comsol等离子体仿真

等离子体仿真

个人经验，新手小白，轻点喷

采用comsol等离子模块下plas模块进行plas仿真：

需要掌握技能如下：

1. comsol软件的基本操作（包括但不限于前处理、后处理的基本操作）；
2. 等离子体模块的物理场（熟悉掌握，需要能够判断自己设置的物理场是否能够成功模拟）：
3. 截面数据查询及构建（较为简单，参考comsol帮助文档，后面在具体案例中会介绍基本构建方法）
4. 有一定的化学基础，有能力查找包括各种气体之间的化学反应且能够在刚开始时判断查找到的反应属于哪种反应类型。

下面对等离子体模块物理场做简单介绍：下列所有的图片，均来自于已经模拟的DBD模型中。

1、控制方程：静电场方程；电子输运方程（电子密度方程、电子能量密度方程）；重物质运输方程。

（一）静电场方程：

         静电场：用于求解气体放电产生的电场

公式中E为电场，V为电势，ρv为电荷密度，其为粒子电荷和粒子单位体积内密度的乘积。故需要给定电子密度的初始值，才能求得。

（二）电子输运方程：

         密度方程：用于求解除背景气体之外的电子、离子和中性粒子的密度，在comsol中只给出了电子密度方程，其他文献中指出离子和中性粒子的密度也是采用下述方程求解，但在comsol中离子和中性粒子的方程为后面的重物质运输方程。文献中采用的求解粒子和离子的方法和comsol不一样，但也是用comsol来进行仿真，这也是我一直不明白的地方。

公式中，ne为电子密度，Γe为电子通量，μe

为电子的迁移速率，De为电子的扩散速率。其中需要提供给comsol的数据为电子迁移速率，可手动指定或者采用其他方法得出，如根据截面数据耦合BOLSIG+计算电子输运属性，当考虑流场的影响时需要提供u值（更多来自流场仿真得知）。

         能量方程：用于求解电子的能量

公式中给出的变量和电子密度方程一样，不过其下角标代表能量而不是密度，同样的需要提供电子的迁移率。根据comsol内置关系求得με ，再根据comsol内置爱因斯坦关系求得Dε。也可以通过其他方法如通过BOLSIG+来计算得到电子输运属性。

在comsol中你可以选择是否求解电子能量密度方程（即电子温度，离子和中性粒子的温度一般不求解，假设其类似于环境温度），若不求解电子能量密