comsol等离子体仿真

等离子体仿真

个人经验，新手小白，轻点喷

采用comsol等离子模块下plas模块进行plas仿真：

需要掌握技能如下：

1. comsol软件的基本操作（包括但不限于前处理、后处理的基本操作）；
2. 等离子体模块的物理场（熟悉掌握，需要能够判断自己设置的物理场是否能够成功模拟）：
3. 截面数据查询及构建（较为简单，参考comsol帮助文档，后面在具体案例中会介绍基本构建方法）
4. 有一定的化学基础，有能力查找包括各种气体之间的化学反应且能够在刚开始时判断查找到的反应属于哪种反应类型。

下面对等离子体模块物理场做简单介绍：下列所有的图片，均来自于已经模拟的DBD模型中。

1、控制方程：静电场方程；电子输运方程（电子密度方程、电子能量密度方程）；重物质运输方程。

（一）静电场方程：

         静电场：用于求解气体放电产生的电场

公式中E为电场，V为电势，ρv为电荷密度，其为粒子电荷和粒子单位体积内密度的乘积。故需要给定电子密度的初始值，才能求得。

（二）电子输运方程：

         密度方程：用于求解除背景气体之外的电子、离子和中性粒子的密度，在comsol中只给出了电子密度方程，其他文献中指出离子和中性粒子的密度也是采用下述方程求解，但在comsol中离子和中性粒子的方程为后面的重物质运输方程。文献中采用的求解粒子和离子的方法和comsol不一样，但也是用comsol来进行仿真，这也是我一直不明白的地方。

公式中，ne为电子密度，Γe为电子通量，μe

为电子的迁移速率，De为电子的扩散速率。其中需要提供给comsol的数据为电子迁移速率，可手动指定或者采用其他方法得出，如根据截面数据耦合BOLSIG+计算电子输运属性，当考虑流场的影响时需要提供u值（更多来自流场仿真得知）。

         能量方程：用于求解电子的能量

公式中给出的变量和电子密度方程一样，不过其下角标代表能量而不是密度，同样的需要提供电子的迁移率。根据comsol内置关系求得με ，再根据comsol内置爱因斯坦关系求得Dε。也可以通过其他方法如通过BOLSIG+来计算得到电子输运属性。

在comsol中你可以选择是否求解电子能量密度方程（即电子温度，离子和中性粒子的温度一般不求解，假设其类似于环境温度），若不求解电子能量密度方程，会大大降低计算量，选择采用局场近似的方法求解即可。

（三）重物质输运：在comsol中重物质输运方程求解了除背景气体之外的所有离子和中性粒子，因此需要将背景气体勾选，选中来自质量约束。同时由于等离子体是一种呈现电中性的物质，还需要选择一个带电粒子为来自电中性约束。通过求解下述方程，获得离子和中性粒子的输运特性。

公式中混合物密度ρ来自于理想气体；Wk物质质量分数为求解的变量（需满足质量守恒）；u为对流计算得出（需要在传质设置里面勾选对流相才有/或者来自于流场计算）；Vk根据扩散模型的选择不同，计算公式会产生略微的改变（这边就需要自己对物理场熟知，需要明确自己需要计算什么）。

2、边界条件：用于求解上述控制方程

Ps：掌握了计算等离子体仿真的三个方程之后，需要掌握各个方程的边界条件及使用情况。

（一）静电场边界条件（常用）。

1、金属接触：用于模拟等离子体和金属壁之间的相互作用。边界可以是固定电势，固定电流以及外电路驱动

2、介电接触：用于模拟等离子体与电介质表面之间的相互作用。

3、表面电荷积累：用于模拟内部电介质边界上的电荷积累

4、终端：用于电荷守恒域（静电场）相邻边界，可以固定的电势、固定电流或者同外电路相连

5、接地：用于放电腔体壁

（二）电子密度及能量边界条件（常用）。

1、绝缘

2、通量：指定电子密度通量及电子能量通量

3、电子密度和能量：指定电子密度和电子能量

4、壁：考虑了各种影响的电子密度通量及电子能量通量（一般都设置这个边界条件）

5、电子出口：法向上的电子密度通量以及电子能量通量皆为0

其中壁面条件考虑了：电子在壁面上的消失及反弹；二次电子发射；热电子发射；迁移引起的电子损耗。

（三）重物质输运边界条件（只有一个）

表面反应：表面反应中的设置内容，需要自己查询文献设置，首要的是先找到相应的反应式子。设置中不同的方法也就是采用了不同的方程进行计算（多项少项的问题，以及选择相应问题进行计算所需要提供的数据）。

