0)还是HSMS控制消息。:四字节无符号整数,用于在一组开放的事务中唯一地标识一个事务,即唯一地标识一次消息交互。HSMS消息中的Header的解释取决于由SType字段的值定义的特定HSMS消息类型。:对于不同的HSMS消息,有不同的取值。:对于不同的HSMS消息,有不同的取值。原创 2023-08-08 21:36:42 · 2415 阅读 · 0 评论 -
SECS/GEM协议(SECS-I)
本文介绍了SECS/GEM协议构成,SECS-I协议的具体内容。原创 2023-07-30 10:04:03 · 1286 阅读 · 0 评论