下面对碰撞截面数据的查询进行介绍和总结：

以Ar为例子进行查找，通过查询反应式，可以得到以氩气为背景气体的电子碰撞反应有以下几个反应：

1. e+Ar=>e+Ar（弹性）
2. e+Ar=>e+Ars（激发）
3. e+Ar=>2e+Ar+（电离）
4. e+Ars=>2e+Ar+（电离）

查询步骤为：

1. 打开网址：https://us.lxcat.net/data/set_type.php （该网址为国外网站，中国国内也有镜像版本），打开后截面如下：
2. 
3. 选中上述界面的SCATTERING CROSS SECTIONS和ELECTRONS这里的意思是选中了散射截面和电子，然后点击NEXT，得到以下界面：

1. 上述图片为数据库选择，lxcat中提供了各种各样的数据库供你选择，新手在不了解的情况下，建议全部选中，然后电极NEXT进入以下界面，并选中Ar点击NEXT：

1. 根据自己的反应式子选中反应类型：附着、弹性、激发、电离，点击NEXT。

1. 进入下述a界面，根据表达式以及文献提供的能量阈值，选中数据库中的表达式，然后点击NEXT，阅读好下载说明书之后，进入b界面，点击下载txt格式，则会弹出网址即图c，图中框选部分即为该反应的截面数据，将所需内容幅值粘贴至自己的txt中即可，这里以氩气阈值为15.8ev的电离反应e+Ar=>2e+Ar+（电离）为例子：

a

b

c

下面将碰撞界面数据的格式给出（遵循comsol规格）：

固定格式一共包括四行：

1st line: 指示碰撞类型的关键词，可能的碰撞类型包括ELASTIC、EXCITATION、IONIZATION和ATTACHMENT。注意使用大写字母。

2nd line: 反应方程式。此公式传递到COMSOL Multiphysics GUI，因此在此输入的内容会显示在Formula字段中。公式必须用=>符号分隔。

3rd line: 对于弹性碰撞，电子质量与靶粒子质量的比值。对于附着，第3行为0（零）。对于电离，阈值能量为电子伏特。对于激发，有三个数字，用空格分隔。第一个数字是激发能（电子伏特）。第二个数字是最终状态与初始状态的统计权重比。第三个数字是一个标志，确定是否使用详细平衡。使用1来构建详细平衡，否则使用0。

4th line: 两个单位转换因子，用于将数据列乘以。

上述四点为重点：

5 表格中的截面随能量变化。表格以连续的虚线开头和结尾（至少五个），每行两个数字：能量（电子伏特）和截面（平方米）。表格不需要紧跟其他行；即，用户评论，如参考信息，可以包含在表格上方。

具体例子为Ar，以comsol官方给出的Ar截面数据给出，查找方法comsol安装目录下E:\ProgramFiles\COMSOL\COMSOL61\Multiphysics\applications\Plasma_Module\Capacitively_Coupled_Plasmas（标红位置为安装目录）

下面将以最简单的DBD(介质阻挡放电进行详细解答，不进行后处理说明就是comsol操作相关内容)

模型简介：DBD是在两个电极间加设电介质，在两个电介质之间产生等离子体，为简化模型，方便设置和计算，采用一维模型，正弦电压，进行仿真。

步骤如下：

1、构建几何模型，采用线段的方法进行画图，实际的图像效果见图1。从左往右分别为：1-高压电极；1-2为电介质1；2-3为放电区域；3-4为电介质；4为接地电极。（为方便尺寸不写出，将会在附件给出模型）

图 1

2、导入截面数据即电子碰撞反应，按照前文所述的要求构建好截面数据后，直接导入即可对于此部分不做任何修改。（本模型导入的气体为氩气）

3、定义气相反应和表面反应（皆为文献查询所得）

         对于气相反应需要设置的内容包括：1、反应式；2、是否可逆；3、反应速率

         对于表面反应需要设置的内容包括：1、反应式；2、黏附系数；3、二次电子发射系数

Ps：如果要计算气体温度，还需要每种物质的热力学属性

4、对产生的物质进行定义，以氩气为例子，在本模型当中一共有四种物质（e,Ar,Ars,Ar+），根据先前对重物质运输方程的讲解，除电子外我们需要对另外三种物质进行设置。

设置如下：

以物质Ar为例子：由于是背景气体，故将其设置为来自质量约束，还要设置物质的分子量，势特征长度和最小势能（在广义参数中进行设置，comsol中提供了一些物质，见下图），其他的物质也是一样，不同的是中性粒子不需要再额外设置来自质量约束，带电粒子需要至少一个选中来自电中性约束。

5、定义模型的温度和绝对压力，这里设置为400k和1[atm]。并给出初始的电子密度（求解初始电场及电子密度方程）与电子平均能量（电子能量密度方程）。

6、定义边界条件：对本次模型的边界简单说明：两个电介质之间会有表面电荷积累，故需要设置表面电荷积累条件，选中1-2和3-4。两个电介质边界为壁面，故选择2，3为壁面边界条件。因为存在电荷守恒，故采用终端施加电压在1处，在2处施加接地条件